一种光刻胶涂布及回收装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种光刻胶涂布及回收装置，包括光刻胶容器1、光刻胶传输管2、光刻胶抽取装置4、涂布刮刀5、涂布刮刀传输管6和动力装置7，其特征在于：还包括旋转阀门3；所述旋转阀门3通过光刻胶传输管2与光刻胶容器1相连；所述旋转阀门3通过涂布刮刀传输管6与涂布刮刀5相连；所述旋转阀门3通过螺纹与光刻胶抽取装置4相连；所述动力装置7同时与旋转阀门3和光刻胶抽取装置4相连；所述旋转阀门3包括旋转阀芯3.1和旋转阀门内壳3.3，所述转阀芯3.1旋转一定角度后，设置于其上的通孔将光刻胶容器1和光刻胶抽取装置4连通，所述转阀芯3.1旋转另一角度后，设置于其上的通孔将光刻胶抽取装置4和涂布刮刀5连通。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及平板显示(包括液晶显示器、等离子显示器、有机发光显示器等)及半导体等
，具体而言涉及器件制备过程中光刻胶涂布及回收利用的一种技术。
技术介绍
涂布技术就是在器件制作过程中在待加工基板表面涂覆一层光刻胶，然后通过后续曝光、显影、蚀刻、脱膜等工序制作出需求的电极或绝缘层图形。在平板显示和半导体制造行业，涂布技术是非常关键的工艺技术，其按设备使用方式的不同分类为：旋转涂布、线状涂布和滚动涂布等，其中线状涂布方式被广泛应用于平板显示行业，其主要特点在于：涂布精度高，平坦度好，节拍快，产能高。在制造型企业中，制造成本是关系到企业能否立足于市场的核心竞争力，而在线状涂布方式制程中，其原材料光刻胶通常是从国外进口的，价格非常昂贵，如何减少光刻胶的浪费及提高光刻胶的利用率对于企业制造成本的降低有非常重要的意义。
技术实现思路
为了减少光刻胶的浪费及提高光刻胶的利用率，本专利技术提供一种光刻胶涂布及回收装置。技术方案：一种光刻胶涂布及回收装置，包括光刻胶容器1、光刻胶传输管2、旋转阀门3、光刻胶抽取装置4、涂布刮刀5、涂布刮刀传输管6和动力装置7。旋转阀门3通过光刻胶传输管2与光刻胶容器1相连，光刻胶传输管2上装有流量计2.2，光刻胶容器1内设置有温度监控器1.1；旋转阀门3通过涂布刮刀传输管6与涂布刮刀5相连，涂布刮刀传输管6与涂布刮刀5之间安装有机械关节5.1；旋转阀门3通过螺纹与光刻胶抽取装置4相r>连；动力装置7同时与旋转阀门3和光刻胶抽取装置4相连。旋转阀门3包括旋转阀芯3.1和旋转阀门内壳3.3；旋转阀芯3.1的一端设置于旋转阀门内壳3.3上，另一端与动力装置7相连，旋转阀芯3.1相对于旋转阀门内壳3.3旋转。旋转阀芯3.1设置有第一通孔3.1.1、第二通孔3.1.2、旋转阀芯电机连接轴3.1.3、通孔防渗漏垫圈3.1.4、活动卡盘3.1.5和卡盘防渗漏垫圈3.1.6；第一通孔3.1.1和第二通孔3.1.2设置于旋转阀芯3.1的一端，旋转阀芯电机连接轴3.1.3设置于旋转阀芯3.1的另一端，活动卡盘3.1.5设置于旋转阀芯3.1的轴向中间位置；第一通孔3.1.1和第二通孔3.1.2设置于旋转阀芯3.1的同一径向平面且二者的圆心与该径向圆圆心的连线成90度夹角，同时，二者在旋转阀芯3.1内部是连通的；第一通孔3.1.1和第二通孔3.1.2开口外围处设置有通孔防渗漏垫圈3.1.4；活动卡盘3.1.5靠通孔的一侧设置有卡盘防渗漏垫圈3.1.6。旋转阀门内壳3.3设置有旋转阀门内壳光胶容器接口3.3.1、旋转阀门内壳涂布刮刀接口3.3.2、旋转阀门内壳光胶抽取装置接口3.3.3、旋转阀芯固定孔3.3.4、销钉孔3.3.5和活动卡槽3.3.6；旋转阀芯固定孔3.3.4设置于旋转阀门内壳3.3一底面的中心位置且孔的一端是密封的，活动卡槽3.3.6设置于旋转阀芯固定孔3.3.4的未密封端；旋转阀门内壳光胶容器接口3.3.1、旋转阀门内壳涂布刮刀接口3.3.2和旋转阀门内壳光胶抽取装置接口3.3.3分别设置于旋转阀门内壳3.3的三个侧面上且各接口均与旋转阀芯固定孔3.3.4连通，各接口均设置有内螺纹；销钉孔3.3.5设置于旋转阀门内壳3.3底面的四个角上，销钉孔3.3.5用于固定旋转阀门3。旋转阀芯3.1带通孔的一端与旋转阀芯固定孔3.3.4相匹配，活动卡盘3.1.5与活动卡槽3.3.6相匹配，旋转阀芯3.1和旋转阀门内壳3.3通过活动卡盘3.1.5与活动卡槽3.3.6固定连接，且二者可相对旋转；在旋转阀芯(3.1)旋转一定角度后，所述第一通孔(3.1.1)、第二通孔(3.1.2)在垂直位置上分别与所述旋转阀门内壳光胶容器接口(3.3.1)的内开口、旋转阀门内壳涂布刮刀接口(3.3.2)的内开口、旋转阀门内壳光胶抽取装置接口(3.3.3)的内开口中的二者相对应。光刻胶传输管2、光刻胶抽取装置4和涂布刮刀传输管6的一端设置有分别与旋转阀门内壳光胶容器接口3.3.1、旋转阀门内壳光胶抽取装置接口3.3.3和旋转阀门内壳涂布刮刀接口3.3.2内螺纹相匹配的外螺纹，光刻胶传输管2、光刻胶抽取装置4和涂布刮刀传输管6分别与旋转阀门内壳光胶容器接口3.3.1、旋转阀门内壳光胶抽取装置接口3.3.3和旋转阀门内壳涂布刮刀接口3.3.2相连。光刻胶抽取装置4设置有光刻胶抽取筒4.1和光刻胶抽取活塞4.2；光刻胶抽取活塞4.2设置于光刻胶抽取筒4.1内。动力装置7包括主控电路7.1、旋转阀芯电机7.2和直线电机7.3；主控电路7.1分别与旋转阀芯电机7.2和直线电机7.3相连，旋转阀芯电机7.2与旋转阀芯电机连接轴3.1.3相连，直线电机7.3与光刻胶抽取活塞4.2相连。光刻胶传输管2上设置有过滤器2.1。由于采用了上述技术方案，该装置可以将涂布刮刀、传输管和过滤器中残留的光刻胶吸入挤压回光刻胶容器中，达到了减少光刻胶的浪费及提高光刻胶的利用率的目的，且该装置集光刻胶涂布工艺与光刻胶回收过程一体化，其结构简单紧凑、操作高效方便，回收的光刻胶不受污染、100％再利用，大大的节约企业的制造成本，有力的增强了企业的竞争力，为企业的发展做出了突出的贡献。说明书附图图1是本专利技术的整体结构示意图。图2中是旋转阀门的立体示意图。图3是图2中的A-A剖视图。图4是图3中旋转阀芯顺时针旋转90度后的示意图。图5是旋转阀芯结构示意图。图6是图5中的B-B剖视图。图7是旋转阀门内壳的立体结构示意图。图8是图7中的D-D剖视图。1光刻胶容器；1.1温度监控器；2光刻胶传输管；2.1过滤器；2.2流量计；3旋转阀门；3.1旋转阀芯；3.1.1第一通孔；3.1.2第二通孔；3.1.3旋转阀芯电机连接轴；3.1.4通孔防渗漏垫圈；3.1.5活动卡盘；3.1.6卡盘防渗漏垫圈；3.3旋转阀门内壳；3.3.1旋转阀门内壳光胶容器接口；3.3.2旋转阀门内壳涂布刮刀接口；3.3.3旋转阀门内壳光胶抽取装置接口；3.3.4旋转阀芯固定孔；3.3.5销钉孔；3.3.6活动卡槽；4光刻胶抽取装置；4.1光刻胶抽取筒；4.2光刻胶抽取活塞；5涂布刮刀；5.1机械关节；6涂布刮刀传输管；7动力装置；7.1主控电路；7.2旋转阀芯电机；7.3直线电机具体实施方式下面结合附图对本专利技术做进一步详述。如图1所示，一种光刻胶涂布及回收装置，包括光刻胶容器1、光刻胶传输管2、旋转阀门3、光刻胶抽取装置4、涂布刮刀5、涂布刮刀传输管6和动力装置本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光刻胶涂布及回收装置，包括光刻胶容器(1)、光刻胶传输管(2)、光刻胶抽取装置(4)、涂布刮刀(5)、涂布刮刀传输管(6)和动力装置(7)，其特征在于：还包括旋转阀门(3)；所述旋转阀门(3)通过光刻胶传输管(2)与光刻胶容器(1)相连，光刻胶传输管(2)上装有流量计(2.2)，光刻胶容器(1)内设置有温度监控器(1.1)；所述旋转阀门(3)通过涂布刮刀传输管(6)与涂布刮刀(5)相连，涂布刮刀传输管(6)与涂布刮刀(5)之间安装有机械关节(5.1)；所述旋转阀门(3)通过螺纹与光刻胶抽取装置(4)相连；所述动力装置(7)同时与旋转阀门(3)和光刻胶抽取装置(4)相连。

【技术特征摘要】
1.一种光刻胶涂布及回收装置，包括光刻胶容器(1)、光刻胶传输管(2)、光刻胶抽
取装置(4)、涂布刮刀(5)、涂布刮刀传输管(6)和动力装置(7)，其特征在于：还包括
旋转阀门(3)；
所述旋转阀门(3)通过光刻胶传输管(2)与光刻胶容器(1)相连，光刻胶传输管(2)
上装有流量计(2.2)，光刻胶容器(1)内设置有温度监控器(1.1)；
所述旋转阀门(3)通过涂布刮刀传输管(6)与涂布刮刀(5)相连，涂布刮刀传输管
(6)与涂布刮刀(5)之间安装有机械关节(5.1)；
所述旋转阀门(3)通过螺纹与光刻胶抽取装置(4)相连；
所述动力装置(7)同时与旋转阀门(3)和光刻胶抽取装置(4)相连。
2.根据权利要求1所述的一种光刻胶涂布及回收装置，其特征在于：所述旋转阀门(3)
包括，旋转阀芯(3.1)和旋转阀门内壳(3.3)；旋转阀芯(3.1)的一端设置于旋转阀门
内壳(3.3)上，另一端与动力装置(7)相连，旋转阀芯(3.1)相对于旋转阀门内壳(3.3)
旋转；
所述旋转阀芯(3.1)设置有第一通孔(3.1.1)、第二通孔(3.1.2)、旋转阀芯电机连
接轴(3.1.3)、通孔防渗漏垫圈(3.1.4)、活动卡盘(3.1.5)和卡盘防渗漏垫圈(3.1.6)；
所述第一通孔(3.1.1)和第二通孔(3.1.2)设置于旋转阀芯(3.1)的一端，所述旋转阀
芯电机连接轴(3.1.3)设置于旋转阀芯(3.1)的另一端，所述活动卡盘(3.1.5)设置于
旋转阀芯(3.1)的轴向中间位置；所述第一通孔(3.1.1)和第二通孔(3.1.2)设置于旋
转阀芯(3.1)的同一径向平面且二者的圆心与该径向圆圆心的连线成90度夹角，同时，
二者在旋转阀芯(3.1)内部是连通的；所述第一通孔(3.1.1)和第二通孔(3.1.2)开口
外围处设置有通孔防渗漏垫圈(3.1.4)；所述活动卡盘(3.1.5)靠通孔的一侧设置有卡盘
防渗漏垫圈(3.1.6)；
所述旋转阀门内壳(3.3)设置有旋转阀门内壳光胶容器接口(3.3.1)、旋转阀门内壳
涂布刮刀接口(3.3.2)、旋转阀门内壳光胶抽取装置接口(3.3.3)、旋转阀芯固定孔(3.3.4)、
销钉孔(3.3.5)和活动卡槽(3.3.6)；所述旋转阀芯固定孔(3.3.4)设置于旋转阀门内
壳(3.3)一底面的中心位置且孔的一端是密封的，所述活动卡槽(3.3.6)设置于旋转阀
芯固定孔(3.3.4)的未密封端；所述旋转阀门内壳光胶...

【专利技术属性】
技术研发人员：不公告发明人，
申请(专利权)人：四川虹视显示技术有限公司，
类型：发明
国别省市：四川;51