制造电子设备的方法技术

使用喷墨过程来将材料层沉积为期望厚度。布局数据被转换成每单元灰度值，每一个灰度值表示要局部输送的墨水体积。灰度值用于生成用于将可变墨水体积（和厚度）输送到衬底的半色调图案。半色调化提供相对连续的层（例如，没有非意图的间隙或孔），同时提供可变体积并因此贡献可变墨水/材料建立以达到期望厚度。墨水喷射为使用于形成材料层的材料悬浮的液体或气溶胶，所述材料例如是用于形成平板设备的封装层的有机材料。然后，所沉积的层被固化或以其他方式修整以完成该过程。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】本公开要求代表第一指定的专利技术人EliyahuVronsky于2014年6月30号提交的美国临时申请No.62/019076\Ink-BasedLayerFabricationUsingHalftoningtoControlThickness\、代表第一指定的专利技术人EliyahuVronsky于2014年5月30号提交的美国临时申请No.62/005044“Ink-BasedLayerFabricationUsingHalftoningtoControlThickness”、代表第一指定的专利技术人EliyahuVronsky于2014年4月10号提交的美国临时申请No.61/977939“Ink-BasedLayerFabricationUsingHalftoningtoControlThickness”以及代表第一指定的专利技术人EliyahuVronsky于2013年12月12号提交的美国临时申请No.61/915,149“Ink-BasedLayerFabricationUsingHalftoneVariation”中的每一个的优先权。特此通过引用并入前述申请。
技术介绍
各种化学和物理过程可以用于将材料沉积在衬底上。一些沉积过程依赖于图案化沉积，其中掩模或其他机制用于在精确的容差内创建纳米级特征，例如匹配诸如晶体管路径宽度的电子纳米级结构的尺寸，而其他沉积过程提供相对无特征的、大尺度沉积，诸如横跨几十微米距离或更大距离的基于覆盖层（blanket）的涂敷或沉积。存在对于其而言现有过程是次优的一类建造应用。更具体地，对于其中人们期望将层形成在相对于纳米级特征的衬底的大的区上的应用，尤其是对于有机材料沉积，可能难以控制沉积的层的均匀性。附图说明图1A是示出公开的技术的实施例的图，其中用于期望层的厚度数据被转换成对于建造期望层有用的半色调图案。图1B是其中描述期望层的布局数据被生成或接收、转换成半色调图案以及用于沉积将成为期望层的墨水的过程的说明性图。图1C是详细实施例的框图，其中厚度数据用于获得用于相应“打印单元”的灰度（grayscale）值，并且其中灰度值然后用于生成半色调图案。图2A提供了示出均可以独立地体现本文引入的技术的一系列可选层级、产品或服务的说明性视图。图2B提供了可以用于在存在受控大气环境的情况下建造例如平板设备的部件的建造机构的平面视图。图2C是示出在图2B的建造机构内的打印机的布局的平面视图；更具体地，图2C示出了如何相对于衬底253移动打印头259。图2D是在图2A的打印模块内相关联的各种子系统的框图。图3A示出了根据离散波形段来定义用于创建个体墨滴的波形的方式。图3B示出了其中可以基于不同喷嘴触发（firing）波形来创建具有不同参数的液滴的实施例。图3C示出了与在编程的时间（或位置）处生成期望波形并将期望波形应用于打印头的喷嘴相关联的电路；该电路提供例如来自图3B的电路343/351、344/352和345/353中的每一个的一种可能实现。图4A提供了用于描述表示期望层的厚度的数据到半色调图像的转换的流程图。图4B提供了用于描述表示期望层的厚度的数据到半色调图像的转换的另一流程图。图4C是与半色调化校准相关联的流程图。图4D是与液滴测量和鉴定相关联的流程图。图5A示出了表示打印单元的特定墨水体积的一个半色调图案。图5B示出了表示特定墨水体积的另一半色调图案；更具体地，图5B相对于图5A的半色调图案用于讨论调频（“FM”）半色调化。图5C示出了表示特定墨水体积的另一半色调图案。更具体地，图5C相对于图5A的半色调图案用于讨论调幅（“AM”）半色调化。图5D示出了用于相邻图块（tile）的互补（或“缝合（stitched）”）半色调图案的可选使用。图5E示出了其中液滴大小（或形状）已经被改变以补偿误触发的相邻喷嘴的半色调图案。图5F示出了其中液滴已经被一个喷嘴“借用”以补偿误触发的相邻喷嘴的半色调图案。图6A是示出取决于厚度数据而指派给不同打印单元的灰度值的图表。图6B是示出取决于厚度数据而指派给不同打印单元的灰度值的另一图表，但是其中添加灰度纠正以平滑或者纠正作为结果的膜厚度的误差。图7A提供了用于解释不同的半色调液滴密度如何与不同的灰度值相关联以产生期望层厚度的图。图7B示意性描绘了衬底的一个或多个边界区，以及半色调化和/或灰度选择可以如何在边界区中改变以减轻边缘建立。图7C示出了用于在边界区附近半色调化、更具体地用于在沉积的层的拐角处使用的一种可能方案。图7D示出了打印单元的边缘增强以提供一致的层边缘。图7E示出了用于避免边缘建立的边界相邻半色调变化和用于改进边缘线性度的“封围”二者的使用。图8A示出了将排列到多个平板中的衬底801，所述多个平板例如多个有机发光二极管（“OLED”）显示面板、太阳能面板或其他类型面板。图8B示出了在已经将有源元件和电极添加到图8A的衬底后的图8A的衬底。图8C提供了从图8B的线C-C截取的图8B的衬底的横截面视图。图8D示出了在已经添加了封装（840）之后的图8C的衬底；图8D还提供了闭合，所述闭合示出封装（840）可以由诸如交替的有机和无机层的许多个体层形成。图8E以平面视图（即，从与图8B相同的视角）示出了图8D的衬底。图9是用于沉积有机封装层的一个过程的框图。通过参考应当结合附图阅读的以下详细描述，所列举的权利要求限定的本主题可以被更好地理解。下文陈述以使得人们能够建立和使用权利要求所阐述的技术的各种实现的一个或多个特定实施例的该描述，并不意图限制所列举的权利要求而是例示它们的应用。在不限制前述内容的情况下，本公开提供了用于这样的技术的若干不同示例，所述技术用于以将产生期望厚度的沉积的层的方式使用半色调化以控制墨滴密度来建造材料层。这些技术可以体现为用于执行这些技术的软件，以计算机、打印机或运行这样的软件的其他设备的形式来体现，以用于形成材料层的控制数据（例如，打印图像）的形式来体现，体现为沉积机制，或者以使用这些技术建造的电子或其他设备（例如，平板设备或其他消费者端产品）的形式来体现。尽管给出了具体示例，但是本文描述的原理也可以应用于其他方法、设备和系统。具体实施方式本公开提供了用于使用打印过程来建造衬底上的层的技术。更具体地，使用半色调化来接收和翻译表示层厚度的数据以产生喷墨液滴图案。墨水是粘性材料，使得液滴在有限程度散布，并因此本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种在衬底上形成层的方法，所述方法包括：接收标识层的期望厚度的数据；使用处理器来生成用于打印机构根据所述数据来将墨水的液滴沉积到衬底上的指令，所述墨水携带用来形成所述层的材料；以及其中使用处理器包括取决于期望厚度来选择半色调图案并且取决于所选半色调图案来生成指令。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2013.12.12 US 61/915149;2014.04.10 US 61/977939;201.一种在衬底上形成层的方法，所述方法包括：
接收标识层的期望厚度的数据；
使用处理器来生成用于打印机构根据所述数据来将墨水的液滴沉积到衬底上的指令，
所述墨水携带用来形成所述层的材料；以及
其中使用处理器包括取决于期望厚度来选择半色调图案并且取决于所选半色调图案
来生成指令。
2.如权利要求1所述的方法，其中所述数据包括至少一个厚度值，其中生成指令包括将
至少一个厚度值转换成多个打印单元中的每一个打印单元的灰度值，并取决于多个打印单
元的灰度值来选择半色调图案。
3.如权利要求2所述的方法，其中生成指令还包括调整多个打印单元中的选择性打印
单元的灰度值。
4.如权利要求3所述的方法，其中调整多个打印单元中的选择性打印单元的灰度值包
括取决于与层的边缘的接近度而这样做。
5.如权利要求1所述的方法，其中使用处理器包括将衬底沉积区域划分成多个沉积区
并针对多个沉积区中的每一个选择半色调图案，并且其中多个沉积区中的相邻沉积区的半
色调图案被选择为具有互补液滴图案。
6.如权利要求1所述的方法，其中所述方法还包括使用打印机构喷射液体的液滴以沉
积层，其包括以可变空间频率喷射基本上类似大小的液滴以影响期望厚度。
7.如权利要求1所述的方法，其中：
所述层是第一层；
衬底包括至少一个有源元件和底层支持表面；
至少一个有源元件包括第二层，其具有毗邻第一层的第一面、在第二层的与第一层相
对侧上的第二面以及横向边缘；以及
所述方法还包括使用打印机构将第一层沉积为封装层，所述封装层封闭第一面、第二
面以及相对于底层支持表面的横向边缘，以封闭第二层来抵抗外部气氛。
8.如权利要求7所述的方法，其中使用打印机构包括控制在封装层的沉积期间包含衬
底的气氛。
9.如权利要求1所述的方法，其中：
层是封装层；
衬底包括要利用封装层覆盖的目标区和不要利用封装层覆盖的暴露区；以及
所述方法还包括使用打印机构，使用打印机构包括根据半色调图案将封装层沉积在目
标区而不沉积在暴露区。
10.如权利要求9所述的方法，其中：
衬底还包括目标区的接近于暴露区的边界区；以及
使用处理器包括调整表示衬底的子集的打印单元的灰度值，其中打印单元对应于边界
区。
11.如权利要求9所述的方法，其中
衬底还包括目标区的接近于暴露区的边界区；以及
使用处理器还包括选择对应于边界区的至少一个打印单元的半色调图案，所述半色调
图案加重毗邻暴露区的目标区的外围处的液滴的密度。
12.如权利要求9所述的方法，其被应用为建造设备的方法，其中衬底支持目标区内要
被封装层封装的有源电子元件、暴露区中不要被封装层封装的电接触部，以及将电接触部
与有源电子元件中的相应有源电子元件耦合的导电路径。
13.如权利要求9所述的方法，其中
使用打印机构包括控制在封装层的沉积期间包含衬底的气氛；以及
所述方法还包括在使用打印机构沉积封装层之前，也在存在受控气氛的情况下，形成
电子设备，其中所述形成和所述使用是以不受对非受控气氛的暴露干扰的方式来执行的。
14.如权利要求13所述的方法，其中在沉积期间包含衬底的气氛和受控气氛是不同的。
15.如权利要求9所述的方法，其中：
封装层是有机封装层；以及
使用打印机构沉积有机封装层...

【专利技术属性】
技术研发人员：E弗伦斯基，N哈吉，
申请(专利权)人：科迪华公司，
类型：发明
国别省市：美国;US