【技术实现步骤摘要】
本技术涉及到一种硅片镀膜
，尤其涉及到一种能提高硅片镀膜质量的硅片固定夹具。
技术介绍
目前太阳能电池片制造中PECVD管式镀膜工序，硅片插入石墨舟内，石墨舟在左右及底部各有一个卡钉将硅片固定，卡钉位置如图1所示，硅片与石墨舟接触良好，导电较好，但是硅片顶边及一个侧边的上部则由于需要为硅片留下插入通道而不能设置卡钉，在镀膜炉内的高温作用下容易导致硅片弯曲变形，硅片上部与石墨舟片之间的距离发生变化，影响硅片与石墨舟之间的导电性，硅片之间距离不同，也会影响电场强度，从而影响镀膜效果，降低硅片质量。
技术实现思路
本技术主要解决现有石墨舟内硅片顶部无法设置卡钉而容易造成硅片弯曲变形、影响镀膜效果的技术问题；提供了一种能提高硅片镀膜质量的硅片固定夹具显著。为了解决上述存在的技术问题，本技术主要是采用下述技术方案：本技术的一种硅片固定夹具，用于太阳能电池PECVD镀膜石墨舟内的硅片夹持，所述固定夹具包括横挡，所述横挡上设有若干方向相同且分布均匀的夹杆组，所述夹杆组分别对应所述石墨舟内装载的多件硅片，夹杆组包括两根夹杆，所述夹杆间距与硅片厚度相吻合且插入硅片中，夹杆长度和石墨舟与硅片上端的距离相吻合，在硅片顶端设置固定硅片的夹具，通过夹具内的夹杆分别夹持相应硅片，使硅片四周均有固定点，硅片上部在高温镀膜时就不会弯曲变形，同时，硅片与石墨舟的距离也保持一致，减少硅片内的各个位置的导电差异，...
【技术保护点】
一种硅片固定夹具，用于太阳能电池PECVD镀膜石墨舟(1)内的硅片(2)夹持，其特征在于：所述固定夹具(3)包括横挡(31)，所述横挡上设有若干方向相同且分布均匀的夹杆组(32)，所述夹杆组分别对应所述石墨舟内装载的多件硅片，夹杆组包括两根夹杆(321)，所述夹杆间距(33)与硅片厚度相吻合且插入硅片中，夹杆长度和石墨舟与硅片上端的距离相吻合。
【技术特征摘要】
1.一种硅片固定夹具，用于太阳能电池PECVD镀膜石墨舟(1)内的硅片(2)
夹持，其特征在于：所述固定夹具(3)包括横挡(31)，所述横挡上设有
若干方向相同且分布均匀的夹杆组(32)，所述夹杆组分别对应所述石墨
舟内装载的多件硅片，夹杆组包括两根夹杆(321)，所述夹杆间距(33)
与硅片厚度相吻合且插入硅片中，夹杆长度和石墨舟与硅片上端的距离相
吻合。
2.根据权利要求1所述的一种硅片固定夹具，其特征在于：所述夹杆组(32)...
【专利技术属性】
技术研发人员：史公彬，金重玄，
申请(专利权)人：杭州大和热磁电子有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江;33
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。