本实用新型专利技术涉及一种空气刀，用于分离基板表面的液体，包括一气体腔室，所述气体腔室的一端具有进气口，另一端具有一弧形缝隙状出气口，所述出气口对应于基板中间区域的第一部分的宽度小于所述出气口对应于基板边缘的第二部分的宽度。本实用新型专利技术还提供一种用于分离基板表面液体的分离装置。本实用新型专利技术的有益效果是：空气刀弧形出气口的设置，利于基板中间区域的液体向边缘流动，中间窄两边宽的设置利于基板边缘区域液体的分离，极大地提升空气刀的分离能力，从而降低颗粒物体沿基板边缘聚集的风险。
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及液晶产品制作
，尤其涉及一种空气刀、用于分离基板表面液体的分离装置。
技术介绍
在TFT-1XD的制作过程中都需要经过镀膜，涂胶，曝光，显影，刻蚀，剥离这些工序。在这些工序的前后大多会有清洗的环节，清洗的目的有所不同，通常工序前的清洗是为了清洗基板表面的Particle(颗粒物质)，增加基板表面的粘附力等;而工序后的清洗通常是为了将工序所用的化学药品清干净；这些清洗单元后都需要连接着将清洗液分离的AirKnife(空气刀)，从而达到干燥基板表面的作用。Air Knife作为分离清洗液的主要设备，传统的设计存在着很大的弊端，如图1和图2所示，空气刀I的出气口为一条直线型缝隙，采用均匀的风速，要求较大的气压，存在造成多种不良的隐患，如对膜层表面的冲刷较大、Particle沿Air Knife风向在玻璃基板边缘聚集、水渍残留等，降低了机台的生产的工艺Margin(成本)，现已经发生的Issue(问题)与Air Knife的设计有所关联的很多，如GCS高发、有机膜长边聚集等;而且对于未来的高PPI产品来说，这些影响可能会表现的更加明显，所以对Air Knife进行重新设计，显得十分的必要。
技术实现思路
为了解决上述技术问题，本技术提供一种空气刀、用于分离基板表面液体的分离装置，能够更好的去除基板表面液体，降低水渍残留的风险。为了达到上述目的，本技术采用的技术方案是:一种空气刀，用于分离基板表面的液体，包括一气体腔室，所述气体腔室的一端具有进气口，另一端具有一弧形缝隙状出气口，所述出气口对应于基板中间区域的第一部分的宽度小于所述出气口对应于基板边缘的第二部分的宽度。进一步的，所述第一部分为所述出气口的中间区域，所述第二部分为所述出气口的任一端的端部。进一步的，所述出气口两端端部的宽度相等，且所述出气口的宽度由其两端端部向其中间区域逐渐变小。本技术还提供一种用于分离基板表面液体的分离装置，包括向基板表面喷射气体的空气刀和用于传送基板的传送辊，所述空气刀平行设置于基板的上方，所述空气刀包括一气体腔室，所述气体腔室的一端具有进气口，另一端具有一弧形缝隙状出气口，所述出气口对应于基板中间区域的第一部分的宽度小于所述出气口对应于基板边缘的第二部分的宽度。进一步的，所述第一部分为所述出气口的中间区域，所述第二部分为所述出气口的任一端的端部。进一步的，所述出气口两端端部的宽度相等，且所述出气口的宽度由其两端端部向其中间区域逐渐变小。进一步的，所述传送辊包括多个辊轴，每个所述辊轴上设有多个辊轮，每个所述辊轴中间区域的辊轮的直径大于其两侧的辊轮的直径。进一步的，每个所述辊轴上的多个辊轮的直径由相应辊轴的中间向两端逐渐变小。进一步的，还包括用于驱动所述传送辊转动以传送基板从所述空气刀下方经过的传动结构。本技术的有益效果是:空气刀弧形出气口的设置，利于基板中间区域的液体向边缘流动，中间窄两边宽的设置利于基板边缘区域液体的分离，极大地提升空气刀的分离能力，从而降低颗粒物体沿基板边缘聚集的风险。【附图说明】图1表示现有技术中空气刀结构示意图；图2表示现有技术中空气刀使用状态示意图；图3表示本技术实施例中空气刀结构示意图；图4表示本技术实施例中传送辊结构示意图；图5表示本技术实施例中用于分离基板表面液体的分离装置结构示意图。【具体实施方式】以下结合附图对本技术的特征和原理进行详细说明，所举实施例仅用于解释本技术，并非以此限定本技术的保护范围。如图3所示，本实施例提供一种空气刀I，用于分离基板表面的液体，包括一气体腔室，所述气体腔室的一端具有进气口，另一端具有一弧形缝隙状出气口，所述出气口对应于基板中间区域的第一部分11的宽度小于所述出气口对应于基板边缘的第二部分12的宽度。空气刀弧形出气口的设置，利于基板中间区域的液体向边缘流动，空气刀对应于基板中间区域的第一部分11的宽度小于所述出气口对应于基板边缘的第二部分12的宽度的设置能够保证在相同的气压下，空气刀边缘的风速大，中间的风速小，从而增大基板边缘处的气体流量，利于基板边缘区域液体的分离，极大地提升空气刀的分离能力，从而降低颗粒物体沿基板边缘聚集和水渍残留的风险。进一步的，所述第一部分11为所述出气口的中间区域，所述第二部分12为所述出气口 I的任一端的端部。进一步的，所述出气口两端端部的宽度相等，且所述出气口的宽度由其两端端部向其中间区域逐渐变小。出气口I两端的端部的宽度相等使得基板对应于出气口 I的两个边缘的液体分离的速度相同，以便于控制基板上液体分离的时间。如图5所示，本技术还提供一种用于分离基板表面液体的分离装置，包括向基板3表面喷射气体的空气刀I和用于传送基板3的传送辊2，所述空气刀I平行设置于基板3的上方，所述空气刀I包括一气体腔室，所述气体腔室的一端具有进气口，另一端具有一弧形缝隙状出气口，所述出气口对应于基板3中间区域的第一部分的宽度小于所述出气口对应于基板边缘的第二部分的宽度。空气刀I弧形出气口的设置，利于基板3中间区域的液体向边缘流动，中间窄两边宽的设置能够保证在相同的气压下，空气刀I边缘的风速大，中间的风速小，从而增大基板3边缘处的气体流量，利于基板3边缘区域液体的分离，极大地提升空气刀I的分离能力，从而降低颗粒物体沿基板3边缘聚集和降低基板3边缘水渍残留的风险。进一步的，所述第一部分为所述出气口的中间区域，所述第二部分为所述出气口的任一端的端部。进一步的，所述出气口两端端部的宽度相等，且所述出气口的宽度由其两端端部向其中间区域逐渐变小。出气口两端的端部的宽度相等使得基板对应于出气口的两个边缘的液体分离的速度相同，以便于控制基板上液体分离的时间。如图4所示，本实施例中，所述传送辊2包括多个辊轴22，每个所述辊轴22上设有多个辊轮21，每个所述辊轴22中间区域的辊轮21的直径大于其两侧的辊轮21的直径，图4中表示的是一根棍轴的示意图。辊轴22中间区域的辊轮21的直径大于其两侧的辊轮21的直径利于基板中间区域的液体向基板边缘流动，以加快基板的风干速度，且更有效的分离基板上的液体，且分离液体所需要的气压将会降低，减轻了气流对基板表面的冲刷，减轻膜层被冲坏的风险。进一步的，每个所述辊轴22上的多个辊轮21的直径由相应辊轴22的中间向两端逐渐变小，使得每个辊轴22的高度由中间向两端逐渐降低，从而使得置于辊轴22上的基板的中间区域到边缘区域的高低变换比较平缓，防止基板的液体分离不净。进一步的，用于分离基板表面液体的分离装置，还包括用于驱动所述传送辊I转动以传送基板从所述空气刀下方经过的传动结构。以上所述为本技术较佳实施例，需要说明的是，对于本领域普通技术人员来说，在不脱离本技术所述原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本技术保护范围。【主权项】1.一种空气刀，用于分离基板表面的液体，其特征在于，包括一气体腔室，所述气体腔室的一端具有进气口，另一端具有一弧形缝隙状出气口，所述出气口对应于基板中间区域的第一部分的宽度小于所述出气口对应于基板边缘的第二部分的宽度。2.根据权利要求1所述的空气刀，其特征在于，所述第一部分为所述出气口的中间区域，所述第二部分为本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种空气刀，用于分离基板表面的液体，其特征在于，包括一气体腔室，所述气体腔室的一端具有进气口，另一端具有一弧形缝隙状出气口，所述出气口对应于基板中间区域的第一部分的宽度小于所述出气口对应于基板边缘的第二部分的宽度。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：周如，黄胜，吴春晖，董必良，
申请(专利权)人：合肥京东方光电科技有限公司，京东方科技集团股份有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽;34
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