【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种卷对卷连续石墨烯薄膜生长设备，它包括有机体，其特征在于：所述的机体上设有工作台，工作台两端分别设有真空腔室a与真空腔室b，所述的真空腔室a与真空腔室b上连通有真空机组，所述的真空腔室a设有进气口，且另一端的真空腔室b设有出气口，所述的真空腔室a与真空腔室b内均设有放卷滚筒，同时放卷滚筒上设有旋转电机，所述的真空腔室a与真空腔室b之间连接有真空管，所述的真空腔室a一侧依次设有射频等离子发生器、加热炉、液氮冷阱。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：孔令杰，吴克松，王钊，
申请(专利权)人：安徽贝意克设备技术有限公司，
类型：发明
国别省市：安徽;34
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