【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种高束流直流空心阴极等离子体源，其特征在于，包括密封管(1)、空心电极(3)、阴极板(4)、连接板(5)、第一阳极板(7)、第二阳极板(8)、引弧隔套(10)和控制电源(12)，其中：所述空心电极(3)安装在阴极板(4)上并且可以前后调节移动；所述密封管(1)与阴极板(4)连接，并将空心电极(3)套入其中，以实现对空心电极的密封，并为空心电极的移动预留余量；该密封管顶部还设有用于将气体输入至空心电极中的气体导入口(2)；所述第一阳极板(7)用作等离子体源的弧电极，所述连接板(6)用于实现阴极板和第一阳极板的密封连接，并使二者之间形成电势差；所述第二阳极板(11)用作等离子体源的工作电极，其与第一阳极板(7)底部间隔30～50厘米，并与空心电极之间形成高密度等离子体束流；所述引弧隔套(10)设置在空心电极(3)与第二阳极板(11)之间，用于控制引弧区域的大小，满足不同气体的引弧；所述控制电源(12)具有正极、负极和引弧极，其中，正极与第二阳极板连接，负极与阴极板连接，引弧极与第一阳极板连接。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：金伟，王东平，徐海燕，刘柯钊，芶富均，阿尔特·威廉姆·柯莱恩，
申请(专利权)人：中国工程物理研究院材料研究所，
类型：发明
国别省市：四川;51
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