一种柔性射频应变可调无源低通滤波器及制造和测量方法技术

一种柔性射频应变可调无源低通滤波器及制造和测量方法，在衬底的上端面分别设置有螺旋电感中心电极和MIM电容底层金属极板，在MIM电容底层金属极板上由下到上依次设置有MIM电容介质层和MIM电容上层金属极板，衬底上设置有SU_8绝缘层，螺旋电感通孔、上层金属极板通孔、下层金属极板通孔，SU_8绝缘层上端面分别设置有：螺旋电感输出端、MIM电容输入端、MIM电容输出端、地线、滤波器输出端、螺旋电感输入端和滤波器输入端。本发明专利技术利用柔性电容和电感在弯曲应变下电容值和电感值的变化，使无源滤波器的截止频率和S参数发生变化。本发明专利技术结构简单，调谐简便，调谐范围较窄，灵敏度高，节省了调谐的成本，并且有很少的寄生效应。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种柔性射频应变可调无源低通滤波器，包括衬底(1)，其特征在于，在所述的衬底(1)的上端面分别设置有螺旋电感中心电极(3a)和MIM电容底层金属极板(3b)，在所述的MIM电容底层金属极板(3b)上由下到上依次设置有MIM电容介质层(4)和MIM电容上层金属极板(5)，所述的衬底(1)上还设置有将所述螺旋电感中心电极(3a)、MIM电容底层金属极板(3b)、MIM电容介质层(4)和MIM电容上层金属极板(5)全部覆盖在内部的SU_8光刻胶构成SU_8绝缘层(2)，所述的SU_8光刻胶构成SU_8绝缘层(2)内还形成有使螺旋电感中心电极板(3a)与所述SU_8光刻胶构成SU_8绝缘层(2)上端面相连的螺旋电感通孔(61)，使MIM电容上层金属极板与所述SU_8光刻胶构成SU_8绝缘层(2)上端面相连的上层金属极板通孔(62)，以及使MIM电容底层金属极板(3b)与所述SU_8光刻胶构成SU_8绝缘层(2)上端面相连的下层金属极板通孔(63)，所述SU_8光刻胶构成SU_8绝缘层(2)上端面分别设置有：与所述的螺旋电感通孔(61)相连的螺旋电感输出端(7)，与所述的上层金属极板通孔(62)相连的MIM电容输入端(8)，与所述的下层金属极板通孔(63)相连的MIM电容输出端(9)，以及地线(10)、滤波器输出端(11)、螺旋电感输入端(12)和滤波器输入端(13)，其中，所述的螺旋电感输出端(7)和螺旋电感输入端(12)之间为螺旋电感(15)，所述的螺旋电感输出端(7)分别通过互连线(14)连接滤波器输出端(11)和MIM电容输入端(8)，所述MIM电容输出端(9)通过互连线(14)连接地线(10)，所述螺旋电感输入端(12)通过互连线(14)连接滤波器输入端(13)。...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：秦国轩，靳萌萌，黄治塬，刘昊，党孟娇，王亚楠，
申请(专利权)人：天津大学，
类型：发明
国别省市：天津;12