基于内置液囊和光谱谷点的高分辨率温度传感器制造技术

本发明专利技术公开了一种基于内置液囊和光谱谷点的高分辨率温度传感器，它由一个内置液囊、金属块、一个竖直波导、一个水平波导、两个金属膜和一个水平信号光组成；所述信号光采用宽带光或扫频光；所述液囊和所述竖直波导连接，所述金属块设置竖直波导内，且可以移动；所述竖直波导和水平波导连接。本发明专利技术具有结构紧凑，体积小，非常便于集成，温度传感器的灵敏度可以达到‑274nm/℃。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种高分辨率，纳米尺度的温度传感器，尤其涉及基于内置液囊和光谱谷点的高分辨率温度传感器。
技术介绍
温度传感器是实际应用中最为广泛的传感器之一，从我们生活中的寒暑表，体温计到大型仪器以及集成电路上的温控设备，温度传感器无处不在。传统温度传感器，例如热电阻、铂电阻，双金属开关等虽然有着各自的优点，但在微型和高精度产品中却不再适用。半导体温度传感器灵敏度或分辨率高、体积小、功耗低、抗干扰能力强等优点，使其在半导体集成电路中应用非常广泛。随着光通信，光计算，光存储等光信息技术的发展，基于表面等离子激元的波导却能突破衍射极限的限制，实现纳米尺度的光信息处理和传输。表面等离子激元是当电磁波入射到金属与介质分界面时，电磁波和金属表面的自由电子耦合形成的一种在金属表面传播的表面电磁波。根据表面等离子激元的性质，人们已经提出了很多基于表面等离子体结构的器件，例如：滤波器、环形器、逻辑门、光开关等。这些器件在结构上都比较简单，非常便于光路集成。根据表面等离子激元的性质提出了温度传感器的灵敏度只有70pm/℃或-0.65nm/℃。虽然这些表面等离子激元的温度传感器体积很小，但是灵敏度或分辨率并不高。
技术实现思路
本专利技术的目的是克服现有技术中的不足，提供一种便于集成的MIM结构的高分辨率温度传感器。为了实现上述目的，本专利技术采取以下设计方案：本专利技术基于内置液囊和光谱谷点的高分辨率温度传感器由一个内置液囊、金属块、一个竖直波导、一个水平波导、两个金属膜和一个水平信号光组成；所述信号光采用宽带光或扫频光；所述液囊和所述竖直波导连接，所述金属块设置竖直波导内，且可以移动；所述竖直波导和水平波导连接。所述温度敏感腔内物质为高热膨胀系数的物质。所述高膨胀系数的物质为酒精或水银。所述液囊截面积的形状为矩形、圆形、多边形、椭圆形、或不规则形状。所述金属为金或银。所述金属为银。所述水平波导和竖直波导为MIM结构的波导。所述水平波导内的介质为空气。所述信号光波长范围为700nm-1000nm的频谱信号。本专利技术与现有技术相比的有益效果是：1.具有结构紧凑，体积小，非常便于集成；2.温度传感器的灵敏度可以达到-274nm/℃，响应时间在微秒级别。附图说明图1是本专利技术高分辨率温度传感器第一种实施例二维结构示意图。图中：金属膜1液囊2金属块3竖直波导4水平波导5金属膜6水平传播的信号光200图2是图1所示的三维结构示意图。图3是本专利技术高分辨率温度传感器第二种实施例二维结构示意图。图中：金属膜1液囊2金属块3竖直波导4水平波导5金属膜6水平传播的信号光200图4是图3所示的三维结构示意图。图5是不同波长信号光的透射频谱图。图6是透射频谱与温度之间的关系图。图7是波长移动量与温度之间的关系图。具体实施方式下面结合附图及实施例对本专利技术作进一步详细的描述。如图1和2(图2中省略了结构上面的封装介质)所示，本专利技术基于内置液囊和光谱谷点的高分辨率温度传感器，它由金属膜1、一个内置液囊2、金属块3、一个竖直波导4、一个水平波导5、金属膜6(没有被刻蚀的金属膜1、6)和一个水平传播的信号光200(波导表面形成表面等离子激元)组成；信号光采用宽带光或扫频光；液囊2和竖直波导4连接，液囊2截面为圆形腔，半径为R，其截面积采用502655nm2，厚度为1μm，该液囊2内的物质为比热容较低的，且为高膨胀系数的物质；所述高膨胀系数物质为酒精或水银，最好为酒精；金属采用金或银，最佳为银，金属膜厚度(以下用h1表示)采用100nm以上取值范围，以100nm厚度为最佳；液囊2的厚度大于银膜的厚度h1；金属块3设置竖直波导4内，且可以移动，移动金属块3长度m采用80nm-150nm取值范围，以125nm长度为最佳，可移动金属块3距离水平波导5的距离s采用0nm-200nm距离范围，且由金属块3的位置确定，该金属块3为金或银，最佳为银；竖直波导4和水平波导5连接；竖直波导4和水平波导5为MIM结构的波导，即MIM波导为金属-绝缘体-金属结构；绝缘体采用不导电透明物质；不导电透明物质为空气、二氧化硅、或硅；竖直波导4位于水平波导5的上端；竖直波导4宽度b采用30nm-60nm取值范围，以35nm宽度为最佳，竖直波导4长度M采用200nm以上的值，以300nm长度为最佳；竖直波导4的左边缘到金属膜6左边缘的距离a采用350nm-450nm取值范围，以400nm为最佳。水平波导5宽度d采用30nm-100nm取值范围，以50nm宽度为最佳，水平波导5内的介质为空气；水平波导5的下边缘距离金属膜6的边缘的距离c采用大于150nm的取值范围。本专利技术通过温度的变化来改变酒精的体积，使其膨胀推动可移动金属块向水平波导移动来改变竖直波导内空气段的长度，可移动金属块3向下移动,从而改变信号光的透过率，由于可移动金属块往下移动受温度的控制，所以温度的变化影响信号光的透射频谱谷点的位置，根据透射频谱谷点的移动的信息即可得到温度变化的信息。根据透射频谱谷点的移动的信息即可得到温度变化的信息。当温度又降回初始温度时，在外界大气压的作用下，金属块3又会回到初始压力平衡的位置，方便下一次探测。本专利技术酒精体积膨胀系数为αethanol＝1.1×10-3/℃，在室温(20℃)时密度为ρ＝0.789g/cm3。银的线膨胀系数为αAg＝19.5×10-6/℃。相比于酒精的膨胀系数，在相同温度变化下，银的膨胀可以忽略不计。在本专利技术中即不再考虑温度变化对银的体积的影响。根据液囊的体积和可移动金属块的截面积可以计算出金属块的位置变化与温度的关系，由此定义一个比例系数σ表示单位温度的变化对应的金属块移动距离 σ = h × S × α e t h a n o l b &tim本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基于内置液囊和光谱谷点的高分辨率温度传感器，其特征在于：它由一个内置液囊、金属块、一个竖直波导、一个水平波导、两个金属膜和一个水平信号光组成；所述信号光采用宽带光或扫频光；所述液囊和所述竖直波导连接，所述金属块设置竖直波导内，且可以移动；所述竖直波导和水平波导连接。

【技术特征摘要】
1.一种基于内置液囊和光谱谷点的高分辨率温度传感器，其特征
在于：它由一个内置液囊、金属块、一个竖直波导、一个水平波导、
两个金属膜和一个水平信号光组成；所述信号光采用宽带光或扫频
光；所述液囊和所述竖直波导连接，所述金属块设置竖直波导内，且
可以移动；所述竖直波导和水平波导连接。
2.按照权利要求1所述的基于内置液囊和光谱谷点分析的高分辨
率温度传感器，所述液囊内物质为高热膨胀系数的物质。
3.按照权利要求2所述的基于内置液囊和光谱谷点分析的高分辨
率温度传感器，所述高膨胀系数的物质为酒精或水银。
4.按照权利要求1所述的基于内置液囊和光谱谷点分析的高分辨
率温度传感器，所述液囊截面积的形...

【专利技术属性】
技术研发人员：欧阳征标，陈治良，
申请(专利权)人：欧阳征标，
类型：发明
国别省市：广东;44