闪烁体面板制造技术

本发明专利技术为闪烁体面板，其包含基板、形成在该基板上的间隔壁、填充在被该间隔壁划分开的单元内的闪烁体层，所述闪烁体层含有荧光体，上述闪烁体层由荧光体的含有浓度不同的多个层构成。本发明专利技术提供闪烁体面板，其通过形成间隔壁而提高图像的清晰度，且能够获得充分的发光量。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

本专利技术涉及闪烁体面板。

技术介绍

一直以来，在医疗现场广泛使用了利用膜的X射线图像。但是，利用了膜的X射线图像是模拟图像信息，因此，近年来开发了计算机照射术（computedradiography：CR）、平板型放射线检测器（flatpaneldetector：FPD）等数字方式的放射线检测装置。
FPD存在直接方式和间接方式。间接方式中，为了将放射线转换成可见光而使用闪烁体面板。闪烁体面板具备含有碘化铯等荧光体的闪烁体层作为构成要素，根据所照射的X射线，荧光体发出可见光，并利用TFT、CCD将该发光转换成电信号，从而将X射线的信息转换成数字图像信息。
作为闪烁体层，已知有蒸镀荧光体而得到的柱状晶体，但其生产率存在课题。另外，形成糊剂状荧光体粉末的涂布膜而制成闪烁体层的方法是简便的，但会发生涂布膜内部的发光明显散射、图像清晰度降低这一问题。
为了抑制该发光的散射问题，近年来提出了预先形成用于划分闪烁体层的间隔壁的方法（专利文献1~3）。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开平5-60871号公报
专利文献2：日本特开平5-188148号公报
专利文献3：日本特开2011-007552号公报。

技术实现思路

专利技术要解决的课题
然而，间隔壁即使照射X射线也不会发光，因此，随着间隔壁体积的增加而产生闪烁体面板整体的发光量降低这一崭新的问题。为了解决该问题，还考虑了增加闪烁体层的厚度，但现状是：发光在闪烁体层内部的散射变得显著、无法使发光量有效增加。
因而，本专利技术的目的在于，提供能够提高图像的清晰度且获得充分发光量的闪烁体面板。
用于解决问题的手段
该课题通过如下闪烁体面板来实现，所述闪烁体面板包含基板、形成在该基板上的间隔壁、填充在被该间隔壁划分开的单元内的闪烁体层，所述闪烁体层含有荧光体，该闪烁体层由荧光体的含有浓度不同的多个层构成。
专利技术的效果
根据本专利技术的闪烁体面板，通过形成间隔壁而提高图像的清晰度，并且通过有效地抑制闪烁体层内部的发光的散射等而能够获得充分的发光量。
附图说明
图1为示意性地示出具备本专利技术的闪烁体面板的放射线检测装置的构成的剖视图。
图2为示意性地示出本专利技术的闪烁体面板的构成的立体图。
图3为示意性地示出构成本专利技术的闪烁体面板的间隔壁的截面的图。
具体实施方式
以下，使用附图，针对本专利技术的闪烁体面板的优选构成进行说明，但本专利技术不限定于此。
图1是示意性地示出具备本专利技术的闪烁体面板的放射线检测装置的构成的剖视图。放射线检测装置1包括闪烁体面板2、输出基板3和电源部12。
图2是示意性地示出本专利技术的闪烁体面板的构成的立体图。另外，图3是示意性地示出构成闪烁体面板的间隔壁的截面的图。以下，如图3所示那样，间隔壁的截面是指将间隔壁沿着其高度方向且垂直于长度方向地切断时的截面。
闪烁体面板2包括基板4、形成在基板4上的间隔壁6、以及被间隔壁6划分开的单元内填充的闪烁体层（7（a）和7（b））。
此处，闪烁体层是指被间隔壁划分开的单元内填充的含有荧光体的层。构成本专利技术的闪烁体面板的闪烁体层包括荧光体的含有浓度不同的多个层。闪烁体层可以为3层以上。可以包含完全不含荧光体的层、即荧光体的含有浓度为0%的层。
基板4与间隔壁6之间优选形成有缓冲层5。通过形成缓冲层5，能够稳定地形成间隔壁6。另外，通过提高该缓冲层5相对于可见光的反射率，能够使闪烁体层所含有的荧光体的发光高效地到达输出基板上3的光电转换层9。
输出基板3在基板11上具备光电转换层9和输出层10。光电转换层9是由光传感器和TFT构成的像素形成为二维状而得到的。通过使闪烁体面板2的输出面与输出基板3的光电转换层9借助由聚酰亚胺树脂等形成的隔膜层8进行粘接或密合，从而构成放射线检测装置1。根据从外部的放射线源照射的放射线，闪烁体面板2的荧光体发出可见光，该发光到达光电转换层9并在光电转换层9进行光电转换，通过输出层10而输出图像数据。闪烁体层填充于被间隔壁划分开的单元内，因此，使配置成格子状的光电转换元件的像素大小和间距与闪烁体面板的单元大小和间距相对应，配置光电转换层9中的光电转换元件，从而能够防止发光的散射对相邻的单元造成影响。由此降低由发光的散射导致的图像模糊（ボケ），实现清晰度高的图像。
闪烁体层由荧光体的含有浓度不同的多个层构成。用于使荧光体发光的X射线的照射方向可以是基板侧或其相反侧中的任一侧，从基板侧照射X射线时，优选最接近基板一侧的层的荧光体的含有浓度最高。此时，为了获得充分的发光量，最接近基板一侧的层的荧光体的含有浓度优选为50%以上、更优选为70%以上。
闪烁体层所包含的多个层之中，将荧光体的含有浓度最高的层称为高浓度层。高浓度层的厚度可根据荧光体的种类、形状来适当调整，优选为120~500μm、更优选为150~500μm、进一步优选为180~400μm。高浓度层的厚度不足120μm时，发光量变低。另一方面，高浓度层的厚度超过500μm时，发光有可能在高浓度层内被吸收或者发生散射。此处，高浓度层的厚度是指，在闪烁体层的截面中，以高浓度层最接近基板的点作为起点且垂直于基板表面的方向的高浓度层的宽度。针对构成闪烁体层的高浓度层以外的层的厚度，也可以根据与高浓度层的厚度相同的想法进行测定。需要说明的是，如图1所示那样，闪烁体层的截面是指将闪烁体面板的间隔壁沿着其高度方向且垂直于长度方向地切断时观察到的闪烁体层的截面。
构成闪烁体层的各层中的荧光体的含有浓度可以在精密研磨闪烁体层的截面后，用电子显微镜进行观察并测定。更具体而言，对荧光体与荧光体以外（包括孔隙）的部分进行两个灰度的图像转换，将荧光体在闪烁体层截面中所占的面积比例记作荧光体的含有浓度。
形成闪烁体层的多个层之中，优选至少一层为透光层。此处，透光层是指波长550nm的光的总光线透过率即可见光透过率为15%以上的层。透光层的可见光透过率优选为30%以上、更优选为50%以上。
透光层的可见光透过率可通过对预先制作的基于膜厚与透过率的关系的标准曲线应用透光层的厚度来算出。具体而言，在玻璃基板（例如OA-10；日本电气硝子株式会社制）上，以干燥后的厚度分别达到50μm、100μm、150μm、200μm的方式，涂布用于形成透光层的糊剂，以100℃进行热风干燥而得到固化膜。针对所得的各固化膜测定波长550nm的光的总光线透过率，从而能够基于膜厚与透过率的关系来制作标准曲线。形成透光层的材质无法制成糊剂时，用成型器计制作厚度为100μm、200μm、300μm的成型膜，针对所得的各成型膜测定波长550nm的光的总光线透过率，从而能够制作标准曲线。需要说明的是，膜的厚度可通过接触式或非接触式的板厚计来测定。
透光层在闪烁体层中优选形成在与X射线照射方向相反的一侧。即，从基板侧照射X射线时，优选在最靠近基板的一侧设置高浓度层，并在最远离基板的一侧设置透光层。通过这样操作，由于最先入射X射线的高浓度层中的荧光体的含有浓度高，因此能够获得高发光量，并且，由于接近输出基板一侧的透光层中的光透过率高，因此能够抑制发光的吸收、散射。由此，能够使发光高效地到达输出基板上的光电转换层。
为了使荧本文档来自技高网...

【技术保护点】
闪烁体面板，其包含：基板、形成在该基板上的间隔壁、以及填充在被该间隔壁划分开的单元内的闪烁体层，所述闪烁体层含有荧光体，所述闪烁体层由含有不同浓度荧光体的多个层构成。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2013.11.20 JP 2013-2395441.闪烁体面板，其包含：
基板、
形成在该基板上的间隔壁、以及
填充在被该间隔壁划分开的单元内的闪烁体层，所述闪烁体层含有荧光体，
所述闪烁体层由含有不同浓度荧光体的多个层构成。
2.根据权利要求1所述的闪烁体面板，其中，形成所述闪烁体层的多个层之中，至少一层为透光层。
3.根据权利要求2所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：藤原秀行，内田哲夫，木下英树，秋本旭，
申请(专利权)人：东丽株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP