【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种组合物,其包含:嵌段共聚物;其中所述嵌段共聚物包含第一聚合物和第二聚合物;其中所述嵌段共聚物的所述第一聚合物和所述第二聚合物彼此不同并且所述嵌段共聚物形成相分离结构;添加剂聚合物,其包含一种聚合物,其中所述聚合物与所述第一聚合物的表面张力和所述聚合物与第二聚合物的表面张力都低于所述第一聚合物与第二聚合物之间的表面张力;其中所述添加剂聚合物包含在安置在衬底上后与所述衬底形成一键或络合物或配位键的反应性官能部分;其中所述反应性官能部分在其是所述组合物的一部分时不反应;以及溶剂。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员:P·D·赫士德,J·张,P·特雷福纳斯三世,
申请(专利权)人:罗门哈斯电子材料有限责任公司,陶氏环球技术有限责任公司,
类型:发明
国别省市:美国;US
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