一种多功能磁控溅射自动镀膜生产线制造技术

本实用新型专利技术公开了一种多功能磁控溅射自动镀膜生产线，其由上片架、前清洗机、进片过渡架、进片粗抽室、进片预抽室、进片过渡室、进片缓冲室、镀膜室、出片缓冲室、出片过渡室、出片预抽室、出片粗抽室、出片架、平移架、底漆淋漆室、底漆洪烤箱、面漆淋漆室、面漆烘烤箱、面漆风干室、后清洗机、纠偏架和下片架构成，进片缓冲室和出片缓冲室均设有镀膜靶；进片预抽室设有第一变换抽真空机组，出片预抽室设有第二变换抽真空机组；进片过渡室和进片缓冲室之间设有进片排气组件，出片缓冲室和出片过渡室之间设有出片排气组件。本实用新型专利技术可多种镀膜工艺集中于同一设备中，降低了生产投入，提高了经济效益。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及真空镀膜技术，具体涉及一种多功能磁控溅射自动镀膜生产线。
技术介绍
随着平板玻璃产业的兴起，平板铝镜、阳光控制膜和LOW-E膜平板玻璃的需求量越来越大，市场的竞争也越来越激烈，对磁控镀膜生产线各项指标性能的要求也越来越高。中国的玻璃产量位于全世界之首，因此企业能同时拥有多种高质量的平板玻璃产品就有更多的竞争力。目前，平面铝镜磁控镀膜生产线的主要工艺流程一般为:上片架—前清洗机—进片过渡架—进片粗抽室—进片预抽室—进片过渡室—进片缓冲室—镀膜室—出片缓冲镀—出片过渡室—出片预抽室—出片粗抽室—出片过渡架—平移架—底漆淋漆段—底漆烘烤箱—面漆淋漆段—面漆烘烤箱—面漆风干段—后清洗机—纠偏架—下片架。阳光控制膜和LOW-E (低辐射膜)磁控镀膜生产线的主要工艺流程一般为:上片架—前清洗机—进片过渡架—进片粗抽室—进片预抽室—进片缓冲室—前镀膜室—镀膜室—后镀膜室—出片缓冲室—出片预抽室—出片粗抽室—出片过渡架—纠偏架—下片架。故当前对玻璃工件镀不同的膜时需要使用不同的生产线进行。若企业需要生镀有不同膜的玻璃时，需要配备多条镀膜生产线，故企业的投入资金就非常巨大，生产成本就非常高，在现在激烈的市场竞争环境下就会面临被动的局面。
技术实现思路
本技术的目的是为了克服以上现有技术存在的不足，提供了一种降低生成本且能镀多种膜的多功能磁控溅射自动镀膜生产线。本技术的目的通过以下的技术方案实现:本多功能磁控溅射自动镀膜生产线，包括依次连接的上片架、前清洗机、进片过渡架、真空镀膜装置、出片架、平移架、底漆淋漆室、底漆洪烤箱、面漆淋漆室、面漆烘烤箱、面漆风干室、后清洗机、纠偏架和下片架，所述真空镀膜装置包括依次连接的进片粗抽室、进片预抽室、进片过渡室、进片缓冲室、镀膜室、出片缓冲室、出片过渡室、出片预抽室和出片粗抽室;所述进片缓冲室和出片缓冲室均设有镀膜靶;所述进片预抽室设有第一变换抽真空机组，所述出片预抽室设有第二变换抽真空机组;所述进片过渡室和进片缓冲室之间设有进片排气组件，所述出片缓冲室和出片过渡室之间设有出片排气组件。优选的，所述第一变换抽真空机组包括第一高真空气动阀、第一扩散栗、第一中真空气动阀、第一罗茨栗和第一滑阀栗，所述进片预抽室设有第一高真空抽气口和第一中真空抽气口，所述第一扩散栗通过第一高真空气动阀与第一高真空抽气口连接，所述第一罗茨栗通过第一中真空气动阀与第一中真空抽气口连接，所述第一滑阀栗、第一罗茨栗和第一扩散栗依次连接。优选的，所述第二变换抽真空机组包括第二高真空气动阀、第二扩散栗、第二中真空气动阀、第二罗茨栗和第二滑阀栗，所述进片预抽室设有第二高真空抽气口和第二中真空抽气口，所述第二扩散栗通过第二高真空气动阀与第二高真空抽气口连接，所述第二罗茨栗通过第二中真空气动阀与第二中真空抽气口连接，所述第二滑阀栗、第二罗茨栗和第二扩散栗依次连接。优选的，所述进片排气组件包括第一进片排气管、第二进片排气管和进片转换气动阀，所述第一进片排气管的一端伸入进片过渡室后通过进片转换气动阀与第二进片排气管的一端连接;所述第一进片排气管与进片过渡室的真空栗进气管连接，所述第二进片排气管的另一端伸入进片缓冲过渡室后与进片缓冲过渡室的真空栗进气管连接。优选的，所述出片排气组件包括第一出片排气管、第二出片排气管和出片转换气动阀，所述第一出片排气管的一端伸入出片过渡室后通过出片转换气动阀与第二出片排气管的一端连接;所述第一出片排气管与出片过渡室的真空栗出气管连接，所述第二出片排气管的另一端伸入出片缓冲过渡室后与出片缓冲过渡室的真空栗进气管连接。优选的，所述进片过渡架和进片粗抽室之间、进片粗抽室和进片预抽室之间、进片预抽室和进片过渡室之间、进片过渡室和进片缓冲室之间、出片缓冲室和出片过渡室之间、出片过渡室和出片预抽室之间、出片预抽室和出片粗抽室之间及出片粗抽室和出片架之间均设有真空气锁，所述真空气锁包括气缸、齿条、齿轮、转轴、转臂和锁板，所述气缸的伸缩杆与齿条连接，所述齿轮与齿条啮合，且所述齿轮通过转轴与转臂连接，所述转臂与锁板连接。优选的，所述锁板的密封端设有橡胶密封圈。优选的，所述进片缓冲室包括进片室体和进片输送组件，所述进片输送组件安装进片室体内的下部，位于进片缓冲室内的镀膜靶安装于进片室体内的上部；所述出片缓冲室包括出片室体和出片输送组件，所述出片输送组件安装出片室体内的下部，位于出片缓冲室内的镀膜靶安装于出片室体内的上部。—种采用上述多功能磁控溅射自动镀膜生产线的镀膜方法，包括以下步骤:玻璃工件依次经过上片架、前清洗机、进片过渡架、进片粗抽室、进片预抽室、进片过渡室、进片缓冲室、镀膜室、出片缓冲镀膜镀、出片过渡室、出片预抽室、出片粗抽室、出片过渡架、平移架、底漆淋漆段、底漆烘烤箱、面漆淋漆段、面漆烘烤箱、面漆风干段、后清洗机、纠偏架和下片架进行相应的工序；当进行对玻璃工件镀不同的膜时，第一变换抽真空机组启动相应的阀和栗，令进片预抽室达到相应的真空度;而第二变换抽真空机组启动相应的阀和栗，令出片预抽室达到相应的真空度;同时，进片缓冲室和出片缓冲室根据玻璃工件镀不同的膜而启动镀膜靶。优选的，对于玻璃工件进行的各过工序时，第一变换抽真空机组、第二变换抽真空机组及各个真空气锁的开闭均通过PLC控制。本技术相对于现有技术具有如下的优点:本技术的多功能磁控溅射自动镀膜生产线通过对进片缓冲室和出片的缓冲镀膜室进行改进，且在进片预抽室和出片预制室分别增加第一变换抽真空抽气机组和第二变换抽真空抽气机组，及增设了进片排气组件和出片排气组件，从而使本多功能磁控溅射自动镀膜生产线可镀制多种膜，从而企业不需要针对每种膜而购买不同的的生产线，故大大降低了企业的投入资本，使企业实现效益最大化。本技术的多功能磁控溅射自动镀膜生产线的结构简单，安装方便。本技术可将各种镀膜工艺集中在一设备中进行，故提高了企业的生产效益。【附图说明】图1是本技术的多功能磁控溅射自动镀膜生产线的结构示意图。图2是本技术的第一真空抽气机组的结构示意图。图3是本技术的进片缓冲室的剖视图。图4是本技术的进片排气组件的结构示意图。图5是本技术的真空气锁的正视图。图6是本技术的真空气锁的侧视图。图7是本技术的真空气锁的剖视图。【具体实施方式】下面结合附图和实施例对本技术作进一步说明。如图1至图4所示，多功能磁控溅射自动镀膜生产线，包括依次连接的上片架1、前清洗机2、进片过渡架3、真空镀膜装置、出片架13、平移架14、底漆淋漆室15、底漆洪烤箱16、面漆淋漆室17、面漆烘烤箱18、面漆风干室19、后清洗机20、纠偏架21和下片架22，所述真空镀膜装置包括依次连接的进片粗抽室4、进片预抽室5、进片过渡室6、进片缓冲室7、镀膜室8、出片缓冲室9当前第1页1 2 3 本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种多功能磁控溅射自动镀膜生产线，包括依次连接的上片架、前清洗机、进片过渡架、真空镀膜装置、出片架、平移架、底漆淋漆室、底漆洪烤箱、面漆淋漆室、面漆烘烤箱、面漆风干室、后清洗机、纠偏架和下片架，其特征在于：所述真空镀膜装置包括依次连接的进片粗抽室、进片预抽室、进片过渡室、进片缓冲室、镀膜室、出片缓冲室、出片过渡室、出片预抽室和出片粗抽室；所述进片缓冲室和出片缓冲室均设有镀膜靶；所述进片预抽室设有第一变换抽真空机组，所述出片预抽室设有第二变换抽真空机组；所述进片过渡室和进片缓冲室之间设有进片排气组件，所述出片缓冲室和出片过渡室之间设有出片排气组件。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：苏贵方，
申请(专利权)人：肇庆市大力真空设备有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44