本实用新型专利技术提供了一种底片检查机缺陷识别能力测试装置，包括：缺陷底片，缺陷底片上形成有至少一种缺陷图案，缺陷图案包括多个不同等级的缺陷子图案；与缺陷底片重叠起来配合使用的标识底片，标识底片上形成有与每个缺陷子图案一一对应的标识字符。本实用新型专利技术可以方便而快速地得到底片检查机的缺陷识别能力，具有结构简单、成本低、测试效率高的特点。
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及底片检查机领域，特别涉及一种底片检查机缺陷识别能力测试装置。
技术介绍
底片检查机是一种将底片扫描成的电子图像与底片的原始电子资料进行对比查错的检测设备。在线路板生产过程中，越来越多的制造商在进行底片检查时，使用底片检查机检查来代替放大镜人工检查，以降低漏检导致的后工序报废。所以底片检查机对缺陷识别的能力对后期品质影响重大。目前行业通用的测试方法就是在如图1所示的正常底片12上随机添加不同类型、不同等级缺陷图案11，用底片检查机检查并标记后与工程资料逐个缺陷点对比，以能正确检出缺陷的大小/长度作为检查机能力。但是，这种方式需要花费较长的测试时间。
技术实现思路
本技术提供了一种结构简单、成本低、测试效率高的底片检查机缺陷识别能力测试装置。为解决上述问题，作为本技术的一个方面，提供了一种底片检查机缺陷识别能力测试装置，包括:缺陷底片，缺陷底片上形成有至少一种缺陷图案，缺陷图案包括多个不同等级的缺陷子图案;与缺陷底片重叠起来配合使用的标识底片，标识底片上形成有与每个缺陷子图案对应的标识字符。优选地，缺陷图案包括短路图案、和/或开路图案、和/或突起图案。优选地，缺陷底片上还形成有第一对齐方向孔，标识底片上还形成有与第一对齐方向孔配合使用的第二对齐方向孔。优选地，第一对齐方向孔和第二对齐方向孔的个数均为两个。优选地，缺陷图案通过印刷、或刻蚀、电镀的方式形成在缺陷底片的表面上。优选地，标识字符通过印刷、或刻蚀、电镀的方式形成在标识底片的表面上。本技术可以方便而快速地得到底片检查机的缺陷识别能力，具有结构简单、成本低、测试效率高的特点。【附图说明】图1示意性地示出了现有技术中的正常底片的结构示意图；图2示意性地示出了本技术中的缺陷底片的结构示意图；图3示意性地示出了贴上了标签纸后的缺陷底片的结构示意图；图4示意性地示出了标识底片的结构示意图；图5示意性地示出了缺陷底片和标识底片重叠后的示意图。图中附图标记:1、缺陷底片；2、缺陷子图案；3、标识底片；4、标识字符;5、短路图案;6、开路图案;7、突起图案;8、第一对齐方向孔;9、第二对齐方向孔；10、标签纸；11、缺陷图案；12、正常底片。【具体实施方式】以下结合附图对本技术的实施例进行详细说明，但是本技术可以由权利要求限定和覆盖的多种不同方式实施。请参考图2至图5，本技术提供了一种底片检查机缺陷识别能力测试装置，包括:缺陷底片I，缺陷底片I上形成有至少一种缺陷图案，缺陷图案包括多个不同等级的缺陷子图案2;与缺陷底片I重叠起来配合使用的标识底片3，标识底片3上形成有与每个缺陷子图案2 对应的标识字符4。本专利中的缺陷底片I和标识底片3为透明的。使用时，将预先形成有一种或多种缺陷图案的缺陷底片1(如图2)，然后，利用底片检查机对缺陷底片I上的各种缺陷图案进行检查，并根据检查结果利用底片检查机的定位功能通过人工的方式标记出检查结果中对应的缺陷图案。例如，可通过人工的方式将检查结果中检查到的缺陷用图3所示的标签纸10贴在缺陷底片I上来表示。然后，把贴好标签纸的图3所示的缺陷底片I与图4中的标识底片重叠在一起，从而形成如图5所示的状态。因此，在图5中可以很容易地找到未被底片检查机检查出的缺陷。例如，在图5中，底片检查机仅检查出了 1um等级的开路缺陷，因此，该底片检查机对开路缺陷的识别能力为1um等级。在图5中，该底片检查机未能检查出5um等级的短路、1um等级的突起缺陷。可见，由于采用了上述技术方案，本技术可以方便而快速地得到底片检查机的缺陷识别能力，具有结构简单、成本低、测试效率高的特点。优选地，如图2，缺陷图案包括短路图案5、和/或开路图案6、和/或突起图案7。优选地，缺陷图案通过印刷、或刻蚀、电镀的方式形成在缺陷底片I的表面上。优选地，标识字符4通过印刷、或刻蚀、电镀的方式形成在标识底片3的表面上。这样，缺陷图案和标识字符4可以是印刷层、刻蚀层或金属层等。图2示出了本技术中的缺陷底片I的结构示意图，如图2所示，在缺陷底片I上形成有多个区域A、区域B和区域C，在区域A中为短路图案5，在区域B内为开路图案6，在区域C内为突起图案7。每种缺陷图案分别具有5um、10um和15um等多个等级。优选地，缺陷底片I上还形成有第一对齐方向孔8，标识底片3上还形成有与第一对齐方向孔8配合使用的第二对齐方向孔9。优选地，第一对齐方向孔8和第二对齐方向孔9的个数均为两个。通过第一对齐方向孔8和第二对齐方向孔9可以方便而快速地将缺陷底片I和标识底片3对齐。本技术将不同类型的缺陷图案分区域设置，并按不同等级集中排列后绘制成缺陷底片，同时绘制只有缺陷等级标识的标识底片。这样，当底片检查机按缺陷类型分区域多次完成缺陷底片的检查后，可利用其定位功能人工标记检出的对应缺陷点，然后将标识底片覆盖在缺陷底片上，从而快速地确认底片检查机对不同缺陷的检查能力，缩短了测试时间。以上所述仅为本技术的优选实施例而已，并不用于限制本技术，对于本领域的技术人员来说，本技术可以有各种更改和变化。凡在本技术的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。【主权项】1.一种底片检查机缺陷识别能力测试装置，其特征在于，包括: 缺陷底片(I)，所述缺陷底片(I)上形成有至少一种缺陷图案，所述缺陷图案包括多个不同等级的缺陷子图案(2); 与所述缺陷底片(I)重叠起来配合使用的标识底片(3)，所述标识底片(3)上形成有与每个所述缺陷子图案(2) 对应的标识字符(4)。2.根据权利要求1所述的底片检查机缺陷识别能力测试装置，其特征在于，所述缺陷图案包括短路图案(5)、和/或开路图案(6)、和/或突起图案(7)。3.根据权利要求1所述的底片检查机缺陷识别能力测试装置，其特征在于，所述缺陷底片(I)上还形成有第一对齐方向孔(8)，所述标识底片(3)上还形成有与所述第一对齐方向孔(8)配合使用的第二对齐方向孔(9)。4.根据权利要求3所述的底片检查机缺陷识别能力测试装置，其特征在于，所述第一对齐方向孔(8)和所述第二对齐方向孔(9)的个数均为两个。5.根据权利要求1所述的底片检查机缺陷识别能力测试装置，其特征在于，所述缺陷图案通过印刷、或刻蚀、电镀的方式形成在所述缺陷底片(I)的表面上。6.根据权利要求1所述的底片检查机缺陷识别能力测试装置，其特征在于，所述标识字符(4)通过印刷、或刻蚀、电镀的方式形成在所述标识底片(3)的表面上。【专利摘要】本技术提供了一种底片检查机缺陷识别能力测试装置，包括：缺陷底片，缺陷底片上形成有至少一种缺陷图案，缺陷图案包括多个不同等级的缺陷子图案；与缺陷底片重叠起来配合使用的标识底片，标识底片上形成有与每个缺陷子图案一一对应的标识字符。本技术可以方便而快速地得到底片检查机的缺陷识别能力，具有结构简单、成本低、测试效率高的特点。【IPC分类】G01N21/88【公开号】CN205246561【申请号】CN201521071724【专利技术人】马卓, 王铭钏 【申请人】深圳市迅捷兴电路技术有限公司【公开日】2016年5月18日【申请日】2015年12月21日本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种底片检查机缺陷识别能力测试装置，其特征在于，包括：缺陷底片(1)，所述缺陷底片(1)上形成有至少一种缺陷图案，所述缺陷图案包括多个不同等级的缺陷子图案(2)；与所述缺陷底片(1)重叠起来配合使用的标识底片(3)，所述标识底片(3)上形成有与每个所述缺陷子图案(2)一一对应的标识字符(4)。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：马卓，王铭钏，
申请(专利权)人：深圳市迅捷兴电路技术有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44
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