闪烁器面板、放射线检测器及它们的制造方法技术

本发明专利技术提供一种可以提供清晰性更优异放射线图像的闪烁器面板、放射线检测器及它们的制造方法。一种闪烁器面板，其含有支持体和在所述支持体上所形成的闪烁器层，所述闪烁器层含有荧光体，所述荧光体为多个柱状晶体，位于所述闪烁器层的柱状晶体生长开始面的所述多个柱状晶体的根部彼此以相互独立的形态存在，所述闪烁器层的、从柱状晶体生长开始面至高度5μm的厚度区域中的放射线吸收率x为5.4～8.6％。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种在形成放射线图像时所使用的闪烁器面板、放射线检测器及它们 的制造方法。
技术介绍
目前，X射线图像那样的放射线图像在医疗现场被广泛用于症状的诊断。尤其是利 用敏感纸-薄膜类的放射线图像，在慢长的历史中谋求高灵敏度化和高画质化，结果，制成 了同时具有高可靠性和优异的性价比的拍摄系统，现在仍然在世界的医疗现场被使用。但 是，这些图像信息为所谓的模拟图像信息，不能像目前正在发展的数字图像信息那样自由 地进行图像处理或瞬时进行电子传送。 近年来，以计算机X线成像（computed radiography :CR)或平板型的放射线探测 器（flat panel detector :FPD)等为代表的数字方式的放射线检测器出现。用这些放射线 检测器直接得到数字的放射线图像，可以在利用了阴极管的面板或液晶面板等图像显示装 置中直接显示图像，因此，不需要在照相薄膜上形成图像。其结果，这些数字方式的放射线 检测器例如X射线检测器使利用银盐照相方式来形成图像的必要性降低，使医院或诊疗所 中的诊断操作的便利性大幅度地提高。 作为与X射线图像有关的数字技术之一，计算机X线成像（CR)在现在医疗现场被 接受。但是，CR中得到的X射线图像与利用银盐照相方式等的屏幕?薄膜系统的图像相比， 清晰性不充分，空间分辨率也不充分，其画质水平没有达到屏幕?薄膜系统的画质水平。因 此，作为更新的数字X射线图像技术，例如开发了使用薄膜晶体管（TFT)的平板X射线检测 器（Flat panel detector，FPD)。 就上述Fro而言，其原理上，为了将X射线转换为可见光，使用具有荧光体层的闪 烁器面板，所述荧光体层由具有将所照射的X射线转换为可见光而发光的特性的X射线荧 光体制成，但在使用低照射量的X射线源的X射线摄影中，为了提高由闪烁器面板检测到的 信号和噪音之比（SN比），必需使用将X射线转变为可见光的转换率即发光效率高的闪烁器 面板。通常，闪烁器面板的发光效率由荧光体层的厚度、荧光体的X射线吸收系数决定，但 荧光体层的厚度越厚，通过X射线照射在荧光体层内产生的发光越容易在闪烁器层内发生 散射，经由闪烁器面板得到的X射线图像的清晰性降低。因此，如果设定X射线图像的画质 所需要的清晰性，那么，闪烁器面板中荧光体层的膜厚的限度自然而然地被确定。 在此，荧光体也称为闪烁器，荧光体层也称为闪烁器层。 另外，为了得到亮度高、可以提供清晰性优异的X射线图像的闪烁器面板，构成荧 光体层的荧光体的形状也非常重要。在许多闪烁器面板中，作为构成闪烁器层的荧光体，采 用具有柱状晶体形状的荧光体，通常，具有在基板或支持体等上配置多个这种柱状晶体而 成的结构。这里，构成闪烁器层的柱状晶体均具有相对于基板或支持体等的主面垂直延伸 的形状，从而可以使其中产生的荧光即发光沿着相对于基板或支持体等的主面垂直的方向 有效地放出。在闪烁器层中采用了这种布局的闪烁器面板可以较高地维持上述亮度和清晰 性，同时，也可以较高地维持相对于基板或支持体等垂直的方向上的强度。需要说明的是， "相对于基板或支持体等垂直的方向"以下有时称为"膜厚方向"。 近年来，进行了各种着眼于构成闪烁器层的荧光体的晶体形状的研究或尝试。 例如，专利文献1中，作为亮度高、可以得到清晰性优异的X射线图像的放射线转 换面板，公开了在基板上设置含有形成了特定形状柱状晶体的荧光体母材的荧光体层而得 到的放射线转换面板。专利文献1所记载的放射线转换面板中，荧光体层包含：由荧光体母 材构成且膜厚在特定范围的第1荧光体层和含有荧光体母材及活化剂的第2荧光体层。而 且，专利文献1教导：构成荧光体层的荧光体柱状晶体的距基板侧10 μ m的高度处的晶体直 径和闪烁器层最表面的晶体直径之比在特定的范围时，清晰性优异。 现有技术文献 专利文献 专利文献1 :国际公开2010/032503号小册子
技术实现思路
专利技术所要解决的技术问题 但是，就专利文献1中所记载的放射线转换面板而言，在得到的放射线图像的清 晰性方面存在改善的余地。 即，就专利文献1中所记载的放射线转换面板而言，在荧光体层柱状晶体中，限定 了距离基板10 μm的位置处的平均当量圆直径a和最表面的平均当量圆直径b之比，但对 低于10 μ m的区域没有任何规定。因此，可以认为，在上述柱状晶体的低于10 μ m的区域内， 如果更精密地控制柱状晶体的形状或特性等，则存在能够改善得到的放射线图像的清晰性 的余地。 本专利技术的目的在于，提供一种可以提供清晰性更优异的放射线图像的闪烁器面 板、放射线检测器及它们的制造方法。 解决技术问题的技术方案 以下示出本专利技术的一个实施方式，但本专利技术不受这些实施方式的任何限定。 本专利技术的闪烁器面板的特征在于，包括支持体和形成在所述支持体上的闪烁器 层，所述闪烁器层含有荧光体，所述荧光体为多个柱状晶体，位于所述闪烁器层的柱状晶体 生长开始面的所述多个柱状晶体的根部彼此以相互独立的形态存在，所述闪烁器层的从柱 状晶体生长开始面至高度5 μ m的厚度区域的放射线吸收率X为5. 4~8. 6%。 另外，在本专利技术的闪烁器面板中，所述闪烁器层的从柱状晶体生长开始面至高度 5 μ m的厚度区域的X射线吸收率X和从柱状晶体生长开始面至高度150 μ m的厚度区域的 X射线吸收率y的比（x/y)优选为〇. 12~0. 22。 另外，在本专利技术的闪烁器面板中，所述闪烁器层的从柱状晶体生长开始面至高度 5 μ m的厚度区域的X射线吸收率X和从柱状晶体生长开始面至高度150 μ m的厚度区域的 X射线吸收率y的比（x/y)更优选为〇. 17~0. 22。 另外，在本专利技术的闪烁器面板中，所述闪烁器层的从柱状晶体生长开始面至高度 5 μ m的厚度区域的放射线吸收率X为5. 4~8. 6 %，从柱状晶体生长开始面至高度150 μ m 的厚度区域的X射线吸收率y进一步优选为39. 3~44. 0%。 另外，在本专利技术的闪烁器面板中，所述闪烁器层的柱状晶体优选由气相沉积法形 成。 本专利技术的第1放射线检测器的特征在于，包括上述闪烁器面板和光电转换元件面 板。 本专利技术的第2放射线检测器的特征在于，包括光电转换元件面板和形成在该光电 转换元件面板上的闪烁器层，所述闪烁器层含有荧光体，所述荧光体为多个柱状晶体，位于 所述闪烁器层的柱状晶体生长开始面的所述多个柱状晶体的根部彼此以相互独立的形态 存在，所述闪烁器层的从柱状晶体生长开始面至高度5 μ m的厚度区域的放射线吸收率X为 5. 4 ~8. 6%〇 另外，在本专利技术的第2放射线检测器中，所述闪烁器层的从柱状晶体生长开始面 至高度5 μ m的厚度区域的X射线吸收率X和从柱状晶体生长开始面至高度150 μ m的厚度 区域的X射线吸收率y的比（x/y)优选为〇. 12~0. 22。 另外，在本专利技术的第2放射线检测器中，所述闪烁器层的从柱状晶体生长开始面 至高度5 μ m的厚度区域的X射线吸收率X和从柱状晶体生长开始面至高度150 μ m的厚度 区域的X射线吸收率y的比（x/y)更优选为〇. 17~0. 22。 另外，在本专利技术的第2放射线检测器中，所述闪烁器层的从柱状晶体生长开始面 至高度5 μ m的厚度区本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种闪烁器面板，其包括支持体和形成在所述支持体上的闪烁器层，所述闪烁器层含有荧光体，所述荧光体为多个柱状晶体，位于所述闪烁器层的柱状晶体生长开始面的所述多个柱状晶体的根部彼此以相互独立的形态存在，所述闪烁器层的从柱状晶体生长开始面至高度5μm的厚度区域的放射线吸收率x为5.4～8.6％。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：永田康史，长谷川敦，
申请(专利权)人：柯尼卡美能达株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP