【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种制作悬浮结构的方法，包括：提供基底，该基底上包括第一图案化光致抗蚀剂层；加热该第一图案化光致抗蚀剂层，使该第一图案化光致抗蚀剂层硬化，并使该第一图案化光致抗蚀剂层的边缘圆滑化；蚀刻该第一图案化光致抗蚀剂层，以调整 该第一图案化光致抗蚀剂层的侧壁形状；在该基底上方形成第二图案化光致抗蚀剂层，该第二图案化光致抗蚀剂层暴露出部分的该第一图案化光致抗蚀剂层与部分的该基底；在该基底、该第一图案化光致抗蚀剂层与该第二图案化光致抗蚀剂层上方形成结构 层；进行剥离工艺以移除该第二图案化光致抗蚀剂层与位于该第二图案化光致抗蚀剂层上方的该结构层；以及进行干式蚀刻工艺以移除该第一图案化光致抗蚀剂层，使该结构层成为悬浮结构。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：康育辅，杨辰雄，
申请(专利权)人：探微科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：71[中国|台湾]
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