本实用新型专利技术公开了一种晶圆测试用AMP板卡，所述晶圆包括若干个第一熔丝，所述晶圆测试用AMP板卡包括：电源单元、主控芯片、若干个供电切换单元、以及与若干个供电切换单元一一对应连接的若干个探针控制单元；所述主控芯片分别与所述电源单元、每个所述供电切换单元和每个所述探针控制单元连接，所述电源单元还与每个所述供电切换单元连接，所述探针控制单元包括第一继电器和第二熔丝，所述第一继电器通过所述第二熔丝与所述供电切换单元连接，所述第一继电器与对应的探针连接，所述探针与对应的所述第一熔丝连接。本实用新型专利技术的电路结构简单，设计合理，使用效果好，提高了测试效率，且能够保护探针控制单元。
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及晶圆测试
，特别涉及一种晶圆测试用AMP板卡。
技术介绍
晶圆是半导体芯片制造的载体，呈圆形，有4寸、6寸、8寸、12寸等尺寸，每片晶圆上有一定数量的芯片，每颗芯片可以在后续加工中做成封装芯片使用。晶圆测试顾名思义就是在芯片还在晶圆上时的早期测试，主要为了监督晶圆制造厂的良率，有了晶圆测试就可以筛选出早期失效的芯片，避免后期进入封装阶段后不必要的成本损失。现有技术中，晶圆测试用AMP板卡通常通过电容充放电方式来烧断熔丝，主要原理是在探针卡端连接一个电容，且此电容与所有需要烧断的熔丝分别通过继电器相连，如果某个熔丝需要烧断，则AMP板卡通过程序选择与该熔丝对应的继电器导通，这样事先充电的电容就放电了，在放电过程中通过电流烧断该熔丝，达到熔断的目的。但是上述现有技术中，一个电容需要与所有的继电器连接，每次只能烧断一个熔丝，从而降低测试效率。
技术实现思路
有鉴于此，本技术提供一种晶圆测试用AMP板卡，其电路结构简单，设计合理，使用效果好，提高了测试效率，且能够保护探针控制单元。本技术通过以下技术手段解决上述问题:本技术的一种晶圆测试用AMP板卡，所述晶圆包括若干个第一熔丝，所述晶圆测试用AMP板卡包括:电源单元、主控芯片、若干个供电切换单元、以及与若干个供电切换单元--对应连接的若干个探针控制单元;所述主控芯片分别与所述电源单元、每个所述供电切换单元和每个所述探针控制单元连接，所述电源单元还与每个所述供电切换单元连接，所述探针控制单元包括第一继电器和第二熔丝，所述第一继电器通过所述第二熔丝与所述供电切换单元连接，所述第一继电器还与对应的探针连接，所述探针与对应的所述第一恪丝连接。进一步，所述供电切换单元包括第二继电器。进一步，所述第一继电器包括型号为TQ2-5V的继电器芯片Ul，所述继电器芯片Ul的第3引脚与所述主控芯片的第3引脚连接，所述继电器芯片Ul的第10引脚与所述主控芯片的第74引脚连接。进一步，所述第二继电器包括型号为TQ2-5V的继电器芯片U2，所述继电器芯片U2的第10引脚与所述主控芯片的第I引脚连接，所述继电器芯片U2的第3引脚和第8引脚均与所述电源单元的输出端连接，所述继电器芯片U2的第4引脚通过所述第二熔丝与所述继电器芯片Ul的第2引脚连接。本技术的一种晶圆测试用AMP板卡具有以下有益效果:1.本技术的晶圆测试用AMP板卡的电路结构简单，设计合理且使用效果好；2.本技术的晶圆测试用AMP板卡中的主控芯片能够根据预设规则控制供电切换单元的导通与关断，进而控制探针控制单元中的第一继电器的导通与关断，当与第一熔丝对应的第一继电器导通时，则与第一熔丝连接的探针供电，实现对第一熔丝的熔断，由于主控芯片能够同时控制多个供电切换单元和多个探针控制单元工作，则可以同时实现多个第一熔丝的熔断，提高了测试效率。3.本技术的晶圆测试用AMP板卡中的探针控制单元包括第二熔丝，当电源单元过流至一定值时，第二恪丝自动断开，从而能够保护探针控制单元。综上所述，本技术的晶圆测试用AMP板卡的电路结构简单，设计合理，使用效果好，提高了测试效率，且能够保护探针控制单元。【附图说明】下面结合附图和实施例对本技术作进一步描述。图1为本技术的一种晶圆测试用AMP板卡的电路原理框图；图2为本技术的一种晶圆测试用AMP板卡的具体电路连接图。【具体实施方式】以下将结合附图对本技术进行详细说明，如图1所示:所述晶圆包括若干个第一熔丝101，所述晶圆测试用AMP板卡包括:电源单元102、主控芯片103、若干个供电切换单元104、以及与若干个供电切换单元104--对应连接的若干个探针控制单元105。所述主控芯片103分别与所述电源单元102、每个所述供电切换单元104和每个所述探针控制单元105连接，所述电源单元102还与每个所述供电切换单元104连接，所述探针控制单元105包括第一继电器1051和第二熔丝1052，所述第一继电器1051通过所述第二熔丝1052与所述供电切换单元104连接，所述第一继电器1051还与对应的探针106连接，所述探针106与对应的所述第一熔丝1I连接。本实施例中，所述供电切换单元104包括第二继电器。实际使用时，所述第一继电器1051包括型号为TQ2-5V的继电器芯片Ul，所述继电器芯片Ul的第3引脚与所述主控芯片103的第3引脚连接，所述继电器芯片Ul的第10引脚与所述主控芯片103的第74引脚连接。其中，继电器芯片Ul的第I引脚为电源端，与供电电源连接，用于给继电器供电，使其正常工作;继电器芯片Ul的第2引脚为烧压端，负责提供烧断第一熔丝101的稳定的5V电压;继电器芯片Ul的第3引脚为接口端，用于接收主控芯片103发送的需要烧断的第一熔丝101的信号；继电器芯片Ul的第10引脚为控制端，用于接收主控芯片103发送的第一继电器导通信号或第一继电器关断信号，当接收到第一继电器导通信号时，继电器芯片Ul的第3引脚与第2引脚导通，则将稳定的5V电压提供给探针106，使得探针106烧断与其连接的第一熔丝 1lo实际使用时，所述第二继电器包括型号为TQ2-5V的继电器芯片U2，所述继电器芯片U2的第10引脚与所述主控芯片103的第I引脚连接，所述继电器芯片U2的第3引脚和第8引脚均与所述电源单元102的输出端连接，所述继电器芯片U2的第4引脚通过所述第二熔丝1052与所述继电器芯片Ul的第2引脚连接。[0024当前第1页1 2 本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种晶圆测试用AMP板卡，所述晶圆包括若干个第一熔丝，其特征在于：所述晶圆测试用AMP板卡包括：电源单元、主控芯片、若干个供电切换单元、以及与若干个供电切换单元一一对应连接的若干个探针控制单元；所述主控芯片分别与所述电源单元、每个所述供电切换单元和每个所述探针控制单元连接，所述电源单元还与每个所述供电切换单元连接，所述探针控制单元包括第一继电器和第二熔丝，所述第一继电器通过所述第二熔丝与所述供电切换单元连接，所述第一继电器还与对应的探针连接，所述探针与对应的所述第一熔丝连接。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：朱琦亮，郑东来，徐四九，
申请(专利权)人：上海威伏半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31
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