本发明专利技术公开一种太阳能电池片加工工艺,其包括:S101、切片;S102、清洗;S103、制备绒面;S104、磷扩散;S105、周边刻蚀;S106、去除背面PN+结;S107、制作上下电极;S108、制作减反射膜;S109、烧结:将电池芯片烧结于镍或铜的底板上。本发明专利技术过程简单,对设备的要求低,而且效率高,易实现,太阳能电池片的残次率低。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及太阳能电池片领域,尤其涉及一种太阳能电池片加工工艺。
技术介绍
多晶硅太阳电池使用的材料,多半是含有大量单晶颗粒的集合体,或用废次单晶硅材料和冶金级硅材料熔化浇铸而成,然后注入石墨铸模中,待慢慢凝固冷却后,即得多晶硅锭。这种硅锭可铸成立方体,以便切片加工成方形太阳电池片,可提高材料利用率和方便组装。多晶硅太阳电池的制作工艺与单晶硅太阳电池差不多,其光电转换效率在12%左右,稍低于单晶硅太阳电池,但其材料制造简便,电耗低,总的生产成本较低,因此得到广泛应用。但是,传统的太阳能电池片加工工艺的效率低,残次率较高。
技术实现思路
本专利技术的目的在于通过一种太阳能电池片加工工艺,来解决以上
技术介绍
部分提到的问题。为达此目的,本专利技术采用以下技术方案:一种太阳能电池片加工工艺,其包括如下步骤:S101、切片:采用多线切割,将硅棒切割成正方形的硅片;S102、清洗:先常规清洗,然后用酸溶液将硅片表面切割损伤层除去;S103、制备绒面:用碱溶液对硅片进行各向异性腐蚀在硅片表面制备绒面;S104、磷扩散:采用涂布源进行扩散,制成PN+结,结深0.3 — 0.5um ;S105、周边刻蚀:用掩蔽湿法腐蚀或等离子干法腐蚀去除周边扩散层;S106、去除背面PN+结:用湿法腐蚀或磨片法除去背面PN+结;S107、制作上下电极:用真空蒸镀、化学镀镍或铝浆印刷烧结工艺,先制作下电极,然后制作上电极;S108、制作减反射膜:用真空镀膜法、离子镀膜法,溅射法、印刷法、PECVD法或喷涂法的任一种制作减反射膜;S109、烧结:将电池芯片烧结于镍或铜的底板上。特别地,所述太阳能电池片加工工艺还包括:S1010、测试分档:按规定参数规范,测试分类。本专利技术提出的太阳能电池片加工工艺的过程简单,对设备的要求低,而且效率高,易实现,太阳能电池片的残次率低。【附图说明】图1为本专利技术实施例提供的太阳能电池片加工工艺流程图。【具体实施方式】下面结合附图和实施例对本专利技术作进一步说明。可以理解的是,此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本专利技术,而非对本专利技术的限定。另外还需要说明的是,为了便于描述,附图中仅示出了与本专利技术相关的部分而非全部内容。请参照图1所示,图1为本专利技术实施例提供的太阳能电池片加工工艺流程图。本实施例中太阳能电池片加工工艺具体包括如下步骤:S101、切片:采用多线切割,将硅棒切割成正方形的硅片。S102、清洗:先常规清洗,然后用酸溶液将硅片表面切割损伤层除去30-50um。S103、制备绒面:用碱溶液对硅片进行各向异性腐蚀在硅片表面制备绒面。S104、磷扩散:采用涂布源进行扩散,制成PN+结,结深0.3 — 0.5um。S105、周边刻蚀:用掩蔽湿法腐蚀或等离子干法腐蚀去除周边扩散层。扩散时在硅片周边表面形成的扩散层,会使电池上下电极短路,用掩蔽湿法腐蚀或等离子干法腐蚀去除周边扩散层。S106、去除背面PN+结:用湿法腐蚀或磨片法除去背面PN+结。S107、制作上下电极:用真空蒸镀、化学镀镍或铝浆印刷烧结工艺,先制作下电极,然后制作上电极。铝浆印刷是大量采用的工艺方法。S108、制作减反射膜:用真空镀膜法、离子镀膜法,溅射法、印刷法、PECVD法或喷涂法的任一种制作减反射膜。S109、烧结:将电池芯片烧结于镍或铜的底板上。S1010、测试分档:按规定参数规范,测试分类。本专利技术的技术方案降低了传统工艺的复杂程度,过程简单,对设备的要求低,而且效率闻,易实现,太阳能电池片的残次率低。注意,上述仅为本专利技术的较佳实施例及所运用技术原理。本领域技术人员会理解,本专利技术不限于这里所述的特定实施例,对本领域技术人员来说能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本专利技术的保护范围。因此,虽然通过以上实施例对本专利技术进行了较为详细的说明,但是本专利技术不仅仅限于以上实施例,在不脱离本专利技术构思的情况下,还可以包括更多其他等效实施例,而本专利技术的范围由所附的权利要求范围决定。【主权项】1.一种太阳能电池片加工工艺,其特征在于,包括如下步骤: 5101、切片:采用多线切割,将硅棒切割成正方形的硅片; 5102、清洗:先常规清洗,然后用酸溶液将硅片表面切割损伤层除去; 5103、制备绒面:用碱溶液对硅片进行各向异性腐蚀在硅片表面制备绒面; 5104、磷扩散:采用涂布源进行扩散,制成PN+结,结深0.3 — 0.5um ; 5105、周边刻蚀:用掩蔽湿法腐蚀或等离子干法腐蚀去除周边扩散层; 5106、去除背面PN+结:用湿法腐蚀或磨片法除去背面PN+结; 5107、制作上下电极:用真空蒸镀、化学镀镍或铝浆印刷烧结工艺,先制作下电极,然后制作上电极; 5108、制作减反射膜:用真空镀膜法、离子镀膜法,溅射法、印刷法、PECVD法或喷涂法的任一种制作减反射膜; 5109、烧结:将电池芯片烧结于镍或铜的底板上。2.根据权利要求1所述的太阳能电池片加工工艺,其特征在于,还包括: S1010、测试分档:按规定参数规范,测试分类。【专利摘要】本专利技术公开一种太阳能电池片加工工艺,其包括:S101、切片;S102、清洗;S103、制备绒面;S104、磷扩散;S105、周边刻蚀;S106、去除背面PN+结;S107、制作上下电极;S108、制作减反射膜;S109、烧结:将电池芯片烧结于镍或铜的底板上。本专利技术过程简单,对设备的要求低,而且效率高,易实现,太阳能电池片的残次率低。【IPC分类】H01L31/18【公开号】CN105576075【申请号】CN201410551314【专利技术人】华源兴 【申请人】江苏凯旋涂装自动化工程有限公司【公开日】2016年5月11日【申请日】2014年10月16日本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种太阳能电池片加工工艺,其特征在于,包括如下步骤:S101、切片:采用多线切割,将硅棒切割成正方形的硅片;S102、清洗:先常规清洗,然后用酸溶液将硅片表面切割损伤层除去;S103、制备绒面:用碱溶液对硅片进行各向异性腐蚀在硅片表面制备绒面;S104、磷扩散:采用涂布源进行扩散,制成PN+结,结深0.3-0.5um;S105、周边刻蚀:用掩蔽湿法腐蚀或等离子干法腐蚀去除周边扩散层;S106、去除背面PN+结:用湿法腐蚀或磨片法除去背面PN+结;S107、制作上下电极:用真空蒸镀、化学镀镍或铝浆印刷烧结工艺,先制作下电极,然后制作上电极;S108、制作减反射膜:用真空镀膜法、离子镀膜法,溅射法、印刷法、PECVD法或喷涂法的任一种制作减反射膜;S109、烧结:将电池芯片烧结于镍或铜的底板上。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:华源兴,
申请(专利权)人:江苏凯旋涂装自动化工程有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏;32
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