一种感光干膜抗蚀剂制造技术

技术编号:13202362 阅读:298 留言:0更新日期:2016-05-12 11:03
本发明专利技术公开了一种低气味的感光干膜抗蚀剂,在保持感光干膜基本性能的前提下,解决强烈刺激性气味的问题。所述碱溶性树脂由18‐25重量份的甲基丙烯酸、35‐55重量份的甲基丙烯酸四氢糠基酯、10‐30重量份的甲基丙烯酸异辛酯、5‐20重量份的丙烯酸月桂酯通过悬浮聚合得到可光聚合化合物选用乙氧化乙烯基醚类单体,有效降低刺激性气味,从而降低或消除感光干膜抗蚀剂原有的臭味效果。同时感光干膜抗蚀剂其它性能如光敏性、解析度、附着力、机械强度等都不受影响。本发明专利技术的低气味感光干膜抗蚀剂有利于改善作环境,提高操作人员和下游企业的满意度,减少环境污染,具有显著的环境效益和社会价值。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种感光干膜抗蚀剂,尤其涉及一种低气味感光干膜抗蚀剂,可有效 改善作业环境。
技术介绍
近年来,随着电子设备的高度集成化,对感光干膜抗蚀剂的需求不断增加,感光干 膜抗蚀剂已成为现代电子领域、特别是印刷电路板领域的重要材料。但在印刷电路板的制 作阶段,现有技术所使用的感光干膜抗蚀剂会散发出强烈的刺激气味,对使用环境影响较 大,严重影响操作人员的身体健康,同时也是形成空气污染的重要原因。目前,部分企业尝 试通过添加工业香料等方式掩盖感光干膜抗蚀剂的刺激性气味,但对操作人员的身体健康 和环境依旧存在威胁;另外,CN103235485公开了一种利用添加除臭剂等方式对感光干膜抗 蚀剂中的低聚物起到增溶作用,从而抑制低聚物的挥发达到印制感光干膜抗蚀剂刺激性气 味的效果。但这种方式并未从根本上解决问题,当操作温度较高时,依旧存在刺激性气味。 因此,如何减少甚至消除感光干膜抗蚀剂的刺激性气味,改善操作人员的作业环境,依旧是 感光干膜抗蚀剂在使用过程不可忽视的问题。
技术实现思路
本专利技术主要解决的技术问题是在不影响感光干膜抗蚀剂基本性能的前提下,如何 降低或消除感光干膜抗蚀剂中的刺激性气味。为了解决上述技术问题,本专利技术人进入了深 入研究,结果发现,设计含有特定结构的碱溶性树脂和可光聚合化合物,可在不影响感光干 膜抗蚀剂基本性能的前提下,有效降低感光干膜抗蚀剂的刺激性气味,基于此发现而完成 了本专利技术。 本专利技术通过以下技术方案实现的:一种感光干膜抗蚀剂,由60-70重量份的碱溶性 树脂、15-40重量份的具有一个以上乙烯基不饱和基团的可进行光自由基聚合反应的化合 物、0.1 -8重量份的光引发剂、0-0.5重量份的添加剂组成;所述碱溶性树脂由18-25重量份 的甲基丙烯酸、35-55重量份的甲基丙烯酸四氢糠基酯、10-30重量份的甲基丙烯酸异辛酯、 5-20重量份的丙烯酸月桂酯通过悬浮聚合得到。 进一步地,所述碱溶性树脂的重均分子量]\^为120000-150000,?01小于2.2。 进一步地,所述的光引发剂为安息香醚、二苯甲酮及其衍生物、硫杂蒽酮系类化合 物、蒽醌及其衍生物、噻吨酮系列化合物、六芳基双咪唑系列化合物中的一种或多种按照任 意配比组成的混合物。 进一步地,所述的光引发剂为苯偶姻双甲醚、苯偶姻乙醚、苯偶姻丙基醚、苯偶姻 苯基醚、噻吨酮、2-氯噻吨酮、4-氯噻吨酮、2-异丙基噻吨酮、4-异丙基噻吨酮、二苯甲酮、4, 4'_双(二甲氨基)二苯甲酮(米氏酮)、4,4'_双(二乙氨基)二苯甲酮、异丙基硫杂蒽酮、2-氯 硫杂蒽酮、2,4_二乙基硫杂蒽酮、2-乙基蒽醌、2-叔丁基蒽醌、N,N-二甲基苯甲酸乙酯、苯甲 酸二甲氨基乙酯、^二甲基乙醇胺、2,2'-双(2-氯苯基)-4,4',5,5'-四苯基-1,2'-二咪 唑、2,2'-双(2-溴-5-甲氧基苯)_4,4',5,5'_四苯基二咪唑或2,2'_双(2,4-二氯苯基)-4, 4',5,5'_四苯基二咪唑等。 进一步地,所述的添加剂为增粘剂、增塑剂、颜料、光照射发色染料、热阻聚剂、抗 氧化剂或匀染剂等。 进一步地,所述的具有一个以上乙烯基不饱和基团的可进行光自由基聚合反应的 化合物至少含有一个可发生聚合反应的乙烯性不饱和官能团,使得该单体在吸收光能量后 可进行聚合或交联反应。 进一步地,所述的具有一个以上乙烯基不饱和基团的可进行光自由基聚合反应的 化合物选自羟丁基乙烯基醚、三乙二醇二乙烯基醚、1,4_环己基二甲醇二乙烯基醚、丁基乙 烯基醚、N-乙烯基吡咯烷酮、N-乙烯基己内酰胺。 进一步地,所述的具有一个以上乙烯基不饱和基团的可进行光自由基聚合反应的 化合物优选为烷氧化乙烯基醚类单体,如三乙二醇二乙烯基醚、1,4_环己基二甲醇二乙烯 基醚。 与现有技术相比,本专利技术的有益效果如下: 1.本专利技术采用特殊设计的碱溶性树脂,碱溶性树脂由18-25重量份的甲基丙烯酸、 35-55重量份的甲基丙烯酸四氢糠基酯、10-30重量份的甲基丙烯酸异辛酯、5-20重量份的 丙烯酸月桂酯通过悬浮聚合得到,减少了低聚物的挥发性,有效降低了碱溶性树脂的刺激 性气味。 2.本专利技术制备碱溶性树脂选用悬浮聚合方式,有利于除去未反应单体,进一步降 低碱溶性树脂的刺激性气味。 3.本专利技术的可光聚合化合物选用烷氧化乙烯基醚类单体,有效降低了刺激性。 4.本专利技术的感光干膜抗蚀剂在使用过程,基本没有刺激性气味,有利于改善使用 环境,减少空气污染,具有明显的环境效益和社会价值。本专利技术的感光干膜抗蚀剂经过特殊 设计,在降低刺激性气味的同时,对感光干膜抗蚀剂的基本性能如解析度、光敏性等都没有 影响。【具体实施方式】 下面对本专利技术的较佳实施例及比较例进行说明。但是,下述实施例只是本专利技术中 的较佳实施实例而非限制本专利技术。 采用悬浮聚合反应制备碱溶性树脂,此为高分子领域常见技术,在此不做赘述。 实施例: 碱溶性树脂A-1甲基丙烯酸/甲基丙烯酸四氢糠基酯/甲基丙烯酸异辛酯/丙烯酸 月桂酯=18/40/22/20(重量比)(M w= 123000,PDI = 1 · 91); 碱溶性树脂A-2甲基丙烯酸/甲基丙烯酸四氢糠基酯/甲基丙烯酸异辛酯/丙烯酸 月桂酯= 25/55/15/5(重量比)(MW= 148000,PDI = 2.12); 碱溶性树脂S-1甲基丙烯酸/丙烯酸四氢糠基酯/甲基丙烯酸异辛酯/丙烯酸月桂 酯=18/40/22/20(重量比)(Mw= 120000,PDI = 1 · 95) 碱溶性树脂S-2甲基丙烯酸/甲基丙烯酸糠醇酯/甲基丙烯酸异辛酯/丙烯酸月桂 酯= 25/55/15/5(重量比)(Mw= 145000,PDI = 2 · 06)准备下述可以进行光聚合的化合物: B-1:三乙二醇二乙烯基醚(深圳优阳科技有限公司,VM-3520); 准备下列光聚合引发剂: C-1:2,2',4-三(2-氯苯基)-5-(3,4-二甲氧基苯基)-4',5'_二苯基-1,Γ-二咪唑 (常州强力电子材料); 准备以下添加剂: D1:隐色结晶紫感光干膜抗蚀剂涂覆:将碱溶性树脂、光聚合化合物、光聚合引发剂、添加剂按照重量比61/35/3.8/0.2 依次加入到有机溶剂中,完全溶解后,在室温下搅拌4小时,用5um滤芯除去杂质,得到感光 干膜抗蚀剂溶液E1~E4,如表1所述。有机溶剂不与感光干膜抗蚀剂发生反应。有机溶剂包 括丙酮、丁酮、甲醇、乙醇、乙酸乙酯、乙二醇单甲醚、乙二醇甲醚醋酸酯中的一种或两种或 以上以任意比混合形成的组合溶剂。 表1:感光干膜抗蚀剂溶液E1~E4的组分将感光干膜抗蚀剂溶液E1~E4,分别使用棒涂机将其均匀涂布在15μπι PET薄膜 上,干燥后得到40mi厚度的胶层,再使用橡胶辊热贴合18μπι厚度PE薄膜,得到感光干膜抗蚀 剂实施例1、实施例2、对比例1、对比例2. (10)测试流程: 利用40μπι厚感光干膜抗蚀剂层的感光干膜抗蚀剂来评价分辨率、光敏性、机械强 度、刺激性气味和与基底的粘附性,并与商品化感光干膜抗蚀剂进行比较。贴膜:利用常州常耀电子CYL-M25在标准压力下进行热贴合,贴合速度为当前第1页1 2 本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种感光干膜抗蚀剂,其特征在于,由60‐70重量份的碱溶性树脂、15‐40重量份的具有一个以上乙烯基不饱和基团的可进行光自由基聚合反应的化合物、0.1‐8重量份的光引发剂、0‐0.5重量份的添加剂组成;所述碱溶性树脂由18‐25重量份的甲基丙烯酸、35‐55重量份的甲基丙烯酸四氢糠基酯、10‐30重量份的甲基丙烯酸异辛酯、5‐20重量份的丙烯酸月桂酯通过悬浮聚合得到。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:李伟杰严晓慧韩传龙周光大林建华
申请(专利权)人:杭州福斯特光伏材料股份有限公司
类型:发明
国别省市:浙江;33

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