新型工业气体均匀分布系统及其制作工艺技术方案

本发明专利技术公开了一种新型工业气体均匀分布系统及其制作工艺，包括气瓶和气体分布器，气体分布器包括至少两块气体分布平板，在其中一块平板上，刻有若干组槽，每组槽由若干级横向和纵向的槽呈阶梯状排布，横向槽将相邻的纵向槽连通，所述的至少两块气体分布平板的接触面是气密性接触面；本发明专利技术加工工艺简单，供气更为均匀，能实现分段供气。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及气体供气分布装置，尤其属于工业用气中的供气分布装置。
技术介绍
目前在工业用气中，都会有惰性气体供气的装置，最先是在铜管上间隔均匀地钻孔，这样会导致铜管进口一端气流量大，铜管出口一端气流量小，整条靶线的供气很不均匀；后来人们经过改进是将出气铜管分段分级焊接，然后再通过分段分级焊接后的铜管出气管进行供气，这样虽然对于新设备达到了供气较为均匀，但是，铜管分段焊接工艺复杂，导致成本提高，而且在分段分级的铜管供气经过一段时间后，铜管很容易吸附杂质在管外壁，由于铜管是分段分级焊接，管外的杂质容易掉落玻璃上，导致膜层易产生针孔，从而导致产品缺陷，本专利技术专利技术大大提高了产品成品率。
技术实现思路
本专利技术的目的是，为了克服现有技术的缺陷与不足，提供一种结构简单、容易清理、能长时间保持供气均匀的工业用气供气分布装置。本专利技术的目的可以通过采取以下技术方案达到: 一种新型工业气体均勻分布系统及其制作工艺，包括气瓶和气体分布器，所述的气瓶与气体分布器连接，所述的气体分布器包括至少两块气体分布平板，在其中一块平板上，刻有若干组槽，每组槽由若干级横向和纵向的槽呈阶梯状排布，横向槽将相邻的纵向槽连通，所述的至少两块气体分布平板的接触面是气密性接触面。作为本专利技术专利的优选实施例，在一块平板上刻有4到11组槽，每组槽是相互独立供气的。与现有技术相比较，本专利技术具有以下优点: 一、在工业用气中，采用本专利技术专利气体供气装置，在平板上刻槽，相对于现有的将铜管分段分级焊接，工艺简单易行。二、在工业用气中，在平板上铣槽，取代现有的将铜管分段分级焊接，使得供气装置更为耐用，而且随时能够保持整条气瓶路供气均匀。三、在工业用气中，采用本专利技术专利气体供气装置，在平板上铣槽，取代现有的将铜管分段分级焊接，从而克服了铜管很容易吸附靶镀膜后杂质在管外壁，管外的杂质容易掉落玻璃上，导致镀膜层易产生断层，导致产品缺陷等缺点，本专利技术大大提高了产品优良率。四、由于在平板上刻槽工艺简单，使得每组出气口密度大大增加，从而使供气更为均匀。【附图说明】图1是本专利技术新型工业气体均匀分布系统及其制作工艺整体结构示意图。【具体实施方式】以下结合附图对本专利技术的【具体实施方式】作详细描述。如图1所示，本专利技术新型工业气体均匀分布系统及其制作工艺，由至少两块气体分布平板构成气体分布器，两块板的接触面是气密性接触面，通过气瓶8与各组出气槽连接，在一块平板上均匀地刻横向槽2、4、6和纵向槽1、3、5、7，槽I沿靶条方向均匀分布，根据需要确定槽I的间隔距离，横向槽2将相邻两个槽I连通，气体经过气瓶8依次流过槽7、6、5、4、3、再到槽2、最后由槽I出气，根据需要确定每组气体分布器中横槽和竖槽的数量。由于该工艺简单易行，可以使出气一级的槽间隔距离更少，从而达到供气更为均匀，而且各个槽是相对独立的，这样可以实现分段独立供气。以上所揭露的仅为本专利技术的较佳实施例而已，当然不能以此来限定本专利技术之权利范围，因此依本专利技术申请专利范围所作的等同变化，仍属本专利技术所涵盖的范围。【主权项】1.一种新型工业气体均匀分布系统及其制作工艺，其特征在于:包括气瓶和气体分布器，所述的气瓶与气体分布器连接，所述的气体分布器包括至少两块气体分布平板，在其中一块平板上刻有若干组槽，每组槽由若干级横向和纵向的槽呈阶梯状排布，横向槽将相邻的纵向槽连通，所述的至少两块气体分布平板的接触面是气密性接触面。2.根据权利要求1所述的新型工业气体均匀分布系统及其制作工艺，其特征在于:所述的平板上每组槽之间是互不连通的，都分别与气瓶连接。3.根据权利要求1所述的新型工业气体均匀分布系统及其制作工艺，其特征在于:在所述的一块平板上刻有4到11组槽。【专利摘要】本专利技术公开了一种新型工业气体均匀分布系统及其制作工艺，包括气瓶和气体分布器，气体分布器包括至少两块气体分布平板，在其中一块平板上，刻有若干组槽，每组槽由若干级横向和纵向的槽呈阶梯状排布，横向槽将相邻的纵向槽连通，所述的至少两块气体分布平板的接触面是气密性接触面；本专利技术加工工艺简单，供气更为均匀，能实现分段供气。【IPC分类】F17D1/04【公开号】CN105570687【申请号】CN201410629747【专利技术人】陈闺艳 【申请人】陈闺艳【公开日】2016年5月11日【申请日】2014年11月7日本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种新型工业气体均匀分布系统及其制作工艺，其特征在于：包括气瓶和气体分布器，所述的气瓶与气体分布器连接，所述的气体分布器包括至少两块气体分布平板，在其中一块平板上刻有若干组槽，每组槽由若干级横向和纵向的槽呈阶梯状排布，横向槽将相邻的纵向槽连通，所述的至少两块气体分布平板的接触面是气密性接触面。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：陈闺艳，
申请(专利权)人：陈闺艳，
类型：发明
国别省市：广东;44