本发明专利技术提供一种涂布液泵单元以及涂布装置，即使是在基板上形成薄膜的情况下也能够抑制横向不匀的产生。涂布液泵单元对涂布装置的涂布单元供给涂布液，所述涂布装置使基板和所述涂布单元相对移动而在基板上形成涂布膜，所述涂布液泵单元的特征在于，在所述涂布液泵单元中，供给涂布液的泵主体、对该泵主体传递驱动力的滚珠丝杠驱动部以及产生驱动力的电动机部按上述顺序配置在同一轴上，在所述电动机部与所述滚珠丝杠驱动部之间设置有行星辊减速器。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及用于供给药液等涂布液的涂布液栗单元以及在基板上涂布涂布液的涂布装置。
技术介绍
在液晶显示器或等离子显示器等平板显示器中，使用在玻璃基板上涂布了抗蚀剂液(以下称之为涂布液)而成的基板(称之为涂布基板)。该涂布基板通过均匀地涂布涂布液的涂布装置而形成。也就是说，该涂布装置中设置有涂布单元，该涂布单元具有喷出涂布液的接口部，该涂布装置一边将涂布液从形成于接口部的单向延伸的狭缝喷嘴喷出，一边使接口部在基板上按照规定的方向移动，从而形成涂布基板，在该涂布基板上形成了具有均匀厚度的抗蚀剂液膜。在这样的涂布装置中，为了向接口部供给一定量的涂布液，例如，如下述专利文献I所述那样，具有涂布液栗单元100 (活塞栗)。如图6所示，该涂布液栗单元100具有栗主体10a以及产生栗主体10a的驱动力的电动机部101，栗主体10a和电动机部101经由滚珠丝杠驱动部102而连结。并且，通过对电动机部101进行驱动控制，从栗主体10a向涂布单元供给一定量的涂布液。具体而言，使电动机部101进行工作而降低栗主体10a的柱塞103，由此，将形成涂布膜所需要的量的涂布液从流入口 106取入到栗主体10a内。接着，使电动机部101进行工作从而推起柱塞103，由此，使蓄留在栗主体10a内的涂布液从流出口 104排出并供给到涂布单元的接口部，通过一边以规定的速度使接口部移动一边使涂布液从接口部喷出从而在基板上形成涂布膜。也就是说，通过对来自栗主体10a的涂布液的供给量进行控制，而在基板上高精度地形成具有规定的膜厚的涂布膜。近年来，对涂布膜的薄膜化的需求不断高涨。要想形成较薄的涂布膜必须使栗主体10a以低速进行工作，为此需要使电动机部101以低转速进行工作。然而，当电动机部101的转速变慢时旋转会变得不稳定，在齿槽效应(Cogging)等的影响下涂布液的供给无法稳定。其结果是，在所形成的涂布膜中会产生横向不匀，该横向不匀是较厚部分和较薄部分重复形成而产生的。因此，通过对电动机部101安装减速器105，能够使电动机部101以稳定的转速进行工作并使栗主体10a的柱塞103以低速移动，因此，能够稳定地形成薄膜状的涂布膜。专利文献1:日本特开2011-159819号公报然而，伴随涂布膜的薄膜化需求逐渐高涨以及液晶显示器的高分辨率和高色彩化，以往可被忽视的横向不匀也被视为问题。也就是说，仅凭如上述涂布装置那样、通过安装减速器来进行电动机部101的转速调整，很难形成完全不存在横向不匀的薄膜。
技术实现思路
本专利技术是鉴于上述问题点而完成的，其目的在于提供一种涂布液栗单元以及涂布装置，即使是在基板上形成薄膜的情况下也能够抑制横向不匀的产生。为了解决上述课题，在本专利技术的涂布液栗单元以及涂布装置中，涂布液栗单元对涂布装置的涂布单元供给涂布液，所述涂布装置使基板和所述涂布单元相对移动而在基板上形成涂布膜，所述涂布液栗单元的特征在于，在所述涂布液栗单元中，供给涂布液的栗主体、对该栗主体传递驱动力的滚珠丝杠驱动部以及产生驱动力的电动机部按顺序配置在同一轴上，在所述电动机部与所述滚珠丝杠驱动部之间设置有行星辊减速器。根据上述涂布液栗单元以及涂布装置，由于使用了行星辊减速器作为减速器，因此能够抑制形成于涂布膜上的横向不匀的产生。这里的行星辊减速器是在行星齿轮类型的减速器中，使用辊取代太阳齿轮(太阳轮)、行星齿轮(行星轮)以及内齿轮(内轮)，并且经由各辊之间的油膜来传递动力的牵引式的减速器。也就是说，在现有的涂布液栗单元中，安装有用于形成薄膜的减速器，减速器经由多个齿轮向滚珠丝杠驱动部传递电动机部的动力，因此该齿轮的齿隙游移和啮合的影响较大从而形成微小的横向不匀的可能性较高，但通过使用行星辊减速器，能够不经由齿轮而将来自电动机部的动力传递到涂布液栗单元，因此能够抑制以齿轮的齿隙游移和齿轮的啮合等振动为主要原因而产生的横向不匀。因此，即使是在基板上形成薄膜的情况下也能够抑制横向不匀的产生。另外，优选所述电动机部和所述行星辊减速器经由联轴器而连结。根据该结构，能够进一步抑制轻微的横向不匀。也就是说，在通常的减速器中，由于电动机部和减速器直接连结，因此组装时的偏心、偏角的影响可能会导致横向不匀。因此，通过经由联轴器而连结电动机部和行星辊减速器，能够抑制组装时的偏心、偏角的影响，从而能够抑制横向不匀的产生。另外，所述行星辊减速器也可以构成为:设置有供油口和排油口，当所述行星辊减速器的润滑油余量小于规定的值时，从供油口供给润滑油。根据该结构，能够使各辊之间的油膜始终保持稳定的状态，能够经由油膜稳定地传递动力。另外，也可以是如下结构:所述行星辊减速器的太阳辊和行星辊在相互接触的外周面上具有多孔质部，在该多孔质部中浸渍有润滑油。根据该结构，由于能够减少对行星辊减速器进行供油的频率，因此，即使不进行润滑油的补充也能够长期运转。根据本专利技术的涂布液栗单元以及涂布装置，即使是在基板上形成薄膜的情况下，也能够抑制横向不匀的产生。【附图说明】图1是示出本专利技术的涂布装置(涂布装置主体)的外观的概略立体图。图2是上述涂布装置的概略结构图。图3是示出本专利技术的涂布液栗单元的概略图。图4是行星辊减速器的概略剖视图。图5是示出行星辊减速器的供油系统的图。图6是示出现有的涂布液栗单元的概略图。标号说明1:涂布装置主体；2:基板；5:涂布单元；8:涂布液栗单元；9:行星辊减速器；10:供油系统；10a:预备容器；81:栗主体；82:滚珠丝杠驱动部；83:电动机部；92:太阳辊；93:彳丁星车昆；94:内车昆;C1、C2:联轴器。【具体实施方式】下面，参照附图对本专利技术的实施方式进行说明。图1是示出本专利技术的一个实施方式的涂布装置(涂布装置主体I)的立体图。图2是概略性地示出涂布装置的涂布液路径的图。如图1和图2所示，涂布装置在所供给的薄板状的基板2上涂布药液或抗蚀剂液等涂布液。该涂布装置具有涂布装置主体I和涂布液栗单元8 (参考图2)，所述涂布装置主体I具有基座3、用于载置基板2的工作台4、以及构成为能够相对于该工作台4按照一定方向移动的涂布单元5，所述涂布液栗单元8向涂布装置主体I的涂布单元5供给涂布液。另外，在以下说明中，将涂布单元5移动的方向设为X轴方向、将与上述X轴方向在水平面上正交的方向设为Y轴方向、将与X轴和Y轴方向这两个方向正交的方向设为Z轴方向从而进行说明。基座3由石材等形成，该基座3对各结构部件例如工作台4和涂布单元5等进行支承。工作台4将所搬入的基板2载置在其表面上而进行保持。具体而言，在工作台4上形成有在其表面开口的多个抽吸孔(未图示)，这些抽吸孔与真空栗(未图示)连通并连接。并且，在基板2载置于工作台4的表面上的状态下使真空栗进行工作，从而在抽吸孔中产生抽吸力，基板2被抽吸到工作台4的表面侧而被吸附保持。另外，在工作台4上设置有使基板2进行升降动作的基板升降机构。也就是说，在工作台4的表面上形成有多个销孔(未图示)，在该销孔中埋设有能够在Z轴方向上进行升降动作的顶升销。由此，通过在将基板2载置于工作台4的表面上的状态下使顶升销上升，从而能够以顶升销的前端部分与基板2抵接的状态将基板2保持在规定的高度位置。涂布单元5用于对载置在工作台4上的基板2涂布涂布液，并且该本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种涂布液泵单元，其对涂布装置的涂布单元供给涂布液，所述涂布装置使基板和所述涂布单元相对移动而在基板上形成涂布膜，所述涂布液泵单元的特征在于，在所述涂布液泵单元中，供给涂布液的泵主体、对该泵主体传递驱动力的滚珠丝杠驱动部以及产生驱动力的电动机部按顺序配置在同一轴上，在所述电动机部与所述滚珠丝杠驱动部之间设置有行星辊减速器。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：滨川健史，伊藤俊文，
申请(专利权)人：东丽工程株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。