【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及功能高分子材料领域，尤其是涉及一种丙烯酸酯类单体聚合所得的丙烯酸酯共聚物以及用其制备248nm的光刻胶组合物。
技术介绍
光致抗蚀剂又称光刻胶，在微电子行业具有重要地位，可借助其曝光前后溶解性能的变化，将电路图形转移到基板上制备微电子线路。因现代微电子工业的快速发展，集成电路的线宽已步入到深亚微米级和纳米级内，随之而来的是光刻技术的同步提升。248nm光刻胶组合物主要基于248nmKrF准分子激光光刻光刻技术，其通常属于化学增幅型光刻胶。化学增幅型光刻胶主要是由感光树脂、光产酸剂、添加剂和溶剂四种主要成分组成的对光敏感的混合液体。感光树脂经光照后，曝光区能很快地发生化学反应，光产酸剂会发生光化学分解而产生少量酸，在加热条件下，这些酸则会催化曝光区的聚合物发生分解(正性光刻胶)或交联(负性光刻胶)，使其在显影液中的溶解性发生变化，而酸自身并不会被反应所消耗，可循环使用，因而很大程度上增加了曝光的量子效率和灵敏度。经适当的显影处理，溶去可溶性部分，就可得到所需图像。在光刻胶的主要组分中，感光树脂最为重要，其决定光刻胶的溶解速率，抗蚀刻性等。目前，经研究发现，丙烯酸酯类共聚物合成工艺简单、分辨率和灵敏度高等优点，且丙烯酸酯单体种类多，可以根据树脂的各种性能要求选择合适的单体进行共聚。因此在248nm光刻胶领域中有着非常大的应用价值。
技术实现思路
针对现有技术存在的上述问题，本申请人提...
【技术保护点】
一种丙烯酸酯共聚物，其特征在于该共聚物所含组分及各组分所占的质量分数为：
【技术特征摘要】
1.一种丙烯酸酯共聚物，其特征在于该共聚物所含组分及各组分所占的质量
分数为：
2.根据权利要求1所述的丙烯酸酯共聚物，其特征在于所述共聚物的制备方
法包括如下步骤：
(1)在单口烧瓶中加入20～40％对乙酰氧基苯乙烯、10～20％丙烯酸叔丁酯、
5～15％丙烯酸四氢呋喃酯、1～15％2-甲基-2-金刚烷基甲基丙烯酸酯、5～15％引发
剂、35～50％溶剂，向单口烧瓶中通氮气5min除氧后密封；所述引发剂为偶氮
二异丁腈、偶氮二异庚腈、偶氮二异丁酸二甲酯、过氧化二苯甲酰、叔丁基过
氧化氢、苯甲酸过氧化氢中的一种或多种；所述溶剂为甲醇；
(2)将单口烧瓶置于70～90℃油浴反应20～24小时，反应结束后往单口瓶中
加入甲醇钠甲醇溶液进行醇解，醇解4～8h，反应结束；所述甲醇钠甲醇溶液中
甲醇钠与对乙酰氧基苯乙烯的摩尔比为1～1.1:1；
(3)以丙酮为溶剂，水为沉淀剂，将步骤(2)所得产物反复溶解、沉淀3
次，将沉淀物置于30℃真空烘箱干燥，得白色固体，即为所述丙烯酸酯共聚物。
3.一种由权利要求1所述丙烯酸酯共聚物制成的248nm光刻胶组合物，其特
征在于所述248nm光刻胶组合物所含组分及各组分的质量分数为：
4.根据权利要求3所述的248nm光刻胶组合物，其特征在于所述产酸剂为
\t二苯基碘鎓三氟甲磺酸盐、二苯基碘鎓樟脑磺酸盐、二苯基碘鎓全氟-1-丁磺酸
盐、二苯基碘鎓全氟辛烷磺酸盐、4-甲氧苯基苯基碘鎓三氟代甲烷磺酸盐、双(4-
叔丁苯基)碘鎓四氟硼酸盐、双(4-叔丁基苯)碘鎓六氟磷酸盐、双(4-叔丁苯基)碘
鎓三氟甲磺酸盐、双(4-叔丁基苯基)碘鎓全氟-1-丁烷磺酸盐、双(4-叔丁基苯基)
碘鎓樟脑磺酸盐、双(4-叔丁基苯基)碘鎓全氟辛烷磺酸盐、三苯基锍六氟磷酸
盐、三苯基锍鎓三氟甲磺酸盐、三苯基锍鎓樟脑磺酸盐、三苯基锍鎓全氟-1-丁
基磺酸盐、三苯基锍鎓全氟辛烷磺酸盐、4-甲氧苯基苯基碘鎓三氟代甲烷磺酸盐、
对-甲苯基二苯基锍鎓三氟甲磺酸盐、对甲苯基二苯基锍全氟辛烷磺酸盐、对甲
苯基二苯基锍全氟-1-丁烷磺酸盐、对甲苯基二苯基锍樟脑磺酸盐、2，4，6-三
甲基苯基二苯基锍三氟代甲烷磺酸盐、4-叔-丁基苯基二苯基锍三氟代甲烷磺酸
盐、4-苯基苯硫基二苯基锍六氟代磷酸盐、1-(2-萘酰甲基)硫醇鎓三氟代甲烷磺
酸盐、4-羟基-1-萘基二甲基锍三氟代甲烷磺酸盐、2-甲基-4，6-双(三氯代甲基)-1，
3，5-三嗪、2，4，6-三(三氯代甲基)-1，3，5-三嗪、2-苯基-4，6-双(三氯代甲基)-1，
3，5-三嗪、2-(4-氯代苯基)-4，6-双(三氯代甲基)-1，3，5-三嗪、2-(4-甲氧苯基)-4，
6...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘敬成，徐文佳，李虎，刘仁，袁妍，刘晓亚，
申请(专利权)人：江南大学，
类型：发明
国别省市：江苏;32
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。