沉积用掩模安装装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种沉积用掩模安装装置，本发明专利技术的沉积用掩模安装装置为在沉积工艺中安装用于对准基板的掩模的装置，其特征在于，包括：基底，用于在其上面的安装位置上安装所述掩模；及安装部，设置在所述基底上，形成有用于安装所述掩模的下面的安装面和对所述掩模的侧面进行加压的加压面，在所述安装部中，所述加压面与在安装所述掩模时下降的安装面联动而对所述掩模进行加压，从而将所述掩模移送至安装位置上。由此，本发明专利技术提供一种沉积用掩模安装装置，其结构简单，并且在无需额外动力的情况下，在安装部件上安装掩模时，将掩模自动安装在安装位置上。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种沉积用掩模安装装置，更为详细地涉及一种沉积用掩模安装装置，其结构简单，在无需额外动力的情况下，在安装部件上安装掩模时，将掩模自动安装在安装位置上。
技术介绍
以数字融合及普适(Ubiquitous)为代表的信息技术的革命，带来了电子设备飞快的发展。其中，构成核心的技术之一是显示技术。最近，对具有进一步优异的可视性、低成本及低耗电的显示器的要求逐渐增加。随之，PDP (Plasma Display Panel，等离子显示板)、液晶显示装置(IXD:Liquid Crystal Display)及有机发光二极管(OLED:Organic LightEmitting D1de)备受关注。有机发光二极管为电流流过就发光的自发光装置，响应速度相比液晶显示器快千倍以上，并且视角较宽。此外，无需液晶显示装置所需的背光及滤色镜等，并且实现为柔性显示器，而且不仅在性能方面，还在配件价格方面也具有很大的优点。在有机发光二极管的制作中使用的有机薄膜在高真空状态下采用真空沉积方式在基板的表面上依次形成。为了形成有机发光二极管的全彩显示器(full colordisplay)，必须具备一种高精细(fine pitch)沉积图案。为了形成这种沉积图案，使用形成有图案的掩模。为了提高沉积图案的精度，不仅掩模本身的图案要精密，并且使基板和掩模在机械方面精密对准(alignment)也非常重要。因此，首先固定掩模后，在掩模上精确对准基板。图1为以往的沉积用掩模固定装置的示意的立体图，图2为表示图1所示沉积用掩模固定装置的掩模被固定的状态的图。参照图1及图2，以往的沉积用掩模固定装置10包括设置在板状构架上的安装部11和加压部12等的结构。当通过掩模输送臂(未图示)投入掩模M时，安装部11向上方移动而在上面安装掩模M，之后，使掩模M向构架上面移动。之后，加压部12将掩模M向固定销侧加压，从而将掩模最终固定。但是，这种以往的沉积用掩模固定装置10，为了设置加压部12等的结构需要一种更大面积的构架，并且，还需要用于驱动加压部12的电机、用于控制安装部11和加压部12之间相互动作的控制装置等。因此产生装置的结构复杂，并且需要额外的动力，工艺复杂及用于驱动装置的电路复杂等的问题。
技术实现思路
因此，本专利技术是为了解决所述以往的问题而提出的，其目的是提供一种沉积用掩模安装装置，该沉积用掩模安装装置的结构简单，并且在安装部件上安装掩模时，在无需额外动力的情况下，将掩模自动安装到安装位置上。所述目的通过本专利技术的沉积用掩模安装装置来实现，本专利技术的沉积用掩模安装装置为在沉积工艺中安装用于对准基板的掩模的装置，其特征在于，包括:基底，用于在其上面的安装位置上安装所述掩模；及安装部，设置在所述基底上，包括:安装部件，在安装所述掩模时，使所述掩模下降；及加压部件，与所述安装部件联动而对所述掩模的侧面进行加压，从而将所述掩模移送并安装于安装位置上。在此，优选所述安装部件通过安装的所述掩模的荷载转动规定角度，所述加压部件与所述安装部件联动而转动，从而移动至所述掩模的侧面。在此，优选所述安装部进一步包括:连接部件，用于将所述安装部件和所述加压部件彼此连接，所述连接部件设置为能够转动。在此，优选在所述基底上形成有收容槽，所述安装部进一步包括:固定部件，设置在所述收容槽中，所述连接部件可转动地结合到所述固定部件。在此，优选所述安装部进一步包括:辊部，设置在所述安装部件或所述加压部件中的至少一个的端部上，并且设置为能够旋转。在此，优选所述辊部包括:第一辊，形成有用于安装所述掩模的安装面，用于使与所述第一辊的外表面接触的所述掩模易于移动至所述安装位置上；及第二辊，形成有用于加压所述掩模的加压面，用于将在所述第二辊的外表面上安装的所述掩模引导至所述安装面侧。在此，优选所述安装部进一步包括:旋转球部，形成为球状，定位在所述安装部件的内部并能够转动，所述旋转球部的一部分裸露在所述安装部件的外部以形成用于安装所述掩模的安装面，所述旋转球部用于使与所述旋转球部的外表面接触的所述掩模易于移动至所述安装位置上；及辊轮，形成在所述加压部件的端部，形成有用于加压所述掩模的加压面，用于将安装的所述掩模弓I导至所述安装面侧。根据本专利技术，提供一种沉积用掩模安装装置，该沉积用掩模安装装置的结构简单，并且在无需额外动力的情况下，在安装部件上安装掩模时，将掩模自动地安装在安装位置上。此外，安装在安装部上的掩模向基底侧下降的同时侧面被加压，因此能够精密及简单地安装掩模。此外，当掩模输送臂未能在安装面上安装掩模时，由于辊轮将掩模引导至安装面上，因此即使没有额外的移动装置也能安装掩模。此外，随着装置的结构总体的简化，无需用于驱动装置的电路，并且不会产生因与其他结构的相对位置带来的制约等问题。【附图说明】图1为以往的沉积用掩模安装装置示意的立体图，图2为表示在图1所示沉积用掩模安装装置中掩模的安装动作的图，图3为本专利技术的一实施例的沉积用掩模安装装置的示意的立体图，图4为图3所示沉积用掩模安装装置的主视图，图5为图示图3所示沉积用掩模安装装置的安装部的图，图6为表示在图3所示沉积用掩模安装装置中掩模的安装位置产生误差时状态的图，图7为表示图3所示沉积用掩模安装装置的运行的图，图8为本专利技术的另一实施例的沉积用掩模安装装置的立体图。附图标记说明100:沉积用掩模安装装置110:基底111:收容槽120:安装部121:安装部件122:加压部件123:连接部124:固定部130:辊部131:第一辊132:第二辊133:旋转球部M:掩模S:安装面P:加压面【具体实施方式】下面，参照附图对本专利技术的一实施例的沉积用掩模安装装置进行详细说明。本专利技术的一实施例的沉积用掩模安装装置涉及一种在安装部件上安装掩模时，将掩模自动地安装在安装位置上，从而装置的结构简单，并且无需用于安装掩模的额外动力的沉积用掩模安装装置。图3为本专利技术的一实施例的沉积用掩模安装装置示意的立体图，图4为图3所示沉积用掩模安装装置的主视图，图5为图3所示沉积用掩模安装装置的主要部分的放大图。参照图3?图5，本专利技术的一实施例的沉积用掩模安装装置包括基底110、设置在基底110的收容槽111上的安装部120及设置在安装部120上的辊部130。在进行说明之前，对本实施例中使用的掩模M简单说明如下，即所述掩模M包括形成有微细图案的图案部及具有规定厚度的边缘部，所述边缘部安装在图案部的周围，用于固定图案部。图案部为使沉积原料通过的区域，故其前后面不能被阻断，因此，在本实施例的沉积用掩模安装装置安装掩模M的边缘。基底110用于在沉积工艺中安装用于对准基板的掩模M的结构，设置为平板状，在本实施例中设置为具有比掩模M的面积大的面积，以使所述基底110能够稳定地安装掩模M的边缘部分。基底110形成有多个收容槽111。收容槽111形成为从基底110的上面向内侧凹陷规定深度，在收容槽111内设置有安装部120。在本实施例中形成有四个收容槽111，以对掩模M的两侧面进行加压从而将掩模安装在基底110的上面，但收容槽111的数量不受限制。另外，在基底110的中央部形成有贯通孔，从而能够使沉积原料通过。本实施例中的沉积装置为向上式沉积装置，从基底110的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种沉积用掩模安装装置，用于在沉积工艺中安装用于对准基板的掩模，其特征在于，包括：基底，用于在其上面的安装位置上安装所述掩模；及安装部，设置在所述基底上，包括：安装部件，在安装所述掩模时，使所述掩模下降；及加压部件，与所述安装部件联动而对所述掩模的侧面进行加压，从而将所述掩模移送并安装于安装位置上。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：金英镐，李在镇，朴喜载，
申请(专利权)人：株式会社SNU精密，
类型：发明
国别省市：韩国;KR