提供能在不损坏池且不溶解安瓿的玻璃材料的情况下稳定加工安瓿的磁力测量装置、气体池以及它们的制造方法。测量从活体产生的磁场的磁力测量装置(100)的制造方法，包括以下步骤：在石英玻璃构成的池部(12)的空隙中配置硼硅酸玻璃构成的且在中空部填充有碱金属固体(24)的安瓿(20)，并密封池部(12)；使脉冲激光(40)通过池部12照射在安瓿(20)上，从而在安瓿(20)上形成贯通孔(21)，脉冲激光(40)的能量为20μJ/脉冲至200μJ/脉冲。石英玻璃对脉冲激光(40)的吸收系数比硼硅酸玻璃对脉冲激光(40)的吸收系数小。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及磁力测量装置的制造方法、气体池的制造方法、磁力测量装置以及气体池。
技术介绍
向封有碱金属气体的气体池上照射直线偏光、并根据偏光面的旋转角测定磁场的光抽运式磁力测量装置是公知的。作为这种磁力测量装置的气体池的制造方法，在专利文献1中公开了如下的方法:通过将封有碱金属的安瓿收纳在玻璃构成的池内，并在该安瓿上照射激光，从而将安瓿破坏(在安瓿上形成贯通孔)，使池内充满气化的碱金属的蒸气。【现有技术文献】【专利文献】【专利文献1】特开2012-183290号公报
技术实现思路
通过池(cell)进行对收纳于池内的安瓿的激光照射，但是此时，破坏安瓿的同时，必须避免池受到激光的损害。而且，一旦安瓿的玻璃材料溶解后产生不必要的气体，会导致气体池(gas cell)性能低下，所以必须避免安瓿的玻璃材料的溶解。但是，在专利文献1中记载的气体池的制造方法中，虽然公开了池的玻璃材料，但是并没有公开安瓿的玻璃材料，而且也未公开激光的照射条件等。因此，需要能够在不损坏池且不使安瓿的玻璃材料溶解的情况下加工安瓿而稳定地制造的、具有优异性能的气体池和磁力测量装置及它们的制造方法。解决课题的方法本专利技术可至少解决一部分的上述课题，并且能以下面的实施方式或应用例来实现。【应用例1】本应用例涉及的磁力测量装置的制造方法是测量从活体产生的磁场的磁力测量装置的制造方法，其特征在于，所述制造方法包括以下步骤:在由第一玻璃构成的池部的空隙中配置由与所述第一玻璃材料不同的第二玻璃材料构成的且在中空部中填充有材料物质的安瓿，并密封所述池部；以及使脉冲光通过所述池部照射在所述安瓿上，从而在所述安瓿上形成贯通孔；其中，所述脉冲光的能量为20 μ J/脉冲至200 μ J/脉冲。根据本应用例的制造方法，在由第一玻璃材料构成的池部的空隙中配置由第二玻璃材料构成的且在中空部中填充有材料物质的安瓿，脉冲光通过池部照射在该安瓿上，从而形成贯通孔。这样，由于填充于安瓿的中空部的材料物质气化流出，充满池部的空隙，所以能制造出磁力测量装置的气体池。这里，由于池部和安瓿是由彼此不同的玻璃材料构成，所以通过使用透过池部(第一玻璃材料)而被安瓿(第二玻璃材料)吸收的脉冲光，能在不损坏池部的情况下选择性地对安瓿进行加工。而且，通过将脉冲光的能量设为20 μ J/脉冲?200 μ J/脉冲，不仅避免安瓿的溶解，还能可靠地在安瓿上形成贯通孔。结果，能稳定地制造具有优异性能的气体池及磁力测量装置。【应用例2】在上述应用例涉及的磁力测量装置的制造方法中，优选上述第一玻璃对上述脉冲光的吸收系数比上述第二玻璃对上述脉冲光的吸收系数小。根据本应用例的制造方法，由于第一玻璃对所照射的脉冲光的吸收系数比第二玻璃的吸收系数小，脉冲光透过池部(第一玻璃材料)而被安瓿(第二玻璃材料)吸收。这样，就能在不损坏池部的情况下选择性地对安瓿进行加工。【应用例3】在上述应用例涉及的磁力测量装置的制造方法中，优选上述脉冲光为激光。根据本应用例的制造方法，由于激光具有优异的指向性和收敛性(収束性)，所以可通过将激光照射于安瓿，在安瓿上形成贯通孔。【应用例4】在上述应用例涉及的磁力测量装置的制造方法中，优选上述脉冲光为紫外光。根据本应用例的制造方法，由于照射作为脉冲光的紫外线，通过将第一玻璃材料设为对紫外线的吸收系数小的材料并将第二玻璃材料设为对紫外光的吸收系数大的材料，脉冲光将透过池部(第一玻璃材料)被安瓿(第二玻璃材料)吸收。【应用例5】在上述应用例涉及的磁力测量装置的制造方法中，优选上述脉冲光的波长带(波段)为248nm?355nm。根据本应用例的制造方法，由于脉冲光的波长带为248nm?355nm，可照射紫外光的脉冲光。【应用例6】在上述应用例涉及的磁力测量装置的制造方法中，优选上述脉冲光的脉冲宽度是纳秒。根据本应用例的制造方法，由于脉冲光的脉冲宽度是纳秒级，可在稳定状态下加工。【应用例7】在上述应用例涉及的磁力测量装置的制造方法中，上述脉冲光的脉冲宽度为10纳秒?50纳秒为佳。根据本应用例的制造方法，由于脉冲光的脉冲宽度为10纳秒?50纳秒，所以可抑制热导致的影响，在稳定状态下进行加工。【应用例8】在上述应用例涉及的磁力测量装置的制造方法中，优选上述材料物质为碱金属。根据本应用例的制造方法，由于安瓿的中空部填充碱金属，所以在安瓿上形成贯通孔后，可使碱金属的气体从中空部流出，填满池部的空隙。【应用例9】本应用例涉及的气体池的制造方法，其特征在于，所述制造方法包括以下步骤:在由第一玻璃材料构成的池部的空隙中配置由与所述第一玻璃材料不同的第二玻璃材料构成的且在中空部中填充有材料物质的安瓿，并密封所述池；以及使脉冲光通过所述池部照射在所述安瓿上，从而在所述安瓿上形成贯通孔；其中，所述脉冲光的能量为20 μ J/脉冲至200 μ J/脉冲。根据本应用例的制造方法，可制造具有优异性能的气体池。【应用例10】本应用例涉及的磁力测量装置的特征在于，通过上述应用例的磁力测量装置的制造方法来制造。根据本应用例的构成，可提供具有优异性能的磁力测量装置。【应用例11】本应用例涉及的气体池的特征在于，通过上述应用例的气体池的制造方法来制造。根据本应用例的构成，可提供具有优异性能的气体池。【附图说明】图1是示出本实施方式涉及的磁力测量装置的构成的框图。图2(a)至图2(c)是本实施方式涉及的气体池以及安瓿的构成的概略截面图。图3(a)至图3(c)是说明本实施方式涉及的气体池的制造方法的图。图4是示出比较光的波长和玻璃材料的透过率之间关系的图。【具体实施方式】以下，参照【附图说明】本专利技术的【具体实施方式】。为了能辨识要说明的部分，将适当地放大、缩小或夸大所用的附图。此外，图中可能省略除了说明所必需的构成要素以外的构成要素。<磁力测量装置的构成>关于本实施方式涉及的磁力测量装置，参照图1进行说明。图1为本实施方式涉及的磁力测量装置的构成的框图。本实施方式涉及的磁力测量装置100是使用非线性光学旋转(Nonlinear Magneto-Optical Rotat1n:NM0R)的磁力测量装置。磁力测量装置100用于活体状态测定装置(心磁计或脑磁计等)，所述活体状态测定装置用于测定例如来自心脏的磁场(心磁)和来自脑的磁场(脑磁)等从活体产生的微小磁场。如图1所示，磁力测量装置100具备光源1、光纤2、连接器3、偏光板4、气体池10、偏光分离器5、光检测器((Photo Detector:Η))、光检测器7、信号处理回路8和显示装置9。气体池10内封有碱金属气体(气体状态的碱金属原子)。碱金属可用铯(Cs)、铷(Rb)、钾(K)、钠(Na)等。以下是以铯作为碱金属为例进行说明。光源1是输出对应于铯的吸收线的波长(例如相当于D1线的894nm)的激光束的装置，例如，是可调谐激光器。从光源1输出的激光束是具有连续的恒定光量的光，也就是所谓的CW(Continuous Wave，连续波)光。[004当前第1页1 2 3 本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种磁力测量装置的制造方法，所述磁力测量装置测量从活体产生的磁场，所述制造方法的特征在于，包括以下步骤：在由第一玻璃构成的池的空隙中配置由与所述第一玻璃不同的第二玻璃构成的且在中空部中填充有材料物质的安瓿，密封所述池，以及使脉冲光通过所述池照射在所述安瓿上，从而在所述安瓿上形成贯通孔，其中，所述脉冲光的能量为20μJ/脉冲至200μJ/脉冲。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：藤井永一，长坂公夫，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP
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