本发明专利技术提供了一种回转工作台的驱动系统及回转工作台装置，涉及传动机械技术领域，其中驱动系统包括：主轴系统、旋转工作台、同步带传动系统、底座和电机总成；所述主轴系统安装在所述底座上，所述旋转工作台安装在所述主轴系统上；所述电机总成包括：底板、电机座、电机、调整头和调整架，所述同步带传动系统包括：传动用同步带、同步带轮、啮合部件，所述同步带轮安装在所述电机的输出轴上，所述传动用同步带一端套在所述旋转工作台圆周上，所述传动用同步带的另一端套在所述同步带轮上。该方案可提高回转工作台的运行平稳度及定位精度，改善设备可靠性。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及传动机械
，尤其涉及一种回转工作台的驱动系统及回转工作台装置。
技术介绍
在半导体专用设备制造过程中，工作台往往需要实现一定度数范围内的旋转、定位从而满足加工工艺的要求。因此，实现工作台可靠、平稳旋转，精准落位，是半导体专用设备制造关键技术。在现代化的生产设备中，传统的工作台驱动方式是通过电机减速器直接作用于轴系，带动工作台旋转，这种装置在实际应用中存在一定的不足，运转不平稳，震动大，噪音大，由于转动惯量不匹配，导致工作台落位时难以停稳，定位精度不能满足工艺需求，从而大大降低了设备可靠性。
技术实现思路
为了克服上述问题，本专利技术提供一种回转工作台的驱动系统及回转工作台装置，解决现有技术中工作台落位时难以停稳，定位精度不能满足工艺需求，设备可靠性不足的问题。为了解决上述技术问题，本专利技术采用如下技术方案：一种回转工作台的驱动系统，包括：主轴系统、旋转工作台、同步带传动系统、底座和电机总成；其中，所述主轴系统安装在所述底座上，所述旋转工作台安装在所述主轴系统上；所述电机总成包括：底板、电机座、电机、调整头和调整架，其中，所述底板安装在所述底座上，所述电机安装在所述电机座上，所述电机座与所述底板连接，将所述电机安装固定在所述底座上，所述调整头连接在所述电机座一端，所述调整架固定在所述底板上，所述调整架上安装有一调整螺钉，所述调整螺钉穿过所述调整架与所述调整头螺纹连接；所述同步带传动系统包括：传动用同步带、同步带轮、啮合部件，其中，所述同步带轮安装在所述电机的输出轴上，所述啮合部件通过齿向外的方式固定在所述旋转工作台圆周上，所述传动用同步带通过齿向内的方式一端套在所述旋转工作台圆周上，且与所述啮合部件的齿相互啮合，并通过压板扣压在所述啮合部件和所述传动用同步带的啮合处，将所述啮合部件和所述传动用同步带的啮合处压紧固定在所述旋转工作台上，所述传动用同步带的另一端套在所述同步带轮上。可选地，所述底座上固定有相对设置的导向轮，相对设置的所述导向轮分别位于所述传动用同步带的两侧，以将所述传动用同步带压紧。可选地，相对设置的所述导向轮之间的距离小于所述旋转工作台的直径且大于等于所述同步带轮的直径。可选地，所述底座上固定有相对设置的用于感知所述旋转工作台旋转位置的限位传感器。可选地，所述主轴系统为气浮主轴系统。可选地，所述传动用同步带为聚氨酯钢丝带。一种回转工作台装置，包括如上所述的回转工作台的驱动系统。本专利技术的有益效果是：上述方案，回转工作台的驱动系统中具体结合了同步带传动系统，使得该驱动系统的转动惯量大，扭矩大，进而解决了传统电机驱动主轴由于惯量不匹配造成的停不下来，落位不准的问题，实现旋转工作台的精准定位，稳定落位，提高回转工作台的运行平稳度及定位精度，改善设备可靠性。附图说明图1为本专利技术中回转工作台的驱动系统的整体结构示意图；图2为图1中回转工作台的驱动系统的俯视图；图3为沿图1中A-A线的剖面示意图；图4为沿图1中B-B线的剖面示意图。附图标记：1主轴系统、2旋转工作台、3底座、41底板、42电机座、43电机、44调整头、45调整架、46调整螺钉、51传动用同步带、52同步带轮、53啮合部件、54压板、55导向轮、31限位传感器。具体实施方式下面将参照附图更详细地描述本公开的示例性实施例。虽然附图中显示了本公开的示例性实施例，然而应当理解，可以以各种形式实现本公开而不应被这里阐述的实施例所限制。相反，提供这些实施例是为了能够更透彻地理解本公开，并且能够将本公开的范围完整的传达给本领域的技术人员。如图1、图2、图3、图4所示，本专利技术公开了一种回转工作台的驱动系统，其特征在于，包括：主轴系统1、旋转工作台2、同步带传动系统、底座3和电机总成；其中，主轴系统1安装在底座3上，旋转工作台2安装在主轴系统1上。其中，该电机总成包括：底板41、电机座42、电机43、调整头44和调整架45，其中，底板41安装在底座3上，电机43安装在电机座42上，电机座42与底板41连接，将电机43安装固定在底座3上，调整头44连接在电机座42一端，调整架45固定在底板41上，调整架45上安装有一调整螺钉46，调整螺钉46穿过调整架45与调整头44螺纹连接。其中，该同步带传动系统包括：传动用同步带51、同步带轮52、啮合部件53，其中，同步带轮52安装在电机43的输出轴上，啮合部件53通过齿向外的方式固定在旋转工作台2圆周上，传动用同步带51通过齿向内的方式一端套在旋转工作台2圆周上，且与啮合部件53的齿相互啮合，并通过压板54扣压在啮合部件53和传动用同步带51的啮合处，将啮合部件53和传动用同步带51的啮合处压紧固定在旋转工作台2上，传动用同步带51的另一端套在同步带轮52上。具体地，电机43安装在电机座42上，电机座42与底板41连接，将电机43安装固定在底座3上，电机座42与底板41间的连接为位置可调变式连接，底板41或电机座42可以设置有利于实现位置调变的条形孔，具体通过连接在电机座42一端的调整头44及与之通过一调整螺钉46连接的调整架45来实现对该电机座42的位置的调整，调整头44与电机座42远离旋转工作台2的一端固定连接，调整架45固定安装于底板41上，当调整螺钉46旋动时，调整头44带动电机座42相对底板41进行位置调变，可以实现调整电机43与旋转工作台2之间距离的变远或变近，进而使电机43带动传动用同步带51进行张紧度的调变，更好的实现传动效果。进一步地，传动用同步带51用于带动旋转工作台2转动，电机43输出轴上设置的同步带轮52具体用于带动传动用同步带51进行转动，传动用同步带51套设在同步带轮52上，具体为套设在其圆周面上；传动用同步带51在套设于同步带轮52上的同时，还套设并部分固定于旋转工作台2的圆周面上，啮合部件53通过其朝向外的齿与传动用同步带51上朝向内的齿啮合，实现在该啮合处固定住传动用同步带51；同步带轮52上有齿，可以实现与传动用同步带51间的咬接传动，当电机43经由同步带轮52带动传动用同步带51转动时，传动用同步带51经由啮合部件53及压板54带动旋转工作台2转动，该啮合部件53具体可以是一段啮合用同步带。其中，传动用同步带51可为一个环状带，在安装时，旋动调整螺钉46，使电机43与旋转工作台2之间距离变近，将本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种回转工作台的驱动系统，其特征在于，包括：主轴系统(1)、旋转工作台(2)、同步带传动系统、底座(3)和电机总成；其中，所述主轴系统(1)安装在所述底座(3)上，所述旋转工作台(2)安装在所述主轴系统(1)上；所述电机总成包括：底板(41)、电机座(42)、电机(43)、调整头(44)和调整架(45)，其中，所述底板(41)安装在所述底座(3)上，所述电机(43)安装在所述电机座(42)上，所述电机座(42)与所述底板(41)连接，将所述电机(43)安装固定在所述底座(3)上，所述调整头(44)连接在所述电机座(42)一端，所述调整架(45)固定在所述底板(41)上，所述调整架(45)上安装有一调整螺钉(46)，所述调整螺钉(46)穿过所述调整架(45)与所述调整头(44)螺纹连接；所述同步带传动系统包括：传动用同步带(51)、同步带轮(52)、啮合部件(53)，其中，所述同步带轮(52)安装在所述电机(43)的输出轴上，所述啮合部件(53)通过齿向外的方式固定在所述旋转工作台(2)圆周上，所述传动用同步带(51)通过齿向内的方式一端套在所述旋转工作台(2)圆周上，且与所述啮合部件(53)的齿相互啮合，并通过压板(54)扣压在所述啮合部件(53)和所述传动用同步带(51)的啮合处，将所述啮合部件(53)和所述传动用同步带(51)的啮合处压紧固定在所述旋转工作台(2)上，所述传动用同步带(51)的另一端套在所述同步带轮(52)上。...
【技术特征摘要】
1.一种回转工作台的驱动系统，其特征在于，包括：主轴系统(1)、旋
转工作台(2)、同步带传动系统、底座(3)和电机总成；
其中，所述主轴系统(1)安装在所述底座(3)上，所述旋转工作台(2)
安装在所述主轴系统(1)上；
所述电机总成包括：底板(41)、电机座(42)、电机(43)、调整头(44)
和调整架(45)，其中，所述底板(41)安装在所述底座(3)上，所述电机(43)
安装在所述电机座(42)上，所述电机座(42)与所述底板(41)连接，将所
述电机(43)安装固定在所述底座(3)上，所述调整头(44)连接在所述电
机座(42)一端，所述调整架(45)固定在所述底板(41)上，所述调整架(45)
上安装有一调整螺钉(46)，所述调整螺钉(46)穿过所述调整架(45)与所
述调整头(44)螺纹连接；
所述同步带传动系统包括：传动用同步带(51)、同步带轮(52)、啮合部
件(53)，其中，所述同步带轮(52)安装在所述电机(43)的输出轴上，所
述啮合部件(53)通过齿向外的方式固定在所述旋转工作台(2)圆周上，所
述传动用同步带(51)通过齿向内的方式一端套在所述旋转工作台(2)圆周
上，且与所述啮合部件(53)的齿相互啮合，并通过压板(54)扣压在所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：张敏杰，衣忠波，王欣，梁津，赵岁花，
申请(专利权)人：北京中电科电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11
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