一种用于激光器的射频电源制造技术

一种用于激光器的射频电源，其特征在于：第一功率放大模块1，第二功率放大模块2，第三功率放大模块3，第四功率放大模块4，第五功率放大模块5，第六功率放大模块6，第七功率放大模块7，第八功率放大模块8，第九功率放大模块9，第十功率放大模块10，第十一功率放大模块11，第十二功率放大模块12，射频输出匹配电路13，第一微带功率合成电路15，第二微带功率合成电路16，第三微带功率合成电路17，第四微带功率合成电路18，第五微带功率合成电路20，第六微带功率合成电路21，第七微带功率合成电路22，第一水冷散热器14，第二水冷散热器19。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种用于激光器的射频电源，尤其涉及激光器领域。
技术介绍
气体激光器，特别是二氧化碳气体激光器都是运用射频电源对激光器中的气体放电产生激光。射频电源在其中的作用是产生高频率的激励电流，而传统的射频电源均使用普通的散热器和结构，一般用风冷或单面水冷方式，因此大功率的激光器都是与射频电源分开放置，这样需要多个机壳，体积增加了，成本也增加了，而且在激光器与射频电源间还需要一根射频电缆进行连接，而这根射频电缆在高功率工作的时候会发热而产生额外的能量损耗。并且常用的激光器内部的射频功率合成器一般都采用磁环变压器或用分立的电感电容组成合成器，这样的射频功率合成器因为要在合成线路板上焊接额外的元器件因此体积会相对大，而且效率相对微带的射频功率合成器会低，因而会产生热量还需要配套散热的设备。微带电路的优点是不需要额外的元器件，并且效率高发热小，即使发热也能通过线路板把热量导到地下的散热板带走，无须附加风扇这种风冷的散热方式。
技术实现思路
针对上述所述现有射频电源所存在的问题与不足之处，本专利技术的目的是提供一款功率密度高与体积小的并能安装进激光器的射频电源系统。—种用于激光器的射频电源，包括第一功率放大模块I，第二功率放大模块2，第三功率放大模块3，第四功率放大模块4，第五功率放大模块5，第六功率放大模块6，第七功率放大模块7，第八功率放大模块8，第九功率放大模块9，第十功率放大模块10，第^^一功率放大模块11，第十二功率放大模块12，射频输出匹配电路13，第一微带功率合成电路15，第二微带功率合成电路16，第三微带功率合成电路17，第四微带功率合成电路18，第五微带功率合成电路20，第六微带功率合成电路21，第七微带功率合成电路22，第一水冷散热器14，第二水冷散热器19，其中，第一功率放大模块1、第二功率放大模块2、第三功率放大模块3输出到第一微带功率合成电路15合成一路，第四功率放大模块4、第五功率放大模块5、第六功率放大模块6输出到第二微带功率合成电路16合成一路，第七功率放大模块7、第八功率放大模块8、第九功率放大模块9输出到第四微带功率合成电路18合成一路，第十功率放大模块10、第^^一功率放大模块11、第十二功率放大模块12输出到第三微带功率合成电路17合成一路，所述4个微带功率合成电路，各将三路功率放大模块输出的信号合成为一路，第一微带功率合成电路15、第四微带功率合成电路18输出给到第五微带功率合成电路21的两个输入端，第二微带功率合成电路16、第三微带功率合成电路17输出到第七微带功率合成电路22的两个输入端，所述第五微带功率合成电路20、第七微带功率合成电路22各把两路输入功率电流合成为一路，并通过电极输送给第六微带功率合成电路21最后合成一路，所述的微带功率合成电路再输出到射频输出匹配电路13，经过所述输出匹配微带电路匹配后输出到二氧化碳激光器。—种微带功率合成模块，包括第五微带功率合成电路，第六微带功率合成电路21、第七微带功率合成电路22，对于第五微带功率合成电路，射频电流从第一、第二输入端输入，射频电流经过微带线最终聚集合成到第一输出端上，对于第七微带功率合成电路22射频电流从第三、第四输入端输入，射频电流经过微带线最终聚集合成到第二输出端上，对于第六微带功率合成电路射频电流从第五、第六输入端输入，射频电流经过微带线最终聚集合成到第三输出端上;所述微带功率合成模块还包括第一微带传输部、第二微带传输部、第三微带传输部。一种微带功率合成模块，包括第一微带功率合成电路15，第四微带功率合成电路18，对于第一微带功率合成电路15，射频电流从三个输入端输入，射频电流经过微带线最终聚集合成到输出端上，对于第四微带功率合成电路18射频电流从另外三个输入端输入，射频电流经过微带线最终聚集合成到另一个输出端上;所述微带功率合成模块还包括第六微带传输部38和第四微带传输部43，其中，第六微带传输部38是一根宽3.2mm，长度104.1mm的敷铜线路，其中由2根45mm长的直线与I个半径为4.5mm的半圆首尾相接而成，第四微带传输部43是一根宽3.2mm，长度104.1mm的敷铜线路，其中由2根45mm长的直线与I个半径为4.5mm的半圆首尾相接而成。一种微带功率合成模块，包括第二微带功率合成电路16，第三微带功率合成电路17，对于第二微带功率合成电路16，射频电流从三个输入端输入，射频电流经过微带线最终聚集合成到输出端上，对于第三微带功率合成电路17射频电流从另外三个输入端输入，射频电流经过微带线最终聚集合成到另一个输出端上;第二微带功率合成电路16是由三个总微带合成传输部组成，这三个部分都是一根宽3.2mm，长557mm的微带铜线;第三微带功率合成电路17是由三个总微带合成传输部组成，这三个部分都是一根宽3.2mm，长557mm的微带铜线。一种输出匹配微带电路，射频电流从输入进匹配端，经过电容电感匹配后从输出端输出到激光器;其中第五微带传输部54是一根宽16.3mm，长度86.8mm的敷铜线路，射频电流经过时起到匹配的作用。【附图说明】:图1为本专利技术的系统连接示意图；图2为本专利技术的第五微带功率合成电路20，第六微带功率合成电路21，第七微带功率合成电路22，的详细布线图；图3为本专利技术的功率合成微带电路15，功率合成微带电路18的详细布线图；图4为本专利技术的功率合成微带电路16，功率合成微带电路17的详细布线图；图5为本专利技术的输出匹配微带电路13的详细布线图；图6，第一总微带合成传输部55详细布线图；图7，第二总微带合成传输部56详细布线图；图8，第三总微带合成传输部57详细布线图；图9，第四总微带合成传输部58详细布线图；图10，第五总微带合成传输部59详细布线图；图11，第六总微带合成传输部60详细布线图；图12，第七总微带合成传输部61详细布线图；图13，第八总微带合成传输部62详细布线图；图14，第九总微带合成传输部63详细布线图；图15，第十总微带合成传输部64详细布线图；图16，第十一总微带合成传输部65详细布线图；图17，第十二总微带合成传输部66详细布线图；图18，第十三总微带合成传输部67详细布线图；图19，第十四总微带合成传输部68详细布线图；图20，第十五总微带合成传输部69详细布线图；图21，第十六总微带合成传输部70详细布线图；图22，第十七总微带合成传输部71详细布线图；图23，第十八总微带合成传输部72详细布线图。【具体实施方式】:下面结合具体实施例和附图对本专利技术作进一步说明书，但不应以此限制本专利技术的保护范围。参考图1，第一功率放大模块i，第二功率放大模块2，第三功率放大模块3，第四功率放大模块4，第五功率放大模块5，第六功率放大模块6，第七功率放大模块7，第八功率放大模块8，第九功率放大模块9，第十功率放大模块10，第^^一功率放大模块11，第十二功率放大模块12，射频输出匹配电路13，第一微带功率合成电路15，第二微带功率合成电路16，第三微带功率合成电路17，第四微带功率合成电路18，第五微带功率合成电路20，第六微带功率合成电路21，第七微带功率合成电路22，第一水冷散热器14，第二水冷散热器19，其中，第一功率放大模块I，第二功率放大模本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于激光器的射频电源，其特征在于：包括第一功率放大模块1，第二功率放大模块2，第三功率放大模块3，第四功率放大模块4，第五功率放大模块5，第六功率放大模块6，第七功率放大模块7，第八功率放大模块8，第九功率放大模块9，第十功率放大模块10，第十一功率放大模块11，第十二功率放大模块12，射频输出匹配电路13，第一微带功率合成电路15，第二微带功率合成电路16，第三微带功率合成电路17，第四微带功率合成电路18，第五微带功率合成电路20，第六微带功率合成电路21，第七微带功率合成电路22，第一水冷散热器14，第二水冷散热器19，其中，第一功率放大模块1、第二功率放大模块2、第三功率放大模块3输出到第一微带功率合成电路15合成一路，第四功率放大模块4、第五功率放大模块5、第六功率放大模块6输出到第二微带功率合成电路16合成一路，第七功率放大模块7、第八功率放大模块8、第九功率放大模块9输出到第四微带功率合成电路18合成一路，第十功率放大模块10、第十一功率放大模块11、第十二功率放大模块12输出到第三微带功率合成电路17合成一路，所述4个微带功率合成电路，各将三路功率放大模块输出的信号合成为一路，第一微带功率合成电路15、第四微带功率合成电路18输出给到第五微带功率合成电路21的两个输入端，第二微带功率合成电路16、第三微带功率合成电路17输出到第七微带功率合成电路22的两个输入端，所述第五微带功率合成电路20、第七微带功率合成电路22各把两路输入功率电流合成为一路，并通过电极输送给第六微带功率合成电路21最后合成一路，所述的微带功率合成电路再输出到射频输出匹配电路13，经过所述输出匹配微带电路匹配后输出到二氧化碳激光器。...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：徐海军，
申请(专利权)人：北京热刺激光技术有限责任公司，
类型：发明
国别省市：北京;11