本实用新型专利技术公开了一种用于LED外延生长的石墨承载盘及外延设备，所述石墨承载盘上设有若干用于收容衬底的圆形的收容部，其特征在于，所述收容部包括由石墨承载盘中心向外扩散的若干层，第一层为一个收容部，石墨承载盘的中心与第一层中收容部的中心同心设置，收容部呈蜂窝状相邻设置，每个收容部与相邻的收容部均相切设置。本实用新型专利技术大大减小了石墨承载盘边缘浪费的面积，能够增加外延设备每一炉外延片的产量，大大提高了外延效率，降低了生产成本。
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体外延生长
，尤其涉及一种用于LED外延生长的石墨承载盘及外延设备。
技术介绍
发光二极管(Light-Emitting D1de，LED)为一种固态半导体元件，其至少包含一P-N结，此P-N结形成于P型半导体与N型半导体之间。当于P-N上施予一定程度的偏压时，P型半导体中的空穴与N型半导体中的电子会结合而发光，此光产生的区域称为发光区。LED的主要特征在于尺寸小、发光效率高、寿命长、反应快速、可靠度高和色度良好，目前已广泛使用在显示、照明、汽车、植物照明等领域。LED在制备过程中需要在衬底上外延生长多层外延层，以蓝宝石衬底为例，需将多片蓝宝石衬底放入外延炉中的石墨承载盘上，参图1所示为现有技术中石墨承载盘的外延布局结构不意图，石墨承载盘10’为圆形，直径为530mm，衬底也为圆形，直径为51mm，石墨承载盘上设有若干用于收容衬底的圆形收容部101’，每个收容部的直径为51mm，衬底可以放置于石墨承载盘上的收容部101，内，然后在外延炉中进行外延生长。图1中，收容部呈蜂窝状相邻设置，每个收容部与相邻的收容部均相切设置，石墨承载盘的中心0位于正中心三个收容部的中心，以0为中心向外扩散，收容部可分为5层，其收容部的数量分别为3、9、15、21、21个，石墨承载盘上总共有69个收容部，能够同时收容69个衬底同时进行外延生长，其中，最外一层的收容部与石墨承载盘的侧边距离不同，且最外一层的收容部之间不是全部相邻设置，最外侧留有较大的间距，造成了石墨承载盘边缘区域的浪费。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种用于LED外延生长的石墨承载盘及外延设备，其能够充分利用石墨承载盘的边缘区域，承载更多的衬底进行外延生长。为了实现上述目的，本技术实施例提供的技术方案如下:—种用于LED外延生长的石墨承载盘，所述石墨承载盘上设有若干用于收容衬底的圆形的收容部，所述收容部包括由石墨承载盘中心向外扩散的若干层，第一层为一个收容部，石墨承载盘的中心与第一层中收容部的中心同心设置，收容部呈蜂窝状相邻设置，每个收容部与相邻的收容部均相切设置。作为本技术的进一步改进，所述收容部除第一层和最外一层之外，每一层的收容部呈正六边形分布。作为本技术的进一步改进，所述石墨承载盘的直径为530mm，每个收容部的直径为51mm，所述石墨承载盘上包括85个收容部。作为本技术的进一步改进，所述收容部呈蜂窝状设置为六层。作为本技术的进一步改进，所述收容部分为第一层至第六层，第一层至第六层收容部的数量分别为1、6、12、18、24、24个。作为本技术的进一步改进，所述第五层的收容部呈正六边形分布，且每一边的外侧设有4个第六层中的收容部，第六层中的每个收容部均与第五层中每一边的两个收容部相切设置。相应地，本技术还公开了一种外延设备，所述外延设备包括上述的石墨承载盘。本技术的有益效果是:石墨承载盘上设置有若干呈蜂窝状相邻设置的收容部，且石墨承载盘的中心设置有一个收容部，直径为530mm的石墨承载盘上能够设置85个直径为51mm的圆形收容部，大大减小了石墨承载盘边缘浪费的面积；能够增加外延设备每一炉外延片的产量，大大提高了外延效率，降低了生产成本。【附图说明】为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为现有技术中石墨承载盘的结构不意图。图2为本技术一【具体实施方式】中石墨承载盘的结构示意图。【具体实施方式】为了使本
的人员更好地理解本技术中的技术方案，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本技术保护的范围。本技术公开了一种用于LED外延生长的石墨承载盘，所述石墨承载盘上设有若干用于收容衬底的圆形的收容部，所述收容部包括由石墨承载盘中心向外扩散的若干层，第一层为一个收容部，石墨承载盘的中心与第一层中收容部的中心同心设置，收容部呈蜂窝状相邻设置，每个收容部与相邻的收容部均相切设置。进一步地，收容部除第一层和最外一层之外，每一层的收容部呈正六边形分布。参图2所示，在本技术的一【具体实施方式】中，石墨承载盘10上设有若干用于收容衬底的圆形的收容部101，石墨承载盘10的中心为0，收容部包括由石墨承载盘中心向外扩散的六层。其中，本实施方式中石墨承载盘的直径为530mm，每个收容部的直径设为51mm，石墨承载盘上一共设置有85个蜂窝状排布的收容部，可同时收容85个衬底，同时进行外延层的外延生长工艺。以下对第一层-第六层收容部详细进行说明。第一层仅设置为1个收容部，该收容部的中心与石墨承载盘的中心相同，也为0。第二层包括6个收容部，第二层的6个收容部围绕第一层的1个收容部设置，第二层中的每个收容部均与第一层中的收容部相切设置。且第二层的6个收容部呈正六边形分布，即第二层的6个收容部的中心的连线为正六边形。第三层包括12个收容部，第三层的12个收容部围绕第二层的6个收容部设置，第三层中的每个收容部至少与第二层中的一个收容部相切设置。且第三层中的12个收容部也呈正六边形分布，即第三层中的12个收容部的中心的连线为正六边形。第四层包括18个收容部，第四层的18个收容部围绕第三当前第1页1 2 本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种用于LED外延生长的石墨承载盘，所述石墨承载盘上设有若干用于收容衬底的圆形的收容部，其特征在于，所述收容部包括由石墨承载盘中心向外扩散的若干层，第一层为一个收容部，石墨承载盘的中心与第一层中收容部的中心同心设置，收容部呈蜂窝状相邻设置，每个收容部与相邻的收容部均相切设置。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：刘慰华，包广宏，陈伟，
申请(专利权)人：聚灿光电科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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