一种真空退火箱的氮气进出安全装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及热处理装置领域，具体为一种真空退火箱的氮气进出安全装置。本实用新型专利技术的目的是设计一种真空退火箱的氮气进出安全装置，能防止氮气等加工的惰性气体泄露和随意排放。本实用新型专利技术是通过下述技术方案实现的：一种真空退火箱的氮气进出安全装置,由氮气储存装置、解压装置、调压排送装置、排真空回收和发散装置组成；其中所述氮气储存装置串联到解压装置，调压排送装置设置在真空箱外，通过内排送管连接真空箱内的排真空回收和发散装置，所述解压装置由设置在氮气送气管入口的过滤阀和送气减压阀组成，后设置的输气管连接到调压排送装置，适压泵通过内排送管连接到真空箱内的回收和排真空装置上。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及热处理装置领域，具体为一种真空退火箱的氮气进出安全装置。
技术介绍
真空退火箱普通的循环水冷却方式降温速度过慢，无法满足该冷却要求，在高温退火过程中，支架容易被氧化，发黄，对晶振的品质、稳定性造成了二次影响，加装真空系统，在高真空的环境下对支架进行高温退火，可以有效的防止支架被氧化，最终成功的消除了机械应力，保障了晶振的品质，但真空加工下还是应密封度和温度等原因产生真空环境需要大量的限制条件，从而造成的成本上升，所以我们需要加入其他气体排出箱内的空气。
技术实现思路
本技术的目的是设计一种真空退火箱的氮气进出安全装置，能防止氮气等加工的惰性气体泄露和随意排放。本技术是通过下述技术方案实现的：一种真空退火箱的氮气进出安全装置,由氮气储存装置、解压装置、调压排送装置、排真空回收和发散装置组成；其中所述氮气储存装置串联到解压装置，调压排送装置设置在真空箱外，通过内排送管连接真空箱内的排真空回收和发散装置，所述解压装置由设置在氮气送气管入口的过滤阀和送气减压阀组成，后设置的输气管连接到调压排送装置，调压排送装置由T型输气管和设置在T型输气管左边的压力泵和右边的适压泵组成，适压泵通过内排送管连接到真空箱内的回收和排真空装置上，所述排真空回收和发散装置至少由五组排真空回收和发散泵，其中至少2组为氮气排真空回收和发散泵，2组为空气排真空回收和发散泵，1组为空气辅助排真空回收和发散泵，所述排真空回收和发散泵的所有进出气管都串联在主抽气管和主排放管上；所述氮气排真空回收和发散泵由调压泵、解压泵、氮气过滤装置、氮气储存筒组成，所述空气辅助排真空回收和发散泵由空气调压泵、空气解压泵，空气过滤装置、空气排出泵组成。作为优选所述氮气排真空回收和发散泵串联氮气储存筒。作为优选所述空气排真空回收和发散泵串联空气排出泵。作为优选所述送气减压阀还设置有压力计。作为优选所述空气排真空回收和发散泵的进气管上设置有自适应压力进出阀门。作为优选所述氮气排真空回收和发散泵的调压泵和解压泵之间还设置有一对速率控制电子阀在进氮气管和出氮气管上。本技术与
技术介绍
相比，具有的有益的效果是：克服了真空退火箱在抽真空后再排放氮气情况下会有一定的倒吸情况，同时进行了氮气回收，不用每次开箱都有氮气泄露，长期积累1造成了氮气浪费，2制作环境因为是完全无尘的封闭环境较高，会造成制作场所氮气含量增高对人体造成不适。附图说明图1为本技术整体组合图。图2为氮气排真空回收和发散泵图。图3为空气辅助排真空回收和发散泵结构图。具体实施方式下面通过实施例，结合附图，对本技术的技术方案作进一步具体的说明：如图1所示一种真空退火箱的氮气进出安全装置,由氮气储存装置1、解压装置2、调压排送装置3、排真空回收和发散装置4组成；其中所述氮气储存装置串联到解压装置，调压排送装置设置在真空箱外，通过内排送管连接真空箱内的排真空回收和发散装置，所述解压装置由设置在氮气送气管入口5的过滤阀6和送气减压阀7组成，后设置的输气管8连接到调压排送装置，调压排送装置由T型输气管9和设置在T型输气管左边的压力泵10和右边的适压泵11组成，适压泵通过内排送管12连接到真空箱内的回收和排真空装置上，所述排真空回收和发散装置至少由五组排真空回收和发散泵13组成，其中至少2组为氮气排真空回收和发散泵14，2组为空气排真空回收和发散泵15，1组为空气辅助排真空回收和发散泵16，所述排真空回收和发散泵的所有进出气管都串联在主抽气管17a和主排放管17b上；所述氮气排真空回收和发散泵由调压泵18、解压泵19、氮气过滤装置20、氮气储存筒21组成，所述空气辅助排真空回收和发散泵由空气调压泵22、空气解压泵23，空气过滤装置24、空气排出泵25组成。作为优选所述氮气排真空回收和发散泵串联氮气储存筒。作为优选所述空气排真空回收和发散泵串联空气排出泵。作为优选所述送气减压阀还设置有压力计26。作为优选所述空气排真空回收和发散泵的进气管上设置有自适应压力进出阀门27。作为优选所述氮气排真空回收和发散泵的调压泵和解压泵之间还设置有一对速率控制电子阀28在进氮气管29和出氮气管30上。真空退火箱的氮气利用主要是将液氮排入前，将空气抽空形成真空，并防止真空倒吸，并将液氮解压排入真空箱内，本装置能电子控制机械达到和克服倒吸，首先真空箱形成真空后解压装置解压，氮气罐内的氮气开始输送，根据真空的压力情况由调压排送装置进行调压排入真空箱，因为调压后可以克服排不出氮气或者倒吸空气进氮气罐，在制作过程完全后，调压排送装置增高压力封闭氮气管不排放氮气，氮气排真空回收和发散泵开始运作，将真空退火箱的氮气吸入，进调压和解压后控制在安全压力储存进氮气储存筒内，达到氮气回收过程，并在这个过程中还设置过滤装置进行过滤，以在逐渐积累后，再次排放的氮气将由氮气储存筒中排出，而不再由氮气罐内排放。本文中所描述的具体实施例仅仅是对本技术精神作举例说明。本技术所属
的技术人员可以对所描述的具体实施例做各种各样的修改或补充或采用类似的方式替代，但并不会偏离本技术的精神或者超越所附权利要求书所定义的范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种真空退火箱的氮气进出安全装置，由氮气储存装置（1）、解压装置（2）、调压排送装置（3）、排真空回收和发散装置（4）组成；其中所述氮气储存装置串联到解压装置，调压排送装置设置在真空箱外，通过内排送管连接真空箱内的排真空回收和发散装置，所述解压装置由设置在氮气送气管入口（5）的过滤阀（6）和送气减压阀（7）组成，后设置的输气管（8）连接到调压排送装置，调压排送装置由T型输气管（9）和设置在T型输气管左边的压力泵（10）和右边的适压泵（11）组成，适压泵通过内排送管（12）连接到真空箱内的回收和排真空装置上，所述排真空回收和发散装置至少由五组排真空回收和发散泵（13）组成，其中至少2组为氮气排真空回收和发散泵（14），2组为空气排真空回收和发散泵（15），1组为空气辅助排真空回收和发散泵（16），所述排真空回收和发散泵的所有进出气管都串联在主抽气管（17a）和主排放管（17b）上；所述氮气排真空回收和发散泵由调压泵（18）、解压泵（19）、氮气过滤装置（20）、氮气储存筒（21）组成，所述空气辅助排真空回收和发散泵由空气调压泵（22）、空气解压泵（23），空气过滤装置（24）、空气排出泵（25）组成。...

【技术特征摘要】
1.一种真空退火箱的氮气进出安全装置，由氮气储存装置（1）、解压装置（2）、调压排送装置（3）、排真空回收和发散装置（4）组成；其中所述氮气储存装置串联到解压装置，调压排送装置设置在真空箱外，通过内排送管连接真空箱内的排真空回收和发散装置，所述解压装置由设置在氮气送气管入口（5）的过滤阀（6）和送气减压阀（7）组成，后设置的输气管（8）连接到调压排送装置，调压排送装置由T型输气管（9）和设置在T型输气管左边的压力泵（10）和右边的适压泵（11）组成，适压泵通过内排送管（12）连接到真空箱内的回收和排真空装置上，所述排真空回收和发散装置至少由五组排真空回收和发散泵（13）组成，其中至少2组为氮气排真空回收和发散泵（14），2组为空气排真空回收和发散泵（15），1组为空气辅助排真空回收和发散泵（16），所述排真空回收和发散泵的所有进出气管都串联在主抽气管（17a）和主排放管（17b）上；所述氮气排真空回收和发散泵由调压泵（18）、解压泵（19）、氮气过滤...

【专利技术属性】
技术研发人员：叶国萍，汤海燕，
申请(专利权)人：汇隆电子金华有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江;33