防止成膜热损伤的卷取式ITO成膜装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开一种防止成膜热损伤的卷取式ITO成膜装置包括密封腔体，以及设置于密封腔体内的放料辊、卷取辊、溅射主辊、靶材，所述放料辊及卷取辊分别位于密封腔体内两侧，所述溅射主辊处于放料辊与卷取辊之间的下方。本实用新型专利技术在现有技术的基础上通过对溅射主辊内部设水循环系统，使溅射主辊和第一收料导辊与地线相连接，在卷取辊旁设一除静电装置，增加张力摆辊和展平辊等技术改良，有效地减少热损伤、变形、电击人体等现象的发生，使ITO薄膜的生产过程更加安全、高效，其产品更加美观，提高优品率。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种卷取式ITO成膜装置，尤其是一种可以防止成膜热损伤的卷取式ITO成膜装置。
技术介绍
因为ITO薄膜具有良好的透明性与导电性，同时还具有良好的刻蚀性，因而被大量运用于平面液晶显示(LCD)，电致发光显示(ELD),电致色彩显示(ECD)等。随着近几年来，国内液晶显示器产业的大力发展，对ITO产品的需求量增大的同时，对产品的质量有了新的要求。现存的ITO薄膜生产工艺中，特别是在溅射成膜的时候，薄膜基材表面暴露在高能粒子和等离子体的环境下，带电粒子入射，大量的电流流动，造成电流热效应的热量很大。薄膜基材在被高温加热的情况下，薄膜基材会产生变形和褶皱等热损伤现象，造成ITO薄膜的成品率不稳定，其生产速度受限制，美观度不高等不良现象。
技术实现思路
本技术针对现有技术存在之缺失，其主要目的是提供一种可以防止成膜热损伤的卷取式ITO成膜装置。为实现上述目的，本技术采用如下之技术方案：一种防止成膜热损伤的卷取式ITO成膜装置，包括密封腔体，以及设置于密封腔体内的放料辊、卷取辊、溅射主辊、靶材，所述放料辊及卷取辊分别位于密封腔体内两侧，所述溅射主辊处于放料辊与卷取辊之间的下方，所述溅射主辊内部为中空结构，内部设有冷却系统。本技术进一步方案,所述冷却系统为水循环系统。本技术进一步方案，所述卷取式ITO成膜装置还设有除静电装置，所述除静电装置处于卷取辊旁，并且该除静电装置生成的带电粒子射向卷取辊上的ITO薄膜。本技术进一步方案，所述卷取式ITO成膜装置还设有放料导辊和收料导辊，所述放料导辊包括第一放料导辊和第二放料导辊，第一放料导辊处于放料辊及溅射主辊之间，并且位于放料辊的右下方，第二放料导辊在第一放料导辊下方；所述收料导辊包括第一收料导辊和第二收料导辊，第二收料导辊处于卷取辊左下方，第一收料导辊位于第二收料导辊和溅射主辊之间。本技术进一步方案，所述卷取式ITO成膜装置还设有张力摆辊、展平辊，所述张力摆辊在第二放料导辊的左下方，所述展平辊在张力摆辊的左下方。本技术进一步方案，所述放料辊上的基材按顺序经过第一放料导辊和第二放料导辊外侧，张力摆辊、展平辊内侧，溅射主辊，第一收料导辊内侧，第二收料导辊外侧后，到卷取辊收卷。本技术进一步方案，所述溅射主辊和第一收料导辊与地线相连接。本技术进一步方案，所述展平辊从中轴线开始往两边设有对称螺纹，该展平辊主要由丁晴橡胶添加静电液生成。本技术进一步方案，所述靶材包括有第一靶材、第二靶材和第三靶材，第一靶材和第三靶材分别设于溅射主辊左右两边的密封腔体壁面上，第二靶材设于溅射主辊下方的密封腔体壁面上。本技术与现有技术相比，有以下几个进步：(1)、溅射主辊内部增加水循环系统，带走基材在溅射过程中所产生的部分温度，降低热损伤或变形产生的机率，提高ITO薄膜的生产质量；(2)、溅射主辊、第一收料导辊做接地线处理，除掉部分电荷，减少产生热损伤的情况出现，提高ITO薄膜产品的优品率；(3)、增加除静电装置，经过除电步骤后，可有效减少成膜表面的电荷，避免开箱后因静电对人的电击和收卷后膜层之间形成的电晕纹，使ITO薄膜的生产更加安全，提高产品质量；(4)、增加张力摆辊和展平辊的联合使用，使基材与溅射主辊更好的接触，减少变形的产生，从而加快ITO的成膜速度。为更清楚地阐述本技术的结构特征、技术手段及其所达到的具体目的和功能，下面结合附图与具体实施例来对本技术作进一步详细说明：附图说明图1是本技术之实施例的结构示意图；附图标识说明：1-第一放料导辊，2-第二放料导辊，3-第一收料导辊，4-第二收料导辊，5-第一靶材，6-第二靶材，7-第三靶材，8-放料辊，9-张力摆辊，10-展平辊，11-溅射主辊，12-密封腔体，13-除静电装置，14-卷取辊，15-基材。具体实施方式如图1所示，一种防止成膜热损伤的卷取式ITO成膜装置，包括密封腔体12，以及设置于密封腔体12内的放料辊6、卷取辊14、溅射主辊11、靶材，所述放料辊8及卷取辊14分别位于密封腔体12内两侧，所述溅射主辊11处于放料辊8与卷取辊14之间的下方，所述溅射主辊11内部为中空结构，并且设有冷却系统，这样能有效的防止薄膜基材15因溅射所产生的电流热量而产生损伤，所述冷却系统是水循环系统。该溅射主辊11与地线相连接,带走部分电荷，减少基材15被击穿或发生褶皱等现象的发生。所述卷取式ITO成膜装置还设有放料导辊和收料导辊，所述放料导辊包括第一放料导辊1和第二放料导辊2，第一放料导辊1处于放料辊8及溅射主辊11之间，并且位于放料辊8的右下方，第二放料导辊2位在第一放料导辊1下方；所述收料导辊包括第一收料导辊3和第二收料导辊4，第二收料导辊4处于卷取辊14左下方，第一收料导辊3位于第二收料导辊4和溅射主辊11之间。所述卷取式ITO成膜装置还设有张力摆辊9、展平辊10，所述张力摆辊9在第二放料导辊2的左下方，所述展平辊10在张力摆辊9的左下方。张力摆辊9和展平辊10的联合使用使基材15与溅射主辊11更好的接触，减变形的产生。所述展平辊10从中轴线开始往两边设有对称螺纹，该辊主要由丁晴橡胶添加静电液生成。所述靶材包括有第一靶材5、第二靶材6和第三靶材7，第一靶材5和第三靶7材分别设于溅射主辊11左右两边的密封腔体12壁面上，第二靶材6设于溅射主辊11下方的密封腔体12壁面上。所述卷取式ITO成膜装置还设有除静电装置13，所述除静电装置13位于卷取辊14旁，并且该除静电装置13生成的带电粒子射向ITO薄膜，利用异性电荷相吸原理，消除ITO薄膜上的电荷，达到除静电的效果。除静电装置13的安装和第一收料导辊3的接地处理，可有效减少成膜表面的电荷，避免了开箱后因静电对人的电击和收卷后膜层之间形成的电晕纹。在溅射过程中，通过辊的转动，放料辊8上的基材15按顺序经过第一放料导辊1和第二放料导辊2外侧，张力摆辊9、展平辊10内侧，溅射主辊11，第一收料导辊3内侧，第二收料导辊4外侧后，经除静电装置除静电后，到卷取辊14收卷。期间，基材15先后经过第一靶材5、第二靶材6和第三靶材7溅射。以上所述，仅是本技术的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，故凡是依据本技术的技术实际对以上实施例所作本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种防止成膜热损伤的卷取式ITO成膜装置，其特征在于：包括密封腔体，以及设置于密封腔体内的放料辊、卷取辊、溅射主辊、靶材，所述放料辊及卷取辊分别位于密封腔体内两侧，所述溅射主辊处于放料辊与卷取辊之间的下方，所述溅射主辊内部为中空结构，内部设有冷却系统。

【技术特征摘要】
1.一种防止成膜热损伤的卷取式ITO成膜装置，其特征在于：包括密
封腔体，以及设置于密封腔体内的放料辊、卷取辊、溅射主辊、靶材，所
述放料辊及卷取辊分别位于密封腔体内两侧，所述溅射主辊处于放料辊与
卷取辊之间的下方，所述溅射主辊内部为中空结构，内部设有冷却系统。
2.根据权利要求1所述防止成膜热损伤的卷取式ITO成膜装置，其特
征在于：所述冷却系统为水循环系统。
3.根据权利要求1所述防止成膜热损伤的卷取式ITO成膜装置，其特
征在于：还包括有除静电装置，所述除静电装置设于卷取辊旁，并且该除
静电装置生成的带电粒子射向卷取辊上的ITO薄膜。
4.根据权利要求1所述防止成膜热损伤的卷取式ITO成膜装置，其特
征在于：还包括有放料导辊和收料导辊，所述放料导辊包括第一放料导辊
和第二放料导辊，第一放料导辊处于放料辊及溅射主辊之间，并且位于放
料辊的右下方，第二放料导辊位于第一放料导辊下方；所述收料导辊包括
第一收料导辊和第二收料导辊，第二收料导辊处于卷取辊左下方，第一收
料导辊位于第二收料导辊和溅射主辊之间。...

【专利技术属性】
技术研发人员：由龙，黄振革，
申请(专利权)人：山东金鼎电子材料有限公司，
类型：新型
国别省市：山东;37