【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于真空
,具体涉及一种螺杆真空泵。
技术介绍
螺杆真空泵属于非接触型干式泵,它是20世纪90年代初期出现的一种理想的真空泵,以其抽速范围宽、结构简单紧凑、抽气腔元件无摩擦、寿命长、能耗低、无油污染等优点而在微电子、半导体、制药、精密加工等行业得到广泛应用。国产的螺杆真空泵经过二十年的快速发展,其主要性能指标(如抽速、极限压力、能耗、零流量压缩比、压差)均达到或接近国外先进水平;但泵运行稳定性、使用可靠性与国外先进泵仍差距较大,其动密封技术是主要影响因素之一,如何提高密封的可靠性及密封件的使用寿命成为目前国内螺杆泵市场面临的关键问题。螺杆真空泵工作过程分为吸气、等容输送、压缩、排气四个过程,压缩和排气的过程中会使气体温度急剧升高,导致排气端转子与轴的温度较高,密封组件处于高温高速的恶劣工况下,而且传统机械密封动静环直接接触,使密封组件易损,使用寿命大大降低。
技术实现思路
为了解决高温高速运行的螺杆真空泵的机械密封组件存在的问题,提高螺杆真空泵的使用寿命,本专利技术提供一种具有动密封结构的螺杆真空泵。一种具有动密封结构的螺杆真空泵包括泵体21、前端盖3、后端盖、轴1和转子2;所述泵体21的一侧径向上设有进气端口,所述前端盖3和后端盖分别固定设于泵体21的轴向两端;所述前端盖3的一侧径向上分别设有排气端口和冷却介质入口;所述后端盖的一侧径向上设有冷却介质出口;所述转子2套设固定在轴1上,转子2位 ...
【技术保护点】
一种具有动密封结构的螺杆真空泵,包括泵体(21)、前端盖(3)、后端盖、轴(1)和转子(2);所述泵体(21)的一侧径向上设有进气端口,所述前端盖(3)和后端盖分别固定设于泵体(21)的轴向两端;所述前端盖(3)的一侧径向上分别设有排气端口和冷却介质入口;所述后端盖的一侧径向上设有冷却介质出口;所述转子(2)套设固定在轴(1)上,转子(2)位于泵体(21)内;所述轴(1)的一端固定设于后端盖内,另一端伸至前端盖(3)外部,轴(1)和前端盖(3)之间设有密封机构;所述密封机构包括密封静环(6)和密封动环(7),所述密封动环(7)上套设有弹簧,密封动环(7)通过紧定螺钉固定在轴(1)上,其特征在于:所述密封机构还包括冷却套管(4);与密封机构对应的转子(2)的轴向一端为套管台阶孔,使转子(2)与轴(1)之间有环形空腔;所述冷却套管(4)为一端敞口另一端封闭的夹套管,所述夹套管的内管壁和外管壁之间的空腔为环状的冷却通道(9);冷却套管(4)的敞口端固定连接着前端盖(3)的轴向内端面,冷却套管(4)的封闭口端位于转子(2)的套管台阶孔内;所述冷却通道(9)与前端盖(3)内的冷却腔(10)连通, ...
【技术特征摘要】
1.一种具有动密封结构的螺杆真空泵,包括泵体(21)、前端盖(3)、后端盖、轴(1)和转子(2);所述泵体(21)的一侧径向上设有进气端口,所述前端盖(3)和后端盖分别固定设于泵体(21)的轴向两端;所述前端盖(3)的一侧径向上分别设有排气端口和冷却介质入口;所述后端盖的一侧径向上设有冷却介质出口;所述转子(2)套设固定在轴(1)上,转子(2)位于泵体(21)内;所述轴(1)的一端固定设于后端盖内,另一端伸至前端盖(3)外部,轴(1)和前端盖(3)之间设有密封机构;所述密封机构包括密封静环(6)和密封动环(7),所述密封动环(7)上套设有弹簧,密封动环(7)通过紧定螺钉固定在轴(1)上,其特征在于:
所述密封机构还包括冷却套管(4);与密封机构对应的转子(2)的轴向一端为套管台阶孔,使转子(2)与轴(1)之间有环形空腔;
所述冷却套管(4)为一端敞口另一端封闭的夹套管,所述夹套管的内管壁和外管壁之间的空腔为环状的冷却通道(9);冷却套管(4)的敞口端固定连接着前端盖(3)的轴向内端面,冷却套管(4)的封闭口端位于转子(2)的套管台阶孔内;
所述冷却通道(9)与前端盖(3)内的冷却腔(10)连通,冷却腔(10)内设有冷却介质,实现在轴和转子之间形成绝热层,阻挡温度沿着轴向密封静环(6)和密封动环(7)处传递;
与密封动环(7)对应的密封静环(6)的摩擦副表面(14)上均布开设有微孔(15),所述微孔(15)为盲孔,微孔(15)作为微储油池向摩擦副表面提供润滑油。
2.根据权利要求1所述的一种具有动密封结构的螺杆真空泵,其特征在于:与所述密封机构相邻的轴(1)的表面设有迷宫密封槽(...
【专利技术属性】
技术研发人员:王国栋,王庆生,陈宗武,李卓慧,祝敏,郭金光,郑志,陈长琦,
申请(专利权)人:合肥工业大学,山东伯仲真空设备股份有限公司,
类型:发明
国别省市:安徽;34
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