【技术实现步骤摘要】
本技术涉及石墨三瓣祸领域,特别是涉及一种石墨三瓣祸瓣体。
技术介绍
石墨三瓣祸是单晶炉内十分重要的热场部件,多晶硅原料放在高纯石英坩祸内,高纯石英坩祸放在石墨三瓣祸内,加热器在石墨三瓣祸外通过热辐射和热传递的方式加热多晶硅料。石英坩祸的熔点为1750°C,但当温度达到1200°C时,石英坩祸就软化,完全贴合在石墨三瓣祸上。所以石墨三瓣祸要承受石英坩祸及硅料的重力及硅料自转产生的离心力。这两个力的作用下会使石墨三瓣祸每瓣间产生一定的缝隙,在单晶炉内高温下,这个缝隙的石墨容易与硅蒸汽发生反应,生成SiC。由于SiC与石墨的热膨胀系数不一样,在反复使用热胀冷缩的情况下,SiC容易脱落,导致石墨三瓣祸每瓣的连接处厚度减薄,甚至出现断裂。拉晶时出现石墨三瓣祸断裂是很严重的事故,轻则产生墩祸,浪费石英坩祸、重新酸性多晶硅料和拉晶时间等成本,重则造成加热器打火、漏硅等损坏单晶热场石墨件的事故。因此,需要一种能防止三瓣祸断裂而掉落的三瓣祸瓣体。
技术实现思路
本技术的目的在于克服现有技术的不足,提供一种石墨三瓣祸瓣体,能提高石墨三瓣祸使用寿命和防止三瓣祸断裂而掉落。本技术的目的是通过以下技术方案来实现的:一种石墨三瓣祸瓣体,该石墨三瓣祸瓣体的上沿两端分别开设有盲孔。进一步的,所述盲孔直径为3?10mm,深度为8?25mm。进一步的,所述盲孔直径为Φ6ι?πι,深度为15mm。进一步的,所述盲孔内设螺纹。本技术的有益效果是:本技术中的石墨三瓣祸瓣体的上沿两端分别开设有一盲孔,该盲孔可用于通过螺栓和连接板连接两个相邻的石墨三瓣祸瓣体,用于防止石墨三瓣祸在外力作用下张开, ...
【技术保护点】
一种石墨三瓣埚瓣体,其特征在于:该石墨三瓣埚瓣体(1)的上沿两端分别开设有盲孔(2),所述盲孔(2)内设螺纹,将石墨螺栓插入盲孔(2)内,每两个三瓣埚的连接处用连接板套住石墨螺栓,所述连接件为石墨模套。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:朱刚,苏启晖,
申请(专利权)人:成都炭素有限责任公司,
类型:新型
国别省市:四川;51
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。