一种差动式并行光学层析显微测量装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种差动式并行光学层析显微测量装置及方法，属于光学显微成像及精密测量技术领域。本发明专利技术采用双CCD宽场差动探测方法，在单路CCD共轭准焦成像探测的基础上，引入非共轭离焦CCD成像探测支路，同步采集结构光照明移相像场，将近远离焦双路探测强度像场相减得到宽场差动探测像场分布，利用衍射光学和傅里叶光学理论建立差动强度场与样品表面高度的理论关联模型，通过强度与位移的线性校准曲线实现微结构三维形貌的宽场线层析测量。本发明专利技术可实现无轴向机械扫描、并行、立体层析快速检测，为微机械、微电子、微光学等微纳器件三维表面形貌或透明样品内部结构的非接触、高分辨率、快速层析成像及测量提供一个全新有效的测量途经。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种差动式并行光学层析显微测量装置，其特征在于，包括非相干光照明光源(1)、窄带滤光片(2)、一维透射光栅(4)、第一管镜(5)、分光镜(6)、显微物镜(7)、第二管镜(10)、分光镜(11)、第一CCD(12)和第二CCD(13)；其中，由非相干光照明光源(1)发出的光依次经过窄带滤光片(2)、一维透射光栅(4)、第一管镜(5)后，由分光镜(6)反射，经过显微物镜(7)聚焦于待测物体(8)表面，形成照明光路；待测物体(8)将照明光束反射，依次经过显微物镜(7)、分光镜(6)、第二管镜(10)和分光镜(11)后，照明光束分为两路，其中，一路光束聚焦于第一CCD(12)的近离焦平面处，另一路聚焦于第二CCD(13)的远离焦平面处，形成两路探测光路。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：刘涛，杨树明，王通，蒋庄德，赵楠，
申请(专利权)人：西安交通大学，
类型：发明
国别省市：陕西;61