一种破损时可自动报警的固定环制造技术

本发明专利技术公开了一种破损时可自动报警的固定环，包括整体呈薄片型圆环状且下表面开设有多个沟槽的固定环本体，固定环本体内嵌入安装有一环形细导线，环形细导线的两端连接有一电阻监测装置，电阻监测装置实时检测环形细导线的电阻信息，且与外部抛光机的电脑控制端相电连；或者，固定环本体内部镶嵌安装有多道环形导线，每一个环形导线的两端均接入有固定点电压，还分别连接有一电流信号监测装置，电流信号监测装置实时检测环形导线的电流信息，并与外部抛光机的电脑控制端相电连。其技术方案可实现发生破损时自动报警并触发抛光机自动停止转动，自动识别破损程度，方便快速对故障等级定位，有效降低因固定环的破裂带来的潜在风险和经济损失。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及晶圆表面平坦化的CMP工艺
，尤其涉及一种破损时可自动报警的固定环。
技术介绍
随着半导体制造技术的发展，集成电路的关键尺寸越来越小的同时，晶圆的尺寸越来越大，单片晶圆的价值也越来越高，因此，在晶圆的加工的化学机械平坦化过程中，固定环厚度对研磨速率及稳定性有很大影响。其中，固定环是晶圆制作中常用的设备部件，其主要作用为:固定晶圆，防止晶圆的研磨过程中出现滑片；使得晶圆边缘的压力可调，对晶圆边缘的研磨量可调；固定环的沟槽可引导研磨液的流进流出，使研磨液更均匀的接触晶圆。而在晶圆的加工过程中一旦发生破片，对工厂带来的经济损失也越来越大。而引发晶圆在加工过程中发生破片有诸多因素，抛光头上的固定环在抛光过程中发生破裂而引起晶圆的破片是其中的因素之一，如果不能及时发现并停止抛光机的运行，不仅会引起晶圆破片，甚至可能导致抛光头及抛光垫等其他部件的严重损坏，导致更高的经济损失。因此，通讯工业晶圆生产中需求一种发生破裂时可自动报警并触发抛光头和抛光盘自动停止转动的固定环，以降低因固定环的破裂带来的潜在风险和经济损失。鉴于上述缺陷，本专利技术创作者经过长时间的研究和实践终于获得了本创作。
技术实现思路
针对现有技术中存在的上述问题，现提供一种旨在能够在发生破裂时可自动报警并触发抛光头和抛光盘自动停止转动的固定环，用以克服上述技术缺陷。具体技术方案如下:—种破损时可自动报警的固定环，包括整体呈薄片型圆环状且下表面开设有多个沟槽的固定环本体，所述固定环本体内嵌入安装有一环形细导线，所述环形细导线的两端连接有一电阻监测装置，所述电阻监测装置实时检测所述环形细导线的电阻信息，且所述电阻检测装置与外部抛光机的电脑控制端相电连，所述电阻检测装置检测到的所述电阻信息实时传输至所述电脑控制端内；或者，所述固定环本体内部镶嵌安装有多道环形导线，每一个所述环形导线的两端均接入有固定点电压，且每一个所述环形导线还分别连接有一电流信号监测装置，所述电流信号监测装置实时检测环形导线的电流信息，并与所述外部抛光机的所述电脑控制端相电连，所述电流信号监测装置检测到的所述电流信息实时传输至所述电脑控制端内。每一个所述环形导线所在的平面平行于所述固定环本体上表面所在的平面。所述电阻监测装置还连接有一报警装置，且所述固定环本体发生破损时，所述电阻监测装置同时将发生变化的所述电阻信息传输至所述报警装置中，所述报警装置发出报警信息。所述环形细导线环形分布于圆环状的所述固定环本体内，且所述环形细导线所在的平面与所述固定环本体上表面所在的平面相平行。所述固定环本体内具有四条所述环形导线，且所述环形导线自下而上进行编号为1号、2号、3号、4号，所述电流信号出现异常的对应的所述环形导线编号越大，所述固定环本体的损坏程度越高。较佳的，四条所述环形导线等间距设置。较佳的，所述电流信号监测装置还连接有一报警器，且所述固定环本体发生破损时，所述电流信号监测装置同时将变化的所述电流信息传输至所述报警器中，所述报警器发出报警信息。较佳的，所述电流信号监测装置连接入所述环形导线的两端内。较佳的，所述报警装置为一声音警报器。较佳的，所述报警器为一声音警报器。上述技术方案的有益效果在于:(1)本专利技术通过向固定环本体内嵌入安装环形细导线或多条环形导线的方式，可实现当固定环本体发生破损时可自动报警并触发抛光头和抛光盘自动停止转动可有效的降低因固定环的破裂带来的潜在风险和经济损失；(2)多条环形导线的设置，使得还可以自动识别出固定环的破损程度，方便工程师更快速的对故障等级定位。【附图说明】图la为现有技术下固定环的立体示意图；图lb为现有技术下固定环的侧面示意图；图2a为本专利技术破损时可自动报警的固定环实施例一固定环本体的侧面视图；图2b为本专利技术破损时可自动报警的固定环实施例一的结构连接示意图；图3a为本专利技术破损时可自动报警的固定环实施例二固定环本体的侧面视图；图3b为本专利技术破损时可自动报警的固定环实施例二的结构连接示意图。【具体实施方式】以下，将会参照附图描述本专利技术的实施方式。在实施方式中，相同构造的部分使用相同的附图标记并且省略描述。参阅图la和图lb可知，现有技术下的固定环整体呈薄片型圆环状，且下表面开设有多个沟槽2，用以一方面固定晶圆，另一方面沟槽2可引导研磨液的流进流出，使得研磨液更均匀的接触晶圆。实施例一:参阅图2a，为本专利技术破损时可自动报警的固定环实施例一固定环本体的侧面视图；结合图2b，为本专利技术破损时可自动报警的固定环实施例一的结构连接示意图。如图中所示，本实施例与现有技术下的固定环相比，包括与现有技术相同结构功能的固定环本体1，即固定环本体1整体呈薄片型圆环状，且下表面开设有多个沟槽2 ;同时，所述固定环本体1内嵌入安装有环形细导线3，环形细导线3的两端连接有一电阻监测装置4，电阻监测装置4实时检测环形细导线3的电阻信息，且电阻检测装置与外部抛光机10的电脑控制端9相电连，其检测到的环形细导线3的电阻信息实时传输至电脑控制端9内。从而在固定环本体发生破损状况时，因环形细导线3的电阻发生变化，电阻监测装置4检测到电阻发生变化的信息并传输至电脑控制端9内，电脑控制端9控制调整抛光机10的运行状态至停止状态，同时电脑控制端9向工程师在电脑上或是网络相连的监控设备中发出报警信息。在一种优选的实施方式中，电阻监测装置4还连接有一报警装置7，当固定环本体1发生破损状况时，电阻监测装置4同时将变化的所述电阻信息(即所述固定环本体1的破损信息)传输至报警装置7中，报警装置7发出报警信息，通知工作人员固定环破状况，从而实现当固定环破裂时可自动报警并触发抛光头和抛光盘自动停止转动。且值得指出的是，在本实施例中，所述报警装置7为一声音警报器，当触发时发出声音警报。但所述报警信息也可以是闪光灯方式实现，且不局限于此。进一步的优选实施方式中，环形细导线3环形分布于圆环状的固定环本体1内，且环形细导线3所在的平面与固定环本体上表面所在的平面相平行。在上述技术方案中，通过在固定环本体1中嵌入安装环当前第1页1 2 本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种破损时可自动报警的固定环，包括整体呈薄片型圆环状且下表面开设有多个沟槽的固定环本体，其特征在于，所述固定环本体内嵌入安装有一环形细导线，所述环形细导线的两端连接有一电阻监测装置，所述电阻监测装置实时检测所述环形细导线的电阻信息，且所述电阻检测装置与外部抛光机的电脑控制端相电连，所述电阻检测装置检测到的所述电阻信息实时传输至所述电脑控制端内；或者，所述固定环本体内部镶嵌安装有多道环形导线，每一个所述环形导线的两端均接入有固定点电压，且每一个所述环形导线还分别连接有一电流信号监测装置，所述电流信号监测装置实时检测环形导线的电流信息，并与所述外部抛光机的所述电脑控制端相电连，所述电流信号监测装置检测到的所述电流信息实时传输至所述电脑控制端内。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：李虎，傅昶，张守龙，赵正元，
申请(专利权)人：上海华力微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31