一种用于真空阀的带有被压平的硫化密封的封闭件，尤其是阀盘，被构造用于借助与设置用于处理体积的真空阀口的合作来气密封闭该处理体积，具有对应于真空阀口的第二密封面的第一密封面(22)，其中第二密封面环绕该真空阀口(2)，并且具有对应于其走向被真空硫化到第一密封面(22)上且在第一密封面(22)的面法线方向上具有规定高度的密封材料(25’)，密封材料(25’)具有与密封材料横截面相关的规定形状，其包括尤其设置在处理体积侧的第一密封部(26)和尤其与该处理体积背对设置的第二密封部。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术设及一种用于气密封闭流路的真空阀的封闭件、相应的真空阀W及用于制 造运种封闭件的模具和方法。
技术介绍
通常，从现有技术的各种不同实施方式中公开了用于基本气密封闭延伸经过在阀 壳体内形成的开口的流路的真空阀。真空滑阀尤其应用在集成电路和半导体加工领域内， 所述加工必须在保护气氛下尽量没有污染颗粒地发生。例如在用于半导体晶圆或液晶基材 的加工设备中，高度敏感的半导体元件或液晶元件依次经过许多处理室，位于处理室中的 半导体元件在处理室内分别借助一个加工装置被加工。在处理室内的加工过程中W及在从 处理室之间的转运过程中，高度敏感的半导体元件都必须总是处于保护气氛下且尤其在真 空中。处理室例如通过连接通道相互连通，在运里，处理室可W借助真空滑阀被打开W便将 元件从一个处理室转移到下一个处理室并且随后被气密关闭W执行各自加工步骤。运样的 阀口因所述的应用领域而也被称为真空输送阀且因其矩形开口横截面而也被称为矩形滑 阀。 因为输送阀尤其应用在高度敏感的半导体元件制造中，故尤其须尽量少地保持由 阀口操作引起的颗粒产生和在阀口腔内的自由颗粒数量。颗粒产生主要是由例如金属-金 属接触和磨蚀所导致的摩擦造成的。 密封例如可W或是通过安置在封闭盘的闭合侧的密封实现，该密封被压到环绕开 口的阀座上，或是通过在阀座上的密封圈来实现，阀盘闭合侧被压到该阀座上。从现有技术 中例如从US6629682B2OXielli)中知道了不同的密封装置。适用于密封圈的材料例如是W 商品名巧份11磨已知的弹性密封材料。 对被用在真空阀中的密封的要求是很严格的。一方面，必须在阀口闭合状态下保 证阀口密封性。运尤其是因为在真空区内的高压差和进而出现的作用于阀口密封的大的力 而是一项严峻挑战。因为所用的密封在过度压紧时遇到高于平均的严重磨损或损坏，故必 须如此构成阀n，即压差力没有或只能有限地作用于密封。密封压紧应该沿其走向尽量相 同地进行，运需要阀盘的压紧力在整个接触区内均匀作用于阀座。尤其是尽量小地保持作 用于密封的横向负载和纵向负载。当沿密封纵向的横向有横向负载时，在0形密封圈情况 下有W下危险，即它被化出其支座尤其是固定它的槽。硫化的密封也会遇到很有限的横向 力。在阀口的打开状态和阀口闭合状态下，密封有时都遇到侵蚀性物质并因此须如此提供， 即密封能忍受所述作用和/或离开所述物质的流路W避免磨蚀。密封过度磨损是工艺安全 性的一个不安全因素并且需要定期更换该密封，运又导致工艺过程中的更长的停机时间。 真空阀的尤其是其密封和驱动技术的不同实施方式已由现有技术公开，现有技术 的目的尤其是延长所用密封的使用寿命W及改善的工艺安全性。 根据各自的驱动技术，尤其分为也被称为滑动闽口或矩形滑阀的滑阀和摆动 阀，在运里，在现有技术中的启闭大多分两步进行。在第一步中，使阀口封闭部件且尤 其是封闭盘或封闭件在例如由US6, 416, 037 (Geiser)或US6, 056, 266度lecha)所公 开的尤其是L型的滑阀情况下基本平行于阀座地线性移动到开口上方，或者在例如由 US6, 089, 537 (Olmsted)所公开的摆动阀情况下如已知的那样绕转轴摆动到开口上方，而此 时没有发生在封闭盘和阀壳体阀座之间的接触。在第二步中，将封闭盘的封闭侧压到阀壳 体的阀座上，从而将开口气密封闭。密封例如可W通过安置在封闭盘的封闭侧的被压到环 绕该开口的阀座上的密封件实现，或是通过阀座上的密封圈实现，封闭盘的封闭侧被压到 该阀座上。密封且尤其是密封圈可W在槽内被定位和/或硫化。 封闭部件在此首先被横向移动到开口上方而不会出现密封与阀座接触并且封闭 部件随即基本被垂直压到阀座上的所述两级运动除了可W精确调节流通量的可能性外尤 其有W下优点，即该密封几乎只被垂直压下，没有出现密封的横向载荷或纵向载荷。驱动具 有比较复杂的结构，它尤其或是由唯一的容许封闭部件的L形运动的驱动机构来构成，或 是由多个驱动机构例如两个线性驱动机构或一个线性驱动机构和一个展开驱动机构来构 成。大多直接安置在封闭盘后面的且相对于其所处的杆轴使它在垂直于阀座的方向上移动 的展开驱动机构在阀口内具有执行彼此相对运动的许多机械零部件。 制备线性调整移动的模形阀容许高许多的调节速度，但它们因为密封横向受力而 有时几乎不适用于真空区，即使用例，也仅能用几个调节周期。 该问题借助滑阀来解决，在运里，闭合密封过程虽然通过唯一的线性运动来实 现，但密封形状是运样的，将完全避免该密封的横向受力。运种阀口例如是瑞±化ag的 VATVakummventiIeAG公司的W商品名"M0N0VAT系列02和03"已知的且作为矩形 内镶阀构成的输送阀。运样的阀口的结构和功能原理例如在US4, 809, 950(Geiser)和 US4, 881，717 (Geiser)中有所描述。 那里所述的阀口在其阀壳体中具有密封面，密封面在阀口通流口的轴线方向上看 具有前后布置的多个部分，运些部分通过连续延伸的弯曲过渡至侧向朝外延伸的平坦的密 封面部分，在运里，该一体的但有多个部分的密封面的假想母线平行于阀口通流口的轴线。 该密封面被加工。封闭部件具有与之对应的用于周向完整闭合的密封的接触面。具体而言， 所谓的滑阀具有滑阀壳体和滑阀通流口，滑阀通流口能利用可在其平面内移动的封闭部件 被关闭。在滑阀通流口区域中设有密封面，在封闭部件的关闭位置上，安置于封闭部件上的 周向完整闭合的密封贴靠该密封面，其中该密封面的假想笔直母线平行于滑阀通流口的轴 线。该周向完整闭合的一体密封具有带有不同长度和/或形状的多个部分，运些部分处于 不同的平面中，在运里，该周向完整闭合的密封的了主体部分位于垂直于该滑阀通流口的 轴线且彼此间隔的多个平面内。该密封的两个主要部分通过侧部相连。该封闭部件相对于 壳体密封面的走向具有对应延伸的、装载该周向完整闭合的密封的表面。该周向完整闭合 的密封的所述侧部呈U形延伸。呈U形延伸的侧部的每个支腿处于一个平面内。在滑阀通 流口的轴向上前后布置的密封面部分为了密封主体部支承在其在此具有同一个笔直且轴 平行的母线的区域中而过渡到侧向朝外衍射内的平坦的密封面部分。所述平坦的密封面部 分处于相互平行且相对于滑阀通流口的轴线平行的平面内。 适用于运种可利用线性运动被关闭的输送阀的驱动装置在JP6241344度uriida 化uberuto)中被示出。那里描述的驱动装置具有偏屯、安置的用于线性移动推杆的杠杆，在 推杆上装有所述封闭部件。 运些用于设置或安置用于封闭件的密封的实施方式基本上与用于阀口封闭机构 的上述驱动技术无关。如上所述，运样的密封一般WO形圈形式在槽中实现或者为了获得 更好的耐久性而借助特殊模具被硫化到封闭件上。 为了密封的硫化而设有溢流缝隙，借此能排走多余的密封材料例如弹性体，并且 密封100可W根据由模具规定的形状来产生（见图la)。但是，通过溢流缝隙而流走的材料 IOUior留在了例如由侣或不诱钢制造的板巧110上并且必须在硫化后被机械去除。运种 去除目前大多借助在金属/密封材料过渡区内的修剪来实现并且导致了不仅去除了密封 材料，也去除了金属，就像在图化的区域101和101'中示出本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种用于真空阀的封闭件(20，20’，20”)，该封闭件尤其是阀盘，该封闭件被构造用于借助与设置成用于处理体积的真空阀口(2)的合作来气密封闭该处理体积，具有：·第一密封面(22)，该第一密封面尤其在形状和尺寸方面对应于所述真空阀口(2)的第二密封面，其中所述第二密封面环绕所述真空阀口(2)，和·密封材料(25，25’，37)，该密封材料对应于其走向被真空硫化到所述第一密封面(22)上且在所述第一密封面(22)的面法线方向上具有规定高度，其中所述密封材料(25，25’，37)具有关于所述密封材料的横截面的规定形状，该密封材料包括：□尤其设置在处理体积侧的第一密封部(26)，和□尤其与所述处理体积背对设置的第二密封部，其特征在于，·所述封闭件(20，20’，20”)具有压窝(24，24’，24”)，所述压窝与所述第一密封部(26)邻接并且具有压边(28，28’)，并且·所述压边(28，28’)如此成型且如此关于所述第一密封部(26)构成，即，通过所述第一密封部(26)的形状得到的且朝向所述压边(28，28’)结束的所述密封材料(25，25’，37)的表面走向基本均匀一致地，尤其呈线性地继续延伸。...
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：J·比斯特贝恩，
申请(专利权)人：VAT控股公司，
类型：发明
国别省市：瑞士;CH
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。