本发明专利技术公开了一种多阳极控制装置及具有该装置的电镀设备，搭配电性连接于基板一边的阴极连接件使用，多阳极控制装置包括：一阳极模块，包含彼此并排且之间相隔一间距的多数阳极网；以及分别电性连接于各阳极网的一供电控制模块，用以对各阳极网分别供电并分别产生所需的电流密度。以此，以使各阳极网所分别获得的电流密度，与基板不同位置所获得的阴极电彼此互补。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术关于一种电镀用阳极网，特别是指一种多阳极控制装置及具有该装置的电链设备。
技术介绍
关于基板的电镀，主要将阴极电经由夹具电性连接于基板的一侧边，再于基板的正面和背面分别配设有阳极网，以利用带有阳极电的阳极网对已带有阴极电的基板进行电镀。惟，由于阴极电仅电性连接于基板的一侧边，导致基板愈远离夹具所夹的位置，所获得的阴极电愈小。因此而在电镀时，让基板的电镀厚度不均匀，也就是:基板愈远离夹具所夹位置的电镀厚度愈薄，影响基板的导电性，早为人所垢病已久。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种具有多阳极控制装置及具有该装置的电镀设备，能使各阳极网所分别获得的电流密度，与基板不同位置所分别获得的阴极电彼此互补，从而对基板进行均匀电镀。为了达到上述目的，本专利技术提供了一种多阳极控制装置，搭配一阴极连接件使用，所述阴极连接件电性连接于基板的一边，该多阳极控制装置包括: 一阳极模块，包含彼此并排且之间相隔一间距的多数个阳极网；以及一供电控制模块，分别电性连接于各该阳极网，该供电控制模块对各该阳极网分别供电，以在各该阳极网分别产生所需的电流密度。2、如权利要求1所述的多阳极控制装置，其特征在于，其中该阳极模块具有对应于所述阴极连接件的一第一边和相对于该第一边的一第二边，该阳极模块从该第一边到该第二边定义为一第一方向，各该阳极网依该第一方向彼此间隔并排。进一步地，其中各该阳极网所产生的该电流密度的大小与各该阳极网距离该第一边的长度成正比。进一步地，其中该间距为直线、斜线、锯齿弯折线、圆弧弯折线或圆弧线。进一步地，其中各该阳极网开设有多数个电镀液输出孔。进一步地，其中各该阳极网具有彼此相同的面积。进一步地，其中该供电控制模块为一整流器，该整流器具有多数个电力输出部，各该电力输出部分别电性连接于各该阳极网。进一步地，其中该供电控制模块具有多数个整流器，各该整流器分别电性连接于各该阳极网。进一步地，进一步包括一绝缘架体，该阳极模块配设于该绝缘架体。进一步地，其中该绝缘架体包含一框架和跨接于该框架内的多数个肋条，该阳极模块架设于该框架内，各该肋条对应任相邻二个该阳极网之间的该间距位置固定该阳极模块。进一步地，进一步包括一电镀液输送结构，该电镀液输送结构包含一分流管和多数个输送管，该分流管连接于该绝缘架体，该分流管具有一入口和多数个出口，各该输送管则分别连接于各该出口与该绝缘架体之间，各该输送管还具有多数个电镀液输出部，各该电镀液输出部伸出于该阳极模块。进一步地，其中各该阳极网开设有多数个电镀液输出孔，该电镀液输送结构的各该电镀液输出部分别对应该阳极模块的各该电镀液输出孔伸出。本专利技术还提供一种具有多阳极控制装置的电镀设备，用以电镀基板，该电镀设备包括: 一本体，定义有用以输送所述基板的一第二方向； 一对输送滚轮组，于该本体呈上下相对配设，所述基板则于一对该输送滚轮组之间沿该第二方向输送； 一阴极连接组，配设于该本体，该阴极连接组具有多数个阴极连接件，各该阴极连接件电性连接于所述基板的一边；以及 一对多阳极控制装置，于该本体呈上下相对配设，各该多阳极控制装置通过各该输送滚轮组分别面向所述基板的两面，各该多阳极控制装置包含:一阳极模块和一供电控制模块； 该阳极模块，包含彼此并排且之间相隔一间距的多数个阳极网； 该供电控制模块，分别电性连接于各该阳极网，该供电控制模块对各该阳极网分别供电，以在各该阳极网分别产生所需的电流密度。进一步地，其中该阳极模块具有对应于所述阴极连接件的一第一边和相对于该第一边的一第二边，该阳极模块从该第一边到该第二边定义为一第一方向，各该阳极网依该第一方向彼此间隔并排。进一步地，其中各该阳极网所产生的该电流密度的大小与各该阳极网距离该第一边的长度成正比。进一步地，其中该阳极模块中的任相邻二个该阳极网之间的该间距对应该阳极模块所呈现的线形形状，与该第二方向之间形成有一夹角。进一步地，其中该夹角的角度为大于15度且小于75度。相较于先前技术，本专利技术具有以下功效:能使各阳极网所分别获得的电流密度，与基板不同位置所分别获得的阴极电彼此互补，从而对基板进行均匀电镀。【附图说明】图1为本专利技术中的阳极模块第一实施例的立体图。图2为本专利技术中的阳极模块第二实施例的俯视图。图3为本专利技术中的阳极模块第三实施例的俯视图。图4为本专利技术中的阳极模块第四实施例的俯视图。图5为本专利技术多阳极控制装置的部分立体图(不含电镀液输送结构)。图6为本专利技术多阳极控制装置的部分立体图(包含电镀液输送结构)。图7为本专利技术多阳极控制装置中的供电控制模块的供电方式示意图。图8为本专利技术电镀设备的剖视图。图9至图21分别为本专利技术中的阳极模块第五至十七实施例的俯视图。图中，100…多阳极控制装置 1…阳极模块 la…第一边 lb…第二边 11…阳极网 111…电镀液输出孔 2…供电控制模块 21…电力输出部 22…整流器 3…绝缘架体 31…框架 311…定位肋 32…肋条 4…电镀液输送结构 41…分流管 411…入口 412…出口 42…输送管 421…电镀液输出部 500…基板 600…本体 700…输送滚轮组 800…阴极连接组 8…阴极连接件 A…夹角 D1…第一方向 D2…第二方向 S1、S2、S3、S4、S5…间距。【具体实施方式】下面结合附图和具体实施例对本专利技术作进一步说明，以使本领域的技术人员可以更好的理解本专利技术并能予以实施，但所举实施例不作为对本专利技术的限定。有关本专利技术的详细说明和
技术实现思路
，配合图式说明如下，然而所附图式仅提供参考与说明用，非用以限制本专利技术。本专利技术提供一种具有多阳极控制装置的电镀设备，如图8所示，电镀设备用以对一基板500进行电镀，电镀设备包括一阴极连接组800以及一对多阳极控制装置100。阴极连接组800具有用以电性连接于基板500 —边的多数阴极连接件8。多阳极控制装置100则包括有一阳极模块1以及一供电控制模块2。如图1所示，为阳极模块1第一实施例的立体图。阳极模块1具有对应于阴极连接件8 (参图8)的一第一边la以及相对于第一边la的一第二边lb。从阳极模块1的第一边la到第二边lb定义为一第一方向D1。阳极模块1则包含有依第一方向D1间隔并排且分别开设有多数电镀液输出孔111的多数阳极网11。各阳极网11之间相隔有一间距，各间距可为如图1所示的斜线形状的间距S1 (阳极模块1的第一实施例)、如图2所示的直线形状的间距S2 (阳极模块1的第二实施例)、如图3所示的圆弧线形状的间距S3 (阳极模块1的第三实施例)或如图4所示的锯齿弯折线形状的间距S4(阳极模块1的第四实施例)，本专利技术并未限定。电镀设备用以输送基板500的方向定义为一第二方向D2 (参考图2和图8所示)。前述第二实施例的各阳极网11之间呈直线形状的间距S2若与第二方向D2平行(图中未示)，将会在基板500上形成一条未电镀的线；为了避免此等情况发生，如图2所示，因此必须斜置第二实施例的阳极模块1，使阳极模块1中的任相邻二阳极网11之间的间距S2，对应阳极模块1所呈现的线形形状与第二方向D2之间形成一夹角A，夹角A的角度为大于15度且小于75度，本专利技术并未限制，如此一来就能避本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种多阳极控制装置，搭配一阴极连接件使用，所述阴极连接件电性连接于基板的一边，其特征在于，该多阳极控制装置包括：一阳极模块，包含彼此并排且之间相隔一间距的多数个阳极网；以及一供电控制模块，分别电性连接于各该阳极网，该供电控制模块对各该阳极网分别供电，以在各该阳极网分别产生所需的电流密度。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：周庆松，郭富强，乐涛，陈良，韩小风，李玟澄，
申请(专利权)人：亚智科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾;71
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