本发明专利技术的目的在于开发一种正型感光性树脂组合物，所述正型感光性树脂组合物无损于高折射率、高透明性的特性，于室温进行长期保存后，在曝光时仍然具有高灵敏度，且形成图案后的分辨性、耐溶剂性优异。本发明专利技术为一种正型感光性树脂组合物，其特征在于，包含：聚硅氧烷，其是通过将特定的有机硅烷和具有羧基及/或二羧酸酐结构的有机硅烷水解并使其部分缩合而合成的；(d)选自铝化合物、锡化合物、钛化合物及锆化合物中的1种以上的金属化合物的粒子，或者选自铝化合物、锡化合物、钛化合物及锆化合物中的1种以上的金属化合物与硅化合物的复合粒子；(b)萘醌二叠氮化合物；以及(c)溶剂。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种正型感光性树脂组合物，所述正型感光性树脂组合物适于制作 形成于要求高透明性和高折射率的固态图像传感器（solid state image sensor)等中 的聚光用微透镜（microlens)、白色（透明）滤色器、连接光传感器部的光波导（optical waveguide)，且用紫外-可见光线进行曝光后的部分溶解在碱性水溶液中。
技术介绍
近年来，随着数码相机、带有相机功能的移动电话等的快速发展，要求固态图像传 感器的小型化、高像素化。由于固态图像传感器的小型化会导致灵敏度降低，所以通过在 光传感器部与滤色器部之间、在滤色器部的上部配置聚光用微透镜，在滤色器部形成白色 (透明）滤色器，或者在光传感器部与滤色器部之间形成光波导，来有效地聚集光线，防止 设备灵敏度的降低。作为上述聚光用微透镜、白色（透明）滤色器或光波导的通常的制作 方法，可举出通过干蚀刻对利用CVD法等形成的无机膜进行加工的方法、对树脂进行涂布 并加工的方法。由于前者方法难以得到对于聚光用微透镜、白色（透明）滤色器或光波导 而言最佳的1. 65~2. 00的折射率，所以目前后者方法备受关注。即，要求高折射率的树脂 组合物。 迄今为止，例如，提出了含有聚硅氧烷、醌二叠氮化合物、溶剂及热交联性化合物 的感光性硅氧烷组合物（例如，参见专利文献1);和由包含具有芳香族烃基的硅氧烷化合 物的组合物得到的高折射率材料（例如，参见专利文献2)。但是，这些材料难以得到具有足 够高的折射率的固化膜。 此外，提出了含有聚酰胺酸、具有酚式羟基的化合物、醌二叠氮化合物及无机粒子 的正型感光性树脂组合物（例如，专利文献3);和具有酚单元的倍半硅氧烷和具有稠合多 环式烃基的有机硅（silicone)共聚物（例如，参见专利文献4)。但是，由于聚酰胺酸或酚 式羟基会着色，所以存在透明性降低的问题。 作为同时实现高折射率和高透明性的材料，公开了含有有机硅烷、硅氧烷寡聚物 及金属氧化物的微粒及/或溶胶的涂布组合物（例如，参见专利文献5);和将金属氧化物 粒子和烷氧基硅烷共聚而得的硅氧烷系树脂组合物（例如，参见专利文献6)。由于这些材 料为非感光性，所以在形成图案时，通常利用使用了药液的湿蚀刻法或使用等离子体的干 蚀刻法进行加工。 此外，提出了基于正型感光性的、具有高折射率和高透明性的硅氧烷系树脂组合 物（例如，参见专利文献7)。 专利文献1 :日本特开2006-293337号公报 专利文献2 :日本特开2008-24832号公报 专利文献3 :日本特开2003-75997号公报 专利文献4 :日本特开2006-312717号公报 专利文献5 :日本特开2001-81404号公报 专利文献6 :日本特开2007-246877号公报 专利文献7 :国际公开第2011/040248号
技术实现思路
对于现有的同时实现了高折射率和高透明性的专利文献5、专利文献6的材料，由 于在为非感光性时必须利用蚀刻法形成图案，所以操作工序繁杂，不仅如此，还存在蚀刻时 的药液、等离子体导致布线部劣化的问题。因此，本申请的专利技术人们对感光性材料进行了研 究。但是，专利文献7的材料于室温长期保存后不能将曝光时的灵敏度、分辨率保持在高水 平。此外，在200~220Γ的低温固化时，固化膜不具有耐溶剂性，高的固化温度是必需的。 即，生产率存在问题。本专利技术的目的在于开发一种正型感光性树脂组合物，所述正型感光 性树脂组合物无损于高折射率、高透明性的特性，即使于室温进行长期保存后，在曝光时仍 然保持高灵敏度、高分辨率，并且，即使进行低温固化，形成图案后的分辨性、耐溶剂性也优 异。 为了解决上述课题，本专利技术具有以下构成。即，一种正型感光性树脂组合物，其特 征在于，包含：(a)聚硅氧烷，其是通过将下述通式（1)表示的有机硅烷和具有羧基及/或 二羧酸酐结构的有机硅烷水解并使其部分缩合而合成的；(d)选自铝化合物、锡化合物、钛 化合物及锆化合物中的1种以上的金属化合物的粒子，或者选自铝化合物、锡化合物、钛化 合物及锆化合物中的1种以上的金属化合物与硅化合物的复合粒子；(b)萘醌二叠氮化合 物；以及（c)溶剂。 (上述通式（1)中，R1表示氢、碳原子数为1~10的烷基、碳原子数为2~10的链 烯基或碳原子数为6~16的芳基。R2表示氢、碳原子数为1~6的烷基、碳原子数为2~ 6的酰基或碳原子数为6~16的芳基。η表示0~3的整数。η为2以上时，多个R1可以 分别相同也可以不同。此外，η为2以下时，多个R2可以分别相同也可以不同。） 或者，一种正型感光性树脂组合物，其特征在于，包含（a'）含有含金属化合物的 粒子的聚硅氧烷，其是通过在选自铝化合物、锡化合物、钛化合物及锆化合物中的1种以上 的金属化合物的粒子的存在下，或者在选自铝化合物、锡化合物、钛化合物及锆化合物中的 1种以上的金属化合物与硅化合物的复合粒子的存在下，将下述通式（1)表示的有机硅烷 和具有羧基及/或二羧酸酐结构的有机硅烷水解并使其部分缩合而合成的；(b)萘醌二叠 氮化合物；以及（c)溶剂。(上述通式⑴中，R1表示氢、碳原子数为1~10的烷基、碳原子数为2~10的链 烯基或碳原子数为6~16的芳基。R2表示氢、碳原子数为1~6的烷基、碳原子数为2~ 6的酰基或碳原子数为6~16的芳基。η表示0~3的整数。η为2以上时，多个R1可以 分别相同也可以不同。此外，η为2以下时，多个R2可以分别相同也可以不同。） 根据本专利技术的感光性组合物，可提供一种正型感光性组合物，所述正型感光性组 合物无损于高折射率、高透明性的特性，即使于室温长期保存后，在曝光时仍具有高灵敏 度，并且，即使进行低温固化，也能够得到形成图案后的分辨性、耐溶剂性优异的固化膜。【具体实施方式】 本专利技术的感光性组合物是一种正型感光性树脂组合物，其特征在于，包含：(a)聚 硅氧烷，其是通过将下述通式（1)表示的有机硅烷和具有羧基及/或二羧酸酐结构的有机 硅烷水解并使其部分缩合而合成的；（d)选自铝化合物、锡化合物、钛化合物及锆化合物中 的1种以上的金属化合物的粒子，或者选自铝化合物、锡化合物、钛化合物及锆化合物中的 1种以上的金属化合物与硅化合物的复合粒子；(b)萘醌二叠氮化合物；以及（c)溶剂。 (上述通式⑴中，R1表示氢、碳原子数为1~10的烷基、碳原子数为2~10的链 烯基或碳原子数为6~16的芳基。R2表示氢、碳原子数为1~6的烷基、碳原子数为2~ 6的酰基或碳原子数为6~16的芳基。η表示0~3的整数。η为2以上时，多个R1可以 分别相同也可以不同。此外，η为2以下时，多个R2可以分别相同也可以不同。） 或者，本专利技术的感光性组合物是一种正型感光性树脂组合物，其特征在于，包含： (a'）含有含金属化合物的粒子的聚硅氧烷，其是通过在选自铝化合物、锡化合物、钛化合物 及锆化合物中的1种以上的金属化合物的粒子的存在下，或者在选自铝化合物、锡化合物、 钛化合物及锆化合物中的1种以上的金属化合物与硅化合物的复合粒子的存在下，将下述 通式（1)表示的有机硅烷和具有羧基及/或二羧酸酐结构的有机硅烷水解并使其部分缩合 而合成的；(b)萘醌二叠氮化合物；以及（c)溶剂。 上本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种正型感光性树脂组合物，其特征在于，包含：(a)聚硅氧烷，其是通过将下述通式(1)表示的有机硅烷和具有羧基及/或二羧酸酐结构的有机硅烷水解并使其部分缩合而合成的；(d)选自铝化合物、锡化合物、钛化合物及锆化合物中的1种以上的金属化合物的粒子，或者选自铝化合物、锡化合物、钛化合物及锆化合物中的1种以上的金属化合物与硅化合物的复合粒子；(b)萘醌二叠氮化合物；以及(c)溶剂，上述通式(1)中，R1表示氢、碳原子数为1～10的烷基、碳原子数为2～10的链烯基或碳原子数为6～16的芳基；R2表示氢、碳原子数为1～6的烷基、碳原子数为2～6的酰基或碳原子数为6～16的芳基；n表示0～3的整数；n为2以上时，多个R1可以分别相同也可以不同；此外，n为2以下时，多个R2可以分别相同也可以不同。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：内田圭一，鸭川政雄，诹访充史，谷口千香，
申请(专利权)人：东丽株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP
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