用于离子源的灯丝夹持装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种用于离子源的灯丝夹持装置，包括放电室、灯丝杆和绝缘座，所述绝缘座套设于灯丝杆上，所述绝缘座将灯丝杆固定安装于放电室上，且随灯丝杆伸入放电室内，所述灯丝杆穿过放电室，且一端安装灯丝，所述灯丝杆上靠近灯丝的一端套设利于灯丝紧固夹持的绝缘防护套，所述防护套与绝缘座的端面抵接，且伸入放电室的外周遮挡于绝缘座的前方。本发明专利技术的灯丝夹持装置，其防护套套设于灯丝上，既有利于灯丝紧固夹持，又与绝缘座抵接，将灯丝杆与放电室绝缘隔开，使得灯丝杆引入电压时，灯丝与放电室之间绝缘，再者，防护套伸入放电室的外周遮挡于绝缘座的前方，避免绝缘座直接暴露于放电室内，减少绝缘污染，减少离子源的维护周期。

【技术实现步骤摘要】
用于离子源的灯丝夹持装置
本专利技术涉及离子束刻蚀
，尤其涉及一种用于离子源的灯丝夹持装置。
技术介绍
离子束刻蚀是纯物理刻蚀工艺，在常规刻蚀方法中具有分辨率最高、陡直性最好的特点，且可以对绝大部分材料进行刻蚀，在微电子工艺中应用日趋广泛。通常地，离子束刻蚀机离子源中放电灯丝采用螺母将灯丝固定在灯丝杆上，灯丝杆通过绝缘件固定在放电室上，绝缘件直接暴露在放电室内，此结构存在如下不足：(1)绝缘陶瓷件易污染从而造成灯丝与放电室之间短路；(2)灯丝采用螺母夹持的方式固定安装不便，且位置易改变，安装的灯丝发生改变，最终改变了离子源性能的一致性。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供一种绝缘性好、能减少绝缘污染，且减少离子源维护周期的用于离子源的灯丝夹持装置。为解决上述技术问题，本专利技术采用以下技术方案：一种用于离子源的灯丝夹持装置，包括放电室、灯丝杆和绝缘座，所述绝缘座套设于灯丝杆上，所述绝缘座将灯丝杆固定安装于放电室上，且随灯丝杆伸入放电室内，所述灯丝杆穿过放电室，且一端安装灯丝，所述灯丝杆上靠近灯丝的一端套设利于灯丝紧固夹持的绝缘防护套，所述防护套与绝缘座的端面抵接，且伸入放电室的外周遮挡于绝缘座的前方。作为上述技术方案的进一步改进：所述绝缘座伸入放电室的外周上开设至少一个用于减少绝缘污染的迷宫槽，所述防护套遮挡于迷宫槽的前方。所述迷宫槽为环形槽或螺旋形槽，所述迷宫槽的轴线与灯丝杆的轴线相同。所述灯丝杆沿径向开设一安装灯丝的夹持孔，沿轴向开设一将夹持孔一分为二的通槽，所述通槽延伸至放电室内，所述防护套套设于通槽外以将灯丝夹紧于夹持孔内。所述防护套远离绝缘座的一端内部设有大端朝外的第一锥形面，所述灯丝杆的外周设有与第一锥形面配合的第二锥形面，所述第一锥形面的锥度小于第二锥形面的锥度。所述灯丝杆远离灯丝的另一端穿过绝缘座伸出，伸出端设有螺纹，伸出端上套设利于第二锥形面远离或靠近第一锥形面的调节件。所述调节件包括弹性件和锁紧螺母，所述弹性件设于绝缘座与锁紧螺母之间，当锁紧螺母压缩弹性件紧抵于绝缘座上时，第二锥形面靠近第一锥形面且与第一锥形面紧密配合以实现灯丝夹紧。所述绝缘座为倒T形结构，倒T形的大端面位于放电室的外壁上并通过安装孔和螺栓配合紧固放电室上，小端面伸入放电室内。所述防护套为与灯丝杆、绝缘座均同轴设置的阶梯形套筒，所述阶梯形套筒大端朝下，所述阶梯形套筒的阶梯内孔与绝缘座的端面抵接，大端的筒壁遮挡于绝缘座的前方，小端的筒壁靠近灯丝。与现有技术相比，本专利技术的优点在于：本专利技术用于离子源的灯丝夹持装置，其防护套套设于灯丝上，既有利于灯丝紧固夹持，又与绝缘座抵接，将灯丝杆与放电室绝缘隔开，使得灯丝杆引入电压时，灯丝与放电室之间绝缘，再者，防护套伸入放电室的外周遮挡于绝缘座的前方，避免绝缘座直接暴露于放电室内，减少绝缘污染，减少离子源的维护周期。附图说明图1是本专利技术用于离子源的灯丝夹持装置的结构示意图。图2是本专利技术的绝缘座的结构示意图。图3是本专利技术的灯丝杆的结构示意图。图中各标号表示：1、放电室；2、灯丝杆；3、绝缘座；4、防护套；5、夹持孔；6、调节件；10、灯丝；21、第二锥形面；30、迷宫槽；41、第一锥形面；50、通槽；61、弹性件；62、锁紧螺母。具体实施方式以下结合说明书附图和具体实施例对本专利技术作进一步详细说明。图1至图3示出了本专利技术用于离子源的灯丝夹持装置的一种实施例，包括放电室1、灯丝杆2和绝缘座3，绝缘座3套设于灯丝杆2上，绝缘座3将灯丝杆2固定安装于放电室1上，且随灯丝杆2伸入放电室1内，灯丝杆2穿过放电室1，且一端安装灯丝10，灯丝杆2上靠近灯丝10的一端套设利于灯丝10紧固夹持的绝缘防护套4，防护套4与绝缘座3的端面抵接，且伸入放电室1的外周遮挡于绝缘座3的前方。本专利技术的灯丝夹持装置，此防护套4套设于灯丝10上，既有利于灯丝10紧固夹持，又与绝缘座3抵接，将灯丝杆2与放电室1绝缘隔开，使得灯丝杆2引入电压时，灯丝10与放电室1之间绝缘，再者，防护套4伸入放电室1的外周遮挡于绝缘座3的前方，避免绝缘座3直接暴露于放电室1内，减少绝缘污染，减少离子源的维护周期。本实施例中，绝缘座3伸入放电室1的外周上开设至少一个用于减少绝缘污染的迷宫槽30，防护套4遮挡于迷宫槽30的前方。此迷宫槽30可实现对绝缘座3的保护，减少放电室1内绝缘座3的污染，延长绝缘座3的使用时间，减少对离子源的维护。本实施例中，迷宫槽30为环形槽或螺旋形槽，迷宫槽30的轴线与灯丝杆2的轴线相同，多个环形的迷宫槽30沿轴线间隔布置。此结构的迷宫槽30能更好地、均匀地减少绝缘座3的污染。本实施例中，灯丝杆2沿径向开设一安装灯丝10的夹持孔5，沿轴向开设一将夹持孔5一分为二的通槽50，此通槽50延伸至放电室1内，防护套4套设于通槽50外以将灯丝10夹紧于夹持孔5内。采用夹持孔5安装灯丝10，位置不易改变，维持了离子源性能的一致性。在夹持孔5内安装或拆卸灯丝10时，此通槽50起到空间缓冲调节的作用，方便拆装。本实施例中，防护套4远离绝缘座3的一端内部设有大端朝外的第一锥形面41，灯丝杆2的外周设有与第一锥形面41配合的第二锥形面21，第一锥形面41的锥度小于第二锥形面21的锥度，便于自锁。防护套4通过锥面配合紧固安装于灯丝杆2时，也使得一分为二的夹持孔5与灯丝10紧贴夹紧。本实施例中，灯丝杆2远离灯丝10的另一端穿过绝缘座3伸出，伸出端设有螺纹，伸出端上套设利于第二锥形面21远离或靠近第一锥形面41的调节件6。通过调节件6来调节灯丝杆2的第二锥形面21与防护套4的第一锥形面41的锥面配合，来进一步的调节夹持孔5内灯丝10的紧固安装，提高灯丝10的位置安装精度，维持离子源性能的一致性。本实施例中，调节件6包括弹性件61和锁紧螺母62，弹性件61设于绝缘座3与锁紧螺母62之间，当锁紧螺母62压缩弹性件61紧抵于绝缘座3上时，第二锥形面21靠近第一锥形面41且与第一锥形面41紧密配合以实现灯丝10夹紧。本实施例中，此弹性件61为弹簧。安装时，拧紧锁紧螺母62，压缩弹性件61，灯丝杆2向下运动，使得灯丝杆2的第二锥形面21靠近并紧帖于防护套4的第一锥形面41，从而夹紧灯丝10。更换灯丝10时，拧松锁紧螺母62，将灯丝杆2向上提起直至第二锥形面21与第一锥形面41脱离，松开夹持孔5内的灯丝10。本实施例中，绝缘座3为倒T形结构，倒T形的大端面位于放电室1的外壁上并通过安装孔和螺栓配合紧固于放电室1上，小端面伸入放电室1内。本实施例中，防护套4为与灯丝杆2、绝缘座3均同轴设置的阶梯形套筒，阶梯形套筒大端朝下，阶梯形套筒的阶梯内孔与绝缘座3的端面抵接，大端的筒壁遮挡于绝缘座3的前方，小端的筒壁靠近灯丝10。虽然本专利技术已以较佳实施例揭露如上，然而并非用以限定本专利技术。任何熟悉本领域的技术人员，在不脱离本专利技术技术方案范围的情况下，都可利用上述揭示的
技术实现思路
对本专利技术技术方案做出许多可能的变动和修饰，或修改为等同变化的等效实施例。因此，凡是未脱离本专利技术技术方案的内容，依据本专利技术技术实质对以上实施例所做的任何简单修改、等同变化及修饰，均应落在本专利技术技术方案保护的范围内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于离子源的灯丝夹持装置，包括放电室(1)、灯丝杆(2)和绝缘座(3)，所述绝缘座(3)套设于灯丝杆(2)上，其特征在于：所述绝缘座(3)将灯丝杆(2)固定安装于放电室(1)上，且随灯丝杆(2)伸入放电室(1)内，所述灯丝杆(2)穿过放电室(1)，且一端安装灯丝(10)，所述灯丝杆(2)上靠近灯丝(10)的一端套设利于灯丝(10)紧固夹持的绝缘防护套(4)，所述防护套(4)与绝缘座(3)的端面抵接，且伸入放电室(1)的外周遮挡于绝缘座(3)的前方。

【技术特征摘要】
1.一种用于离子源的灯丝夹持装置，包括放电室（1）、灯丝杆（2）和绝缘座（3），所述绝缘座（3）套设于灯丝杆（2）上，其特征在于：所述绝缘座（3）将灯丝杆（2）固定安装于放电室（1）上以将灯丝杆（2）与放电室（1）绝缘隔离，且随灯丝杆（2）伸入放电室（1）内，所述灯丝杆（2）穿过放电室（1），且位于放电室（1）内的一端安装灯丝（10），所述灯丝杆（2）上靠近灯丝（10）的一端套设利于灯丝（10）紧固夹持的绝缘防护套（4），所述防护套（4）与绝缘座（3）的端面抵接，且伸入放电室（1）的外周遮挡于绝缘座（3）的前方。2.根据权利要求1所述的用于离子源的灯丝夹持装置，其特征在于：所述绝缘座（3）伸入放电室（1）的外周上开设至少一个用于减少绝缘污染的迷宫槽（30），所述防护套（4）遮挡于迷宫槽（30）的前方。3.根据权利要求2所述的用于离子源的灯丝夹持装置，其特征在于：所述迷宫槽（30）为环形槽或螺旋形槽，所述迷宫槽（30）的轴线与灯丝杆（2）的轴线相同。4.根据权利要求1至3中任意一项所述的用于离子源的灯丝夹持装置，其特征在于：所述灯丝杆（2）沿径向开设一安装灯丝（10）的夹持孔（5），沿轴向开设一将夹持孔（5）一分为二的通槽（50），所述通槽（50）延伸至放电室（1）内，所述防护套（4）套设于通槽（50）外以将灯丝（10）夹紧于夹持孔（5）内。5.根据权利要求4所述的用于离子源的灯丝夹持装置，其特征在于：...

【专利技术属性】
技术研发人员：佘鹏程，彭立波，陈庆广，胡凡，
申请(专利权)人：中国电子科技集团公司第四十八研究所，
类型：发明
国别省市：湖南;43