本实用新型专利技术公开了一种金属掩模板切割设备，其包括：机台、绷网组件、掩模板载台、运动导轨，还包括激光斜切装置，所述激光斜切装置上倾斜设置有可绕一平行于Z轴导轨的轴线进行旋转的激光切割头，所述激光斜切装置直接或间接安装在所述Z轴导轨上，可随Z轴导轨在X轴导轨、Y轴导轨上进行X、Y轴向的运动，也可以在Z轴导轨上做Z轴方向的运动，所述激光斜切装置可对绷拉在所述绷网组件上的金属掩模板进行切割，形成掩模开口，本实用新型专利技术提供的金属掩模板切割设备能够切割出开口侧壁为倾斜面的掩模板，所述掩模板的开口截面为梯形结构，其能够避免掩模板在蒸镀沉积有机材料时产生蒸镀效应。
【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本技术公开了一种金属掩模板切割设备，其包括：机台、绷网组件、掩模板载台、运动导轨，还包括激光斜切装置，所述激光斜切装置上倾斜设置有可绕一平行于Z轴导轨的轴线进行旋转的激光切割头，所述激光斜切装置直接或间接安装在所述Z轴导轨上，可随Z轴导轨在X轴导轨、Y轴导轨上进行X、Y轴向的运动，也可以在Z轴导轨上做Z轴方向的运动，所述激光斜切装置可对绷拉在所述绷网组件上的金属掩模板进行切割，形成掩模开口，本技术提供的金属掩模板切割设备能够切割出开口侧壁为倾斜面的掩模板，所述掩模板的开口截面为梯形结构，其能够避免掩模板在蒸镀沉积有机材料时产生蒸镀效应。【专利说明】一种金属掩模板切割设备
本技术属于激光切割领域，具体涉及一种金属掩模板切割设备。
技术介绍
有机发光显示器(Organic Light-Emitting D1de,简称0LED)是下一代的显示技术，与目前使用的液晶显示器(Liquid Crystal Display，简称IXD)显示技术相比,具有可视角大，色彩艳丽，功耗低等优点，会逐渐替代目前主流的液晶显示技术。 在OLED显示器面板的制作过程中，其中有机层的沉积会使用到掩模板，图1所示为采用掩模板蒸镀有机材料的示意图。掩模板10由于比较薄，在蒸镀前会通过相关工艺固定在掩模外框11上，图2所示为掩模板固定在掩模外框11上的平面示意图。蒸镀时，掩模板10借助掩模外框11固定在支撑台12上，蒸镀源13中的有机材料通过蒸发扩散至掩模板10下方，掩模板10上在一定的位置设置有开口 100，有机材料通过开口 100沉积在沉积基板14上对应的位置处，形成有机沉积层。 在技术要求上，有机沉积层的沉积质量对后期产品质量有非常大的影响，故在蒸镀沉积过程中对沉积基板14上沉积区域的边缘精度及均匀性要求非常高。为了能够实现有机材料很好的蒸镀到沉积基板14上，必须减少掩模板开口边缘对有机沉积层的影响，即减少如图3所示的蒸镀效应(由于掩模板开口边缘对有机材料130沉积的遮挡影响，导致有机沉积层131边缘厚度不均匀)，掩模板的开口截面往往设计成图4所示的“凹形”结构，该“凹形”结构一般是通过化学蚀刻工艺制得，然而基于蚀刻工艺的掩模板制作技术会对环境带来污染。 基于此，业界希望采用环境友好的工艺制作掩模板，以期在不损害环境的前提下制作能够满足OLED有机层沉积用的掩模板，通过激光切割工艺制作掩模板具有环境友好的优点，但传统激光设备切割薄材形成的开口形貌如图3所示，如此形貌的开口带来的缺陷如上所述，其不能满足OLED显示器面板有机层高质量沉积的要求。 故此，业界亟需探索新的方式制作掩模板，以期在满足环境友好的前提下，能够较好的满足掩模板高质量开口的要求。
技术实现思路
有鉴于此，本技术提供了一种金属掩模板切割设备，旨在克服现有技术中的缺陷，以更好的满足具有高精密开口的掩模板的切割应用。 根据本专利
技术介绍
中对现有技术所述，目前OLED蒸镀用掩模板制作所使用的方法有两种:其一，通过蚀刻工制作横截面为“凹形”结构的开口，然而基于蚀刻工艺的掩模板制作技术会对环境带来污染；其二，通过激光切割工艺制作掩模板具有环境友好的优点，但传统激光设备切割薄材形成的开口会带来蒸镀效应。 本技术所提供了一种金属掩模板切割设备，其包括:机台，所述机台作为所述金属掩模板切割设备的支撑基台；绷网组件，所述绷网组件固定安装在所述机台上，其上设置有若干夹持机构，所述金属掩模板侧边可通过所述绷网组件的夹持机构夹持并绷拉达到表面平整；掩模板载台，所述掩模板载台用于承载未经所述绷网组件绷拉的金属掩模板片材，所述掩模板载台包括掩模支撑板和支撑板驱动装置，所述掩模支撑板在所述支撑板驱动装置的驱动下可以在垂直方向上运动，从而调整所述掩模支撑板上表面相对所述绷网组件夹持面所在位置；运动导轨，所述运动导轨包括X轴导轨、Y轴导轨以及Z轴导轨，所述Y轴导轨直接或间接的固定安装在所述机台上，所述X轴导轨设置在所述Y轴导轨上，且可在所述Y轴导轨上进行Y轴方向的运动，所述Z轴导轨设置在所述X轴导轨上，所述Z轴导轨可以在X轴导轨上进行X轴方向的运动；所述金属掩模板切割设备还包括激光斜切装置，所述激光斜切装置上倾斜设置有可绕一平行于Z轴导轨的轴线进行旋转的激光切割头，所述激光斜切装置直接或间接安装在所述Z轴导轨上，可随Z轴导轨在X轴导轨、Y轴导轨上进行χ、γ轴方向的运动，也可以在Z轴导轨上做Z轴方向的运动，所述激光斜切装置可对绷拉在所述绷网组件上的所述金属掩模板片材进行切割，形成掩模开口。 本技术提供的金属掩模板切割设备能够切割出开口侧壁为倾斜面的掩模板，所述掩模板的开口截面为梯形结构，其能够避免掩模板在蒸镀沉积有机材料时产生蒸镀效应。 进一步，本技术中所涉及的激光斜切装置包括支撑机构、旋转机构、滑台机构、激光切割头，所述激光斜切装置通过所述支撑机构间接安装在所述Z轴导轨上，所述旋转机构、滑台机构、激光切割头直接或间接安装于所述支撑机构上；所述旋转机构直接安装在所述支撑机构上，所述旋转机构包括动力旋转装置、旋转端部，所述旋转端部可在所述动力旋转装置的带动下进行旋转；所述滑台机构固定在所述旋转机构的所述旋转端部下方；所述激光切割头倾斜的安装在所述滑台机构上；通过所述滑台机构，可以调整所述激光切割头所发射激光的焦点相对所述旋转机构的旋转中心轴线的位置。 为强化本技术金属掩模板切割设备的自动化程度，本技术所述金属掩模板切割设备还包括控制单元，所述控制单元用于控制所述绷网组件对所述金属掩模板的绷拉、所述运动导轨的运动路径、所述掩模板载台支撑板驱动装置动作以及所述激光斜切装置的切割路径。 进一步，本技术所涉及的绷网组件包括四组夹持机构以及用于安装夹持机构的安装座，所述安装座上设有安装轨道，所述夹持机构底部设置有运行滑块，所述四组夹持装置通过所述运行滑块安装于所述安装座的所述安装轨道上。 进一步，所述金属掩模板切割设备还包括横梁和Χ/Ζ轴平板，所述横梁通过设置在两端的滑块一安装在Y轴导轨上，所述X轴导轨安装在所述横梁上，所述Χ/Ζ轴平板通过滑块二安装在所述X轴导轨上，所述Z轴导轨安装在所述Χ/Ζ轴平板上，所述激光斜切装置的支撑机构通过滑块三安装在所述Z轴导轨上。 进一步，所述金属掩模板切割设备还包括Y轴导轨支撑，所述Y轴导轨支撑直接安装在所述机台上，所述Y轴导轨安装在所述Y轴导轨支撑上，所述Y轴导轨通过所述Y轴导轨支撑间接的固定安装在所述机台上。 为了便于监控掩模板开口的开口质量，所述金属掩模板切割设备还包括机器视觉组件，所述机器视觉组件安装在所述滑块三上，用于抓取所述金属掩模板上开口的形貌并配合轨道运动测量掩模板上需测量区域的尺寸。 进一步，构成所述掩模板载台的所述支撑板驱动装置由电机驱动，电机通过丝杠驱动设置在所述支撑板驱动装置上方的所述掩模支撑板在垂直方向上运动。 进一步，构成所述掩模板载台的所述掩模支撑板上表面为玻璃平板，所述玻璃平板下部设置有光源，作为一种优选方式，玻璃平板为毛玻璃，设置在毛玻璃下方的光源为均匀分布的灯带。 进一步，所述金属掩模板切割设备还包括碎屑收集装置本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种金属掩模板切割设备，其包括：机台，所述机台作为所述金属掩模板切割设备的支撑基台；绷网组件，所述绷网组件固定安装在所述机台上，其上设置有若干夹持机构，所述金属掩模板侧边可通过所述绷网组件的夹持机构夹持并绷拉达到表面平整；掩模板载台，所述掩模板载台用于承载未经所述绷网组件绷拉的金属掩模板片材，所述掩模板载台包括掩模支撑板和支撑板驱动装置，所述掩模支撑板在所述支撑板驱动装置的驱动下可以在垂直方向上运动，从而调整所述掩模支撑板上表面相对所述绷网组件夹持面所在位置；运动导轨，所述运动导轨包括X轴导轨、Y轴导轨以及Z轴导轨，所述Y轴导轨直接或间接的固定安装在所述机台上，所述X轴导轨设置在所述Y轴导轨上，且可在所述Y轴导轨上进行Y轴方向的运动，所述Z轴导轨设置在所述X轴导轨上，所述Z轴导轨可以在所述X轴导轨上进行X轴方向的运动；其特征在于，所述金属掩模板切割设备还包括激光斜切装置，所述激光斜切装置上倾斜设置有可绕一平行于Z轴导轨的轴线进行旋转的激光切割头，所述激光斜切装置直接或间接安装在所述Z轴导轨上，可随Z轴导轨在所述X轴导轨、Y轴导轨上进行X、Y轴方向的运动，也可以在Z轴导轨上做Z轴方向的运动，所述激光斜切装置可对绷拉在所述绷网组件上的所述金属掩模板片材进行切割，形成掩模开口。...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：魏志凌，冯顾问，张璞，
申请(专利权)人：昆山允升吉光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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