涂胶设备及其框架制造技术

本发明专利技术提供了一种涂胶设备及其框架，所述框架的侧壁、顶面和底面分别由多条横梁和纵梁拼接而成，所述横梁和纵梁相互垂直，所述设备框架内具有用于支撑烘烤机的支撑架，所述框架的侧壁上具有用于装入所述烘烤机的安装开口，该安装开口的底边位置与所述支撑架的位置相对，该安装开口底边位置处的横梁是至少部分可拆卸的。本发明专利技术可以通过外部的起重设备将烘烤机放置在支撑架上，安装更加方便、省力、省时。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体加工设备，尤其涉及一种涂胶设备及其框架。
技术介绍
在半导体工艺中，光刻是一种重要的工艺。在光刻工艺中，需要采用涂胶设备(coater)进行光刻胶的涂布，后续还需要对光刻胶进行烘、曝光、显影等操作。为了提高设备集成度，现有技术中的涂胶设备往往集成有烘烤机(bake)。目前的烘烤机的壳体通常是封闭的，其中设置有支撑架用于支撑烘烤机。在设备总装时，需要通过人力将烘烤机抬起后放置在封闭壳体内的支撑架上。但是，烘烤机的重量通常是非常大的，例如可以达到数百公斤，这就使得烘烤机的安装过程比较费时、费力。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题是提供一种涂胶设备及其框架，可以通过外部的起重设备将烘烤机放置在支撑架上，安装更加方便、省力、省时。为解决上述技术问题，本专利技术提供了一种涂胶设备的框架，所述框架的侧壁、顶面和底面分别由多条横梁和纵梁拼接而成，所述横梁和纵梁相互垂直，所述设备框架内具有用于支撑烘烤机的支撑架，其中，所述框架的侧壁上具有用于装入所述烘烤机的安装开口，该安装开口的底边位置与所述支撑架的位置相对，该安装开口底边位置处的横梁是至少部分可拆卸的。根据本专利技术的一个实施例，所述支撑架的数量为多个，每一支撑架对应一个安装开口。根据本专利技术的一个实施例，所述横梁的可拆卸部分与其他部分之间的连接方式为螺接、键连接、卡扣连接中的一种。本专利技术还提供了一种涂胶设备，包括:框架，所述框架的侧壁、顶面和底面分别由多条横梁和纵梁拼接而成，所述横梁和纵梁相互垂直，所述设备框架内具有支撑架；烘烤机，设置在所述支承架上； 其中，所述框架的侧壁上具有用于装入所述烘烤机的安装开口，该安装开口的底边位置与所述支撑架的位置相对，该安装开口底边位置处的横梁是至少部分可拆卸的。根据本专利技术的一个实施例，所述横梁的可拆卸部分与其他部分之间的连接方式为螺接、键连接、卡扣连接中的一种。与现有技术相比，本专利技术具有以下优点:本专利技术实施例的涂胶设备的框架为开放的框架式结构，采用多条横梁和纵梁拼接而成，其侧壁具有安装开口，该安装开口的底边位置与支撑架的位置相对，并且该开口底边位置处的横梁至少部分可拆卸。在安装烘烤机时，可以将可拆卸的部分拆卸下来，利用铲车等外部起重设备直接将烘烤机放置在支撑架上，无需人力，更加省时、省力。【附图说明】图1是本专利技术实施例的涂胶设备的框架的立体结构示意图；图2是本专利技术实施例的涂胶设备的框架改换另一视角的立体结构示意图；图3是本专利技术实施例的涂胶设备的立体结构示意图；图4是本专利技术实施例的涂胶设备的改换另一视角的立体结构示意图。【具体实施方式】下面结合具体实施例和附图对本专利技术作进一步说明，但不应以此限制本专利技术的保护范围。参考图1和图2，本实施例的涂胶设备的框架10是一种“笼状”的开放式结构，底面、顶面以及侧壁都采用多条横梁和纵梁拼接而成，其中，横梁和纵梁相互垂直。横梁和纵梁可以采用各种适当的材料，例如可以是钢梁、铝合金梁等承重能力较强的材料。各条横梁和纵梁之间的连接方式可以是焊接等常用的固定方式。框架10内部设置有用于支撑烘烤机的支撑架11。根据集成的烘烤机的数量的不同，支撑架11的数量可以不同，但总体而言，支撑架11的数量与烘烤机的数量相等，也就是一台烘烤机设置在一个支撑架11上。支撑架11也可以采用横梁和纵梁来构建，也就是支撑架11的材料和加工过程可以和框架10的底面、顶面以及侧面相同，以简化制造工艺，降低成本。或者，支撑架11也可以采用专用的支架结构，将该专用的支架结构固定安装在框架10内部，例如可以和侧壁的多条横梁、纵梁相固定，以保持足够的支撑能力。框架10的侧壁上具有用于装入烘烤机的安装开口 12。框架10制成后，烘烤机就从该安装开口 12装入框架10内部并放置在支撑架11上。安装开口 12的尺寸需要大于烘烤机的尺寸，以使得烘烤机能够通过该安装开口 12装入框架10内部。安装开口 12可以在加工框架10的侧壁时预留，例如，在焊接多条横梁和纵梁时预留足够大小的开口作为安装开口。或者，安装开口 12也可以在框架10的侧壁加工完成后，再在侧壁上打开一个开口。安装开口 12的数量与支撑架11的数量相等，每一个支撑架11对应一个安装开口12，相应地也就对应一台烘烤机。以图1和图2所示为例，该实例中包含2个支撑架11，2个安装开口 12。安装开口 12的底边位置与支撑架11的位置相对，二者基本在同一水平面内。该安装开口 12的底边位置处保留一横梁13，而且该横梁13至少是部分可拆卸的。进一步而言，该安装开口 12的底边位置处的横梁13可以全部或者部分被拆卸下来，然后可以根据需要再装回。横梁13的可拆卸部分与其他部分之间的连接方式可以是螺接、键连接、卡口连接等适当的可拆卸连接方式。参考图3和图4，图3和图4示出了本实施例的涂胶设备20的立体结构，其在图1和图2所示框架的基础上，还包括了烘烤机21。该烘烤机21设置在支撑架11上。结合图1至图4，在安装烘烤机21时，可以将安装开口 12底边位置处的横梁13的可拆卸部分拆除；然后将烘烤机21采用铲车等外部起重设备直接架设到支撑架11上；最后再将横梁13的可拆卸部分装回，完成烘烤机21的安装过程。整个安装过程无需人力将烘烤机21抬起，更加省时、省力。其中，图3和图4示出了横梁13的可拆卸部分被卸下时的状态，图1和图2示出了横梁13的可拆卸部分被装回后的状态。由上，横梁13的可拆卸部分拆除后，使得支撑架11为一开放式结构，对外并无遮挡，从而使得铲车的使用成为可能。本专利技术虽然以较佳实施例公开如上，但其并不是用来限定本专利技术，任何本领域技术人员在不脱离本专利技术的精神和范围内，都可以做出可能的变动和修改，因此本专利技术的保护范围应当以本专利技术权利要求所界定的范围为准。【主权项】1.一种涂胶设备的框架，所述框架的侧壁、顶面和底面分别由多条横梁和纵梁拼接而成，所述横梁和纵梁相互垂直，所述设备框架内具有用于支撑烘烤机的支撑架，其特征在于， 所述框架的侧壁上具有用于装入所述烘烤机的安装开口，该安装开口的底边位置与所述支撑架的位置相对，该安装开口底边位置处的横梁是至少部分可拆卸的。2.根据权利要求1所述的框架，其特征在于，所述支撑架的数量为多个，每一支撑架对应一个安装开口。3.根据权利要求1所述的框架，其特征在于，所述横梁的可拆卸部分与其他部分之间的连接方式为螺接、键连接、卡扣连接中的一种。4.一种涂胶设备，其特征在于，包括: 框架，所述框架的侧壁、顶面和底面分别由多条横梁和纵梁拼接而成，所述横梁和纵梁相互垂直，所述设备框架内具有支撑架； 烘烤机，设置在所述支承架上； 其中，所述框架的侧壁上具有用于装入所述烘烤机的安装开口，该安装开口的底边位置与所述支撑架的位置相对，该安装开口底边位置处的横梁是至少部分可拆卸的。5.根据权利要求4所述的涂胶设备，其特征在于，所述横梁的可拆卸部分与其他部分之间的连接方式为螺接、键连接、卡扣连接中的一种。【专利摘要】本专利技术提供了一种涂胶设备及其框架，所述框架的侧壁、顶面和底面分别由多条横梁和纵梁拼接而成，所述横梁和纵梁相互垂直，所述设备框架内具有用于支撑烘烤机的支撑架，所述框架的侧壁上具有用于装入所述烘烤机的安装开口，该安装开口的底边位置与所述支撑架的位本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种涂胶设备的框架，所述框架的侧壁、顶面和底面分别由多条横梁和纵梁拼接而成，所述横梁和纵梁相互垂直，所述设备框架内具有用于支撑烘烤机的支撑架，其特征在于，所述框架的侧壁上具有用于装入所述烘烤机的安装开口，该安装开口的底边位置与所述支撑架的位置相对，该安装开口底边位置处的横梁是至少部分可拆卸的。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：雷强，金一诺，张怀东，王坚，王晖，
申请(专利权)人：盛美半导体设备上海有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31