本实用新型专利技术涉及半导体切割设备技术领域，尤其是一种高精度、高稳定性的切割机。它包括基台、X轴传动机构、Y轴传动机构、Z轴传动机构、主轴切割装置和旋转机构；X轴传动机构固定在基台上，旋转机构连接于X轴传动机构并由X轴传动机构驱动运行；Y轴传动机构固定在基台上，Z轴传动机构连接于Y轴传动机构并由Y轴传动机构驱动运行；主轴切割装置固定在Z轴传动机构上并由Z轴传动机构驱动运行。本实用新型专利技术通过主轴切割装置联合X、Y、Z轴传动机构的运行对待切工件进行切割，并利用旋转机构对待切工件进行多方向转动切割，利用相机装置对待切工件进行定位校准。该切割机具有切割效率高、切割精度高和稳定性高的优点。
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体切割设备
，尤其是一种高精度、高稳定性的切割机。
技术介绍
在半导体的切割加工中，半导体通过切割加工被切割成许多矩形区域，每个矩形区域形成一个预定的电路模块，具有电路模式的许多矩形区域被切割并且分离形成所谓的半导体晶片。传统的半导体切割设备在某一方向对半导体进行切割后需要重新对半导体的切割方向进行人工调整后再进行切割，影响了切割效率，并存在切割精度不高、性能不够稳定的缺点。
技术实现思路
针对上述现有技术中存在的不足，本技术的目的在于提供一种高精度、高效率和高稳定性的切割机。为了解决以上提出的问题，本技术采用的技术方案为:—种切割机，包括基台、X轴传动机构、Y轴传动机构、Z轴传动机构、主轴切割装置和旋转机构；所述X轴传动机构固定在所述基台上，所述旋转机构连接于所述X轴传动机构并由X轴传动机构驱动沿X轴方向运行；所述Y轴传动机构固定在所述基台上，所述Z轴传动机构连接于所述Y轴传动机构并由Y轴传动机构驱动沿Y轴方向运行；所述主轴切割装置固定在所述Z轴传动机构上并由Z轴传动机构驱动沿Z轴方向运行。优选地，所述X轴传动机构、Y轴传动机构和z轴传动机构均为滚珠丝杠导轨传动机构。优选地，所述旋转机构包括底座、感应组件、直接驱动电机、吸盘底座和吸盘；所述底座与X轴传动机构滑动连接，所述感应组件与直接驱动电机连接在所述底座上，所述吸盘通过所述吸盘底座固定于直接驱动电机的驱动端上，所述吸盘底座上设置有用于定位固定载具的定位组件和一块挡板。优选地，所述感应组件包括连接座、第一传感器、第二传感器、弹簧、滑杆和滑动挡块；所述连接座连接于所述底座的一侧，所述滑动挡块套设在所述滑杆上，且滑动挡块两侧的滑杆上套设有弹簧，使得滑动挡块可滑动的设置于滑杆上，所述弹簧的两端固定在所述连接座和滑动挡块上，所述第一传感器和第二传感器均用于检测所述滑动挡块并设置于所述连接座上。优选地，所述主轴切割装置包括主轴、刀具、清洗组件、固定件和基板；所述主轴固定在所述固定件上并通过基板滑动连接在所述Z轴传动机构上，所述刀具固定在主轴的一端，所述清洗组件也固定在主轴上并包覆所述刀具。优选地，所述固定件上连接有用于对待切工件进行定位校准的相机装置。优选地，所述清洁组件上设置有若干个用于清洁的水幕通道、喷水通道和喷气通道。优选地，所述切割机还包括固定在所述基台上的水箱，所述水箱上固定有防水箱，所述主轴切割装置穿过所述防水箱延伸至所述水箱内。优选地，所述水箱与防水箱上均设置有风琴罩。由于采用了上述方案，本技术通过主轴切割装置联合X、Y、Z轴传动机构的运行对待切工件进行切割，并利用旋转机构对待切工件进行多方向转动切割，利用相机装置对待切工件进行定位校准，该切割机具有切割精度高、稳定性高和自动化水平高的优点。【附图说明】图1是本技术的整体结构图；图2是本技术的水箱与防水箱安装示意图；图3是本技术的旋转机构与X轴传动机构连接示意图；图4是本技术的旋转机构结构示意图；图5是本技术的旋转机构的全剖结构示意图；图6是本技术的感应组件结构示意图；图7是本技术的主轴切割装置结构示意图；图8是本技术的相机装置结构示意图；图9是本技术的清洁组件结构示意图。【具体实施方式】为了便于理解本技术，下面将参照相关附图对本技术进行更全面的描述。附图中给出了本技术的较佳实施例。但是，本技术可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本技术的公开内容的理解更加透彻全面。除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本技术的
的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本技术的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本技术。如图1与图2所示，本技术实施例的一种切割机，包括基台1、Χ轴传动机构2、Υ轴传动机构4、Ζ轴传动机构5、主轴切割装置6和旋转机构3。基台1由平面基体和垂直架体构成，X轴传动机构2固定在基台1的平面基体上，旋转机构3连接于X轴传动机构2上并可由X轴传动机构2驱动沿X轴方向往复运行；Υ轴传动机构4固定在基台1的垂直架体上，Ζ轴传动机构5连接于Υ轴传动机构4并可由Υ轴传动机构4驱动沿Υ轴方向往复运行；主轴切割装置6固定在Ζ轴传动机构5上并可由Ζ轴传动机构5驱动沿Ζ轴方向运行。该切割机还包括固定在基台1上的水箱8，水箱8上固定有防水箱9，水箱8与防水箱9上均设置有风琴罩10，水箱8的一对向侧壁上设有排水槽11，水箱8上的两个风琴罩10设置在一对排水槽11之间，并且设于旋转机构3的两侧，防水箱9上的两个风琴罩10设于主轴切割装置6的两侧。上述中，X轴传动机构2、Y轴传动机构4和Z轴传动机构5均为滚珠丝杠导轨传动机构进行驱动，X轴传动机构2位于水箱8的下部，水箱8上设置的风琴罩10用于防止水进入X轴传动机构2中，Y轴传动机构4与Z轴传动机构5位于水箱8的上部，防水箱9上设置的风琴罩10用于防止对切割刀进行清洗和冷却的水分溅到Y轴传动机构4与Z轴传动机构5上，主轴切割装置6穿过防水箱9延伸至水箱8内，用于对待切工件37进行切害J，旋转机构3置于水箱8内，用于对待切工件37进行旋转。如图2所示，水箱8上设置有排废气口 81和排废水口 82，排废气口 81位于水箱8的上方，排废水口 82位于水箱8的底部一端且与排水槽11连通，通过连接排气与排水系统以用于对切割作业中进行排废，保持清洁。如图3、图4与图5所示，本技术实施例的旋转机构3包括底座31、感应组件33、直接驱动电机32、吸盘底座34和吸盘35 ;其中，底座31的底端中部与X轴传动机构2的滚珠丝杠螺母连接，底座31的底端两侧与X轴传动机构2的导轨滑动连接，感应组件33连接在底座31的侧壁上，直接驱动电机32连接在底座31的上端面上，吸盘35通过吸盘底座34固定于直接驱动电机32的驱动端上，该吸盘底座34利用螺纹连接固定于直接驱动电机32的驱动端上，吸盘底座34的上端设置有用于定位固定载具36的定位组件341，由定位组件341上设置的销钉3411定位载具36，吸盘底座34的边沿上固定有一块挡板344。上述中，本实施例的吸盘35设置成密布微孔的真空吸盘，密布微孔的真空吸盘上的中心孔351与吸盘底座34上的第一通孔342、直接驱动电机32 (DD马达)的轴孔321相通，并通过第一气路连接管(图中未示出)与外部抽真空装置连接，对密布微孔的真空吸盘上的第一环状气路352抽真空将载具36上的薄膜(图中未示出)和贴附固定在载具36薄膜上的待切工件37进行吸附固定，从而将待切工件37进行固定；吸盘底座34上表面的第二环状气路345与吸盘底座34上的第二通孔343、直接驱动电机32的轴孔321相通，并通过第二气路连接管(图中未示出)与外部抽真空装置连接，对吸盘底座34上的第二环状气路345抽真空以致对密布微孔的真空吸盘产生负压作用，从而对密布微孔的当前第1页1 2 本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种切割机，其特征在于：包括基台(1)、X轴传动机构(2)、Y轴传动机构(4)、Z轴传动机构(5)、主轴切割装置(6)和旋转机构(7)；所述X轴传动机构(2)固定在所述基台(1)上，所述旋转机构(3)连接于所述X轴传动机构(2)并由X轴传动机构(2)驱动沿X轴方向运行；所述Y轴传动机构(4)固定在所述基台(1)上，所述Z轴传动机构(5)连接于所述Y轴传动机构(4)并由Y轴传动机构(4)驱动沿Y轴方向运行；所述主轴切割装置(6)固定在所述Z轴传动机构(5)上并由Z轴传动机构(5)驱动沿Z轴方向运行。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：卢国艺，
申请(专利权)人：深圳市腾盛工业设备有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44
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