在带电粒子束装置中，在尽可能地接近物镜内部的样品的位置高效地取得从样品释放的带电粒子。具备：带电粒子受光面(105)，其具有通过带电粒子而发光的闪烁器；光电探测器(107)，其对从闪烁器释放的光进行检测；反射镜(108)，其将从闪烁器释放的光引导至光电探测器(107)；以及物镜(100)，其用于将带电粒子束集束于样品，带电粒子受光面(105)与反射镜(108)的距离Lsm比光电探测器(107)与反射镜(108)的距离Lpm长，带电粒子受光面(105)、反射镜(108)以及光电探测器(107)被收纳在物镜(100)内部。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及例如具备检测粒子检测器的带电粒子束装置，该检测粒子检测器对在将带电粒子束照射至样品时从样品释放或者反射的带电粒子进行检测。
技术介绍
能够进行纳米等级的观察的扫描式电子显微镜(SEM)在半导体领域、材料领域、生物学领域等各种领域中被使用。SEM通常利用配置于样品室、带电粒子束柱内的检测器对从样品释放的信号电子进行检测，取得图像。因此，所获得的画质受检测系统的影响较大。因此，到目前为止提出了各种方式，即，提出了将用于吸引信号电子的电极搭载于检测器前端的方式(专利文献1)，使用变换板的方式(专利文献2)，使用正交电磁场的方式(专利文献3)以及具备圆环状的带电粒子受光面的方式(专利文献4)等。另外，也进行了在形成磁场透镜的磁路前端的侧壁设置检测器插入用的孔之类的与检测器搭载位置相关的提案(专利文献5)。现有技术文献专利文献专利文献1:日本特表2009-536776号公报专利文献2:日本特开2006-004855号公报专利文献3:国际公开第2000/019482号专利文献4:日本特开2010-182596号公报专利文献5:日本特开平7-226180号公报
技术实现思路
本申请专利技术人对在将带电粒子束照射至样品的柱内搭载带电粒子检测器进行了专心研究，其结果，直至获得接下来的见解。以下，作为带电粒子束装置，以SEM为例进行说明。为了使SEM像的画质良好，需要高效地取得较多的信号电子。作为为此的有效的方法，可以考虑在接近信号电子的产生源的位置，即尽可能地接近物镜内部的样品的位置配置检测器。但是，在物镜内部必须配置电极、线圈、偏转器等各种部件，从而难以在样品附近确保充分的空间。本专利技术的目的在于从尽可能地接近物镜内部的样品的位置高效地取得从样品释放的信号电子。本专利技术例如具备:带电粒子受光面，其具有通过带电粒子而发光的闪烁器；光电探测器，其对从闪烁器释放的光进行检测；反射镜，其将从闪烁器释放的光引导至光电探测器；以及物镜，其用于将带电粒子束集束于样品，带电粒子受光面与反射镜的距离Lsm比光电探测器与反射镜的距离Lpm长。另外，本专利技术例如具备:带电粒子受光面，其具有通过带电粒子而发光的闪烁器；光电探测器，其对从闪烁器释放的光进行检测；反射镜，其将从闪烁器释放的光引导至光电探测器；以及物镜，其用于将带电粒子束集束于样品，在将带电粒子检测器投影于与光电探测器的受光面平行的面的投影图中，在带电粒子受光面与光电探测器之间存在间隙。本专利技术的效果如下。通过本专利技术，能够在物镜内部的微小的空间设置带电粒子检测器。另外，能够在比光电探测器更接近样品的位置设置带电粒子受光面。【附图说明】图1是实施例1的带电粒子束装置的示意图。图2是实施例1的带电粒子检测器部的示意图(将无色透明的丙烯酸树脂、石英玻璃使用为光导体的结构)。图3是实施例1的带电粒子检测器部的示意图(使用光纤板的结构)。图4是实施例1的带电粒子检测器部的示意图(使用光学透镜的结构)。图5是实施例1的⑶I画面的示意图。图6是实施例2的带电粒子束装置的示意图。【具体实施方式】实施例公开一种带电粒子束装置，其具备:带电粒子受光面，其具有通过带电粒子而发光的闪烁器；光电探测器，其对从闪烁器释放的光进行检测；反射镜，其将从闪烁器释放的光引导至光电探测器；以及物镜，其用于将带电粒子束集束于样品，带电粒子受光面与反射镜的距离Lsm比光电探测器与反射镜的距离Lpm长，带电粒子受光面、反射镜以及光电探测器被收纳在物镜内部。另外，实施例公开一种带电粒子束装置，其具备:带电粒子受光面，其具有通过带电粒子而发光的闪烁器；光电探测器，其对从闪烁器释放的光进行检测；反射镜，其将从闪烁器释放的光引导至光电探测器；以及物镜，其用于将带电粒子束集束于样品，在将带电粒子检测器投影于与光电探测器的受光面平行的面的投影图中，在带电粒子受光面与光电探测器之间存在间隙，带电粒子受光面、反射镜以及光电探测器被收纳在物镜内部。另外，实施例公开一种带电粒子检测器，其具备:具有通过带电粒子而发光的闪烁器的带电粒子受光面、对从闪烁器被释放的光进行检测的光电探测器以及将从闪烁器被释放的光引导至光电探测器的反射镜，带电粒子受光面与反射镜的距离Lsm比光电探测器与反射镜的距离Lpm长。另外，实施例公开一种带电粒子检测器，其具备:带电粒子受光面，其具有通过带电粒子而发光的闪烁器；光电探测器，其对从闪烁器释放的光进行检测；以及反射镜，其将从闪烁器释放的光引导至光电探测器，在将带电粒子检测器投影于与光电探测器的受光面平行的面的投影图中，在带电粒子受光面与光电探测器之间存在间隙。另外，实施例公开了带电粒子束装置具备对光电探测器的输出进行放大的信号放大用基板，该信号放大用基板被收纳在物镜内部。另外，实施例公开了物镜具备产生使带电粒子束集束的磁场的线圈，带电粒子受光面相对于该物镜的光轴设置于线圈的上表面与下表面之间。另外，公开了物镜具备产生集束磁场的线圈、磁极片以及产生集束静电场的两个以上的电极，一个电极与带电粒子检测器的带电粒子受光面经由弹簧电接触。另外，实施例公开了物镜具备产生使带电粒子束集束的磁场的线圈，带电粒子受光面相对于该物镜的光轴设置于比线圈更接近样品的位置。另外，公开了物镜具备产生集束磁场的线圈、磁极片以及产生集束静电场的两个以上的电极，一个电极与带电粒子检测器的带电粒子受光面经由弹簧电接触。另外，公开了在物镜的前端的侧壁设置有带电粒子受光面插入用的受光面用开口，沿着受光面用开口插入带电粒子受光面。另外，公开了在物镜的前端的侧壁设置有光学透镜插入用的光学透镜用开口，沿着光学透镜用开口插入将从闪烁器释放的光引导至反射镜的光学透镜。另外，公开了受光面用开口与光学透镜用开口为同一开口。另外，实施例公开了在带电粒子受光面的中心开有贯通孔。另外，公开了具备穿过带电粒子受光面的贯通孔并延伸的束射管以及筛孔，束射管的内表面与带电粒子受光面之间被电绝缘，在束射管的前端附近存在筛孔，该筛孔与束射管电接触。另外，实施例公开了在带电粒子受光面与反射镜之间具备光纤板。另外，公开了在光纤板的中心开有贯通孔。另外，公开了在光纤板的表面施加导电性薄膜。另外，实施例公开了在带电粒子受光面与反射镜之间具备光学透镜。另外，公开了在光学透镜的中心开有贯通孔。另外，公开了在光学透镜的表面施加导电性薄膜。另外，公开了以带电粒子受光面的最初的像面位于比光电探测器的受光面更靠后方的方式配置有光学透镜以及反射镜。另外，实施例公开了反射镜米用凹面镜。另外，实施例公开一种带电粒子束装置，其具备:带电粒子束柱，其将带电粒子束照射至样品；以及带电粒子检测器，其对带电粒子进行检测，该带电粒子束装置具备显示由带电粒子检测器检测的带电粒子从样品释放时的能量与释放时的方向的功能。另外，公开了具备将距原点的距离和释放时的方向设为斜率来表示释放时的能量的功能。另外，实施例公开了针对由带电粒子检测器检测的带电粒子，显示从样品释放时的释放能量和从样品释放时的释放角度的GUI画面。另外，公开了将距原点的距离和释放角度设为斜率来表示释放能量。以下，参照附图对上述以及其他的本专利技术的新特征与效果进行说明。此外，附图专门用于理解专利技术，而不减缩保护范围。实施例1图1是本实施例的带电粒子束用本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种带电粒子束装置，其特征在于，具备：带电粒子受光面，其具有通过带电粒子而发光的闪烁器；光电探测器，其对从闪烁器释放的光进行检测；反射镜，其将从闪烁器释放的光引导至上述光电探测器；以及物镜，其用于将带电粒子束集束于样品，上述带电粒子受光面与上述反射镜的距离Lsm比上述光电探测器与上述反射镜的距离Lpm长，上述带电粒子受光面、上述反射镜以及上述光电探测器被收纳在上述物镜内部。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：野间口恒典，扬村寿英，祖利胡默·亚森吉安，
申请(专利权)人：株式会社日立高新技术，
类型：发明
国别省市：日本;JP
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