超纯水制造系统、超纯水制造供给系统及其洗涤方法技术方案

在进行杀菌洗涤时，不会将超纯水制造系统内的污染物质供给至通往水使用点的供给配管，并且在进行杀菌洗涤后会防止由微粒子去除膜所捕捉到的污染物质所造成的系统污染，而在短时间内将水质良好的超纯水供给至水使用点(Usepoint)。在至少具备：储槽(11)、泵(12)、热交换器(13)、紫外线装置(14)、离子交换装置(15)、及第1微粒子去除膜装置(16)的超纯水制造系统中，将第2微粒子去除膜装置(17)设置成与该第1微粒子去除膜装置(16)呈并列，并且将杀菌水及冲洗水的一部分供给至第1微粒子去除膜装置(16)，而不穿透薄膜来从给水侧朝浓缩水侧排出，剩余部分则会通过第2微粒子去除膜装置(17)。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】超纯水制造系统、超纯水制造供给系统及其洗涤方法
本专利技术涉及一种超纯水制造系统、超纯水制造供给系统及其洗涤方法。更详细地说，本专利技术涉及一种在进行杀菌洗涤工程后，能够在短时间将水质良好的超纯水供给至水使用点(Usepoint)的超纯水制造系统及其洗涤方法、与超纯水制造供给系统及其洗涤方法。
技术介绍
在电子产业领域中，使用超纯水作为部件的洗涤水。适用于半导体制造工厂、及晶片制造工厂的超纯水水质十分严格，例如电阻率(比电阻值)为：18.2MΩ·cm以上，微粒子为：粒径在50nm以上的微粒子为100个以下、以及粒径在20nm以上的微粒子为1000个以下，生菌为：1个/L以下，TOC(TotalOrganicCarbon，总有机碳)为：0.5μg/L以下，全硅为：0.05μg/L以下，金属类为：0.1ng/L以下，离子类为：5ng/L以下。在进行超纯水制造系统的工程(新建、增建、改建)或进行维护时，混入至系统内的空气中的尘粒、硅石、铝等的微粒子，或细菌的尸体、铁锈等的水中所含的粒子，甚至在制造步骤中所产生的薄膜或配管等切屑等所形成的微粒子会残留在系统内。将该微粒子朝系统外排除后，再通过碱性溶液进行洗涤来使得超纯水中的粒径在50nm以上的微粒子为1000个/L以下(专利文献1)。专利文献2、3中，记载了一种用于抑制超纯水中的生菌的超纯水制造系统的杀菌方法。[现有技术文献][专利文献][专利文献1]日本特开2000-317413号公报[专利文献2]日本特开2002-166283号公报[专利文献3]日本特开2004-275881号公报
技术实现思路
[专利技术要解决的课题]通过上述现有技术所进行的杀菌洗涤法会有以下问题。i)在进行杀菌洗涤时，利用超纯水制造系统内的微粒子去除膜来捕捉超纯水制造系统内的废弃物(污染物质)。捕捉到的污染物质从膜面剥落而混入至水中所造成的二次污染会长时间地持续产生。因此，在进行杀菌洗涤后，无法在短时间内将水质良好的超纯水供给至水使用点。ii)当为了避免上述问题而不设置微粒子去除膜来进行杀菌洗涤时，超纯水制造系统内的污染物质会被供给至用以将超纯水运送至水使用点的供给配管。因此，在进行杀菌洗涤后，仍然无法获得在短时间内将水质良好的超纯水供给至水使用点的功效。本专利技术为了解决上述现有技术的问题点，其目的为提供一种超纯水制造系统及其制造方法、与超纯水制造供给系统及其洗涤方法，在进行杀菌洗涤时，不会将超纯水制造系统内的污染物质供给至通往水使用点的供给配管，并且在进行杀菌洗涤后，能够防止系统被微粒子去除膜所捕捉到的污染物质污染，而能够在短时间内供给水质良好的超纯水至水使用点(Usepoint)。[解决课题的手段]本专利技术者们，为了解决上述课题而反复勤勉不懈地进行研讨后，结果发现通过下述方法能够解决上述课题：除设置在超纯水制造系统内的第1微粒子去除膜装置之外，另行设置第2微粒子去除膜装置，在进行杀菌洗涤时及杀菌洗涤后的冲洗洗涤时，使杀菌水及冲洗水通过第2微粒子去除膜装置，而关于第1微粒子去除膜装置则是不使洗涤水穿透薄膜而仅在给水侧进行洗涤，或不使洗涤水通过第1微粒子去除膜装置而是与已事先完成杀菌处理的微粒子去除膜进行交换。本专利技术是依据上述认识而开发完成的，以下为其主旨。[1]一种超纯水制造系统的洗涤方法，是使杀菌水及冲洗水分别通过至少具备：储槽、泵、热交换器、紫外线装置、离子交换装置、及第1微粒子去除膜装置的超纯水制造系统，来进行该超纯水制造系统的杀菌洗涤、及杀菌洗涤后的冲洗洗涤的超纯水制造系统的洗涤方法，其特征为：将第2微粒子去除膜装置设置成与该第1微粒子去除膜装置呈并列，并且进行下述(I-1)～(I-3)的任一洗涤工序，而在进行该洗涤工序后，不使水通过该第2微粒子去除膜装置，而是使水通过前述热交换器、紫外线装置、离子交换装置、及第1微粒子去除膜装置来进行超纯水的制造。(I-1)将杀菌水及冲洗水的一部分供给至前述第1微粒子去除膜装置后，不使其穿透该第1微粒子去除膜装置的微粒子去除膜，而是使其从该第1微粒子去除膜装置的给水侧朝浓缩水侧排出，剩余部分则会通过前述第2微粒子去除膜装置。(I-2)使杀菌水及冲洗水全部通过前述第2微粒子去除膜装置，再利用事先已完成杀菌处理的微粒子去除膜与前述第1微粒子去除膜装置的微粒子去除膜进行交换。(I-3)将前述第1微粒子去除膜装置的微粒子去除膜与配管进行交换，在使杀菌水及冲洗水的一部分通过该第1微粒子去除膜装置，并且使剩余部分通过前述第2微粒子去除膜装置后，再利用事先已完成杀菌处理的微粒子去除膜与该第1微粒子去除膜装置的配管进行交换。[2]一种超纯水制造系统的洗涤方法，是使杀菌水及冲洗水分别通过至少具备：储槽、泵、热交换器、紫外线装置、离子交换装置、及第1微粒子去除膜装置的超纯水制造系统，来进行该超纯水制造系统的杀菌洗涤、及杀菌洗涤后的冲洗洗涤的超纯水制造系统的洗涤方法，其特征为：在该超纯水制造系统的最终泵与该第1微粒子去除膜装置之间将第2微粒子去除膜装置设置成可绕过该第2微粒子去除膜装置来进行流水处理，并且进行下述(II-1)～(II-3)的任一洗涤工序，在进行该洗涤工序后，使水绕过该第2微粒子去除膜装置而通过前述热交换器、紫外线装置、离子交换装置、及第1微粒子去除膜装置来进行超纯水的制造。(II-1)设置用以绕过前述第1微粒子去除膜装置的旁通配管，使杀菌水及冲洗水通过前述第2微粒子去除膜装置，再将穿透该第2微粒子去除膜装置的水的一部分供给至该第1微粒子去除膜装置，并且不使其穿透该第1微粒子去除膜装置的微粒子去除膜，而是使其从该第1微粒子去除膜装置的给水侧朝浓缩水侧排出，剩余部分则会通过前述旁通配管。(II-2)设置用以绕过前述第1微粒子去除膜装置的旁通配管，使杀菌水及冲洗水通过前述第2微粒子去除膜装置与该旁通配管，并且利用事先已完成杀菌处理的微粒子去除膜与该第1微粒子去除膜装置的微粒子去除膜进行交换。(II-3)将前述第1微粒子去除膜装置的微粒子去除膜与配管进行交换后，再使杀菌水及冲洗水通过前述第2微粒子去除膜装置与该第1微粒子去除膜装置，其后，再利用事先已完成杀菌处理的微粒子去除膜与该第1微粒子去除膜装置的配管进行交换。[3]一种超纯水制造系统的洗涤方法，是使杀菌水及冲洗水分别通过至少具备：储槽、泵、热交换器、紫外线装置、离子交换装置、及第1微粒子去除膜装置的超纯水制造系统，来进行该超纯水制造系统的杀菌洗涤、及杀菌洗涤后的冲洗洗涤的超纯水制造系统的洗涤方法，其特征为：在该第1微粒子去除膜装置的后段将第2微粒子去除膜装置设置成可绕过该第2微粒子去除膜装置来进行流水处理，并且进行下述(III-1)～(III-3)的任一洗涤工序，在进行该洗涤工序后，使水绕过该第2微粒子去除膜装置而通过前述热交换器、紫外线装置、离子交换装置、及第1微粒子去除膜装置来进行超纯水的制造。(III-1)设置用以绕过前述第1微粒子去除膜装置的旁通配管，将杀菌水及冲洗水的一部分供给至该第1微粒子去除膜装置后，不使其穿透该第1微粒子去除膜装置的微粒子去除膜，而是使其从该第1微粒子去除膜装置的给水侧朝浓缩水侧排出，剩余部分则会在通过前述旁通配管后通过前述第2微粒子去除膜装置。(III-2)设置用以绕过前本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种超纯水制造系统的洗涤方法，是使杀菌水及冲洗水分别通过至少具备：储槽、泵、热交换器、紫外线装置、离子交换装置、及第1微粒子去除膜装置的超纯水制造系统，来进行该超纯水制造系统的杀菌洗涤、及杀菌洗涤后的冲洗洗涤的超纯水制造系统的洗涤方法，其特征为：将第2微粒子去除膜装置设置成与该第1微粒子去除膜装置呈并列，并且进行下述(I‑1)～(I‑3)的任一洗涤工序，而在进行该洗涤工序后，不使水通过该第2微粒子去除膜装置，而是使水通过所述热交换器、紫外线装置、离子交换装置、及第1微粒子去除膜装置来进行超纯水的制造，(I‑1)将杀菌水及冲洗水的一部分供给至所述第1微粒子去除膜装置后，不使其穿透该第1微粒子去除膜装置的微粒子去除膜，而是使其从该第1微粒子去除膜装置的给水侧朝浓缩水侧排出，剩余部分则会通过所述第2微粒子去除膜装置，(I‑2)使杀菌水及冲洗水全部通过所述第2微粒子去除膜装置，再利用事先已完成杀菌处理的微粒子去除膜与所述第1微粒子去除膜装置的微粒子去除膜进行交换，(I‑3)将所述第1微粒子去除膜装置的微粒子去除膜与配管进行交换，在使杀菌水及冲洗水的一部分通过该第1微粒子去除膜装置，并且使剩余部分通过所述第2微粒子去除膜装置后，再利用事先已完成杀菌处理的微粒子去除膜与该第1微粒子去除膜装置的配管进行交换。...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2013.07.24 JP 2013-1536401.一种超纯水制造供给系统的洗涤方法，为使杀菌水及冲洗水分别通过超纯水制造供给系统，来进行该超纯水制造供给系统的杀菌洗涤、及杀菌洗涤后的冲洗洗涤的超纯水制造供给系统的洗涤方法，所述超纯水制造供给系统具备：超纯水制造系统，至少具备储槽、泵、热交换器、紫外线装置、离子交换装置、及第1微粒子去除膜装置；供给配管，将利用该超纯水制造系统制造的超纯水供给至水使用点；以及返送配管，将该水使用点的剩余水返送至超纯水制造系统，所述超纯水制造供给系统的洗涤方法的特征为：将第2微粒子去除膜装置设置成与该第1微粒子去除膜装置呈并列，通过下述(I-1)～(I-3)的任一洗涤工序(A)来洗涤该超纯水制造系统，使所述洗涤工序(A)中穿透所述第2微粒子去除膜装置的杀菌水及冲洗水在通过该供给配管与返送配管后朝系统外部排出，在进行该洗涤工序(A)后，不使水通过该第2微粒子去除膜装置，而是使水通过所述热交换器、紫外线装置、离子交换装置、及第1微粒子去除膜装置来进行超纯水的制造，(I-1)将杀菌水及冲洗水的一部分供给至所述第1微粒子去除膜装置后，不使其穿透该第1微粒子去除膜装置的微粒子去除膜，而是使其从该第1微粒子去除膜装置的给水侧朝浓缩水侧排出，剩余部分则会通过所述第2微粒子去除膜装置，(I-2)使杀菌水及冲洗水全部通过所述第2微粒子去除膜装置，再利用事先已完成杀菌处理的微粒子去除膜与所述第1微粒子去除膜装置的微粒子去除膜进行交换，(I-3)将所述第1微粒子去除膜装置的微粒子去除膜与配管进行交换，在使杀菌水及冲洗水的一部分通过该第1微粒子去除膜装置，并且使剩余部分通过所述第2微粒子去除膜装置后，再利用事先已完成杀菌处理的微粒子去除膜与该第1微粒子去除膜装置的配管进行交换。2.一种超纯水制造供给系统的洗涤方法，为使杀菌水及冲洗水分别通过超纯水制造供给系统，来进行该超纯水制造供给系统的杀菌洗涤、及杀菌洗涤后的冲洗洗涤的超纯水制造供给系统的洗涤方法，所述超纯水制造供给系统具备：超纯水制造系统，至少具备储槽、泵、热交换器、紫外线装置、离子交换装置、及第1微粒子去除膜装置；供给配管，将利用该超纯水制造系统制造的超纯水供给至水使用点；以及返送配管，将该水使用点的剩余水返送至超纯水制造系统，所述超纯水制造供给系统的洗涤方法的特征为：在该超纯水制造系统的最终泵与该第1微粒子去除膜装置之间将第2微粒子去除膜装置设置成可绕过该第2微粒子去除膜装置来进行流水处理，通过下述(II-1)～(II-3)的任一洗涤工序(B)来洗涤该超纯水制造系统，使所述洗涤工序(B)中穿透所述第2微粒子去除膜装置的杀菌水及冲洗水在通过该供给配管与返送配管后朝系统外部排出，在进行该洗涤工序(B)后，使水绕过该第2微粒子去除膜装置而通过所述热交换器、紫外线装置、离子交换装置、及第1微粒子去除膜装置来进行超纯水的制造，(II-1)设置用以绕过所述第1微粒子去除膜装置的旁通配管，使杀菌水及冲洗水通过所述第2微粒子去除膜装置，再将穿透该第2微粒子去除膜装置的水的一部分供给至该第1微粒子去除膜装置，并且不使其穿透该第1微粒子去除膜装置的微粒子去除膜，而是使其从该第1微粒子去除膜装置的给水侧朝浓缩水侧排出，剩余部分则会通过所述旁通配管，(II-2)设置用以绕过所述第1微粒子去除膜装置的旁通配管，使杀菌水及冲洗水通过前述第2微粒子去除膜装置与该旁通配管，并且利用事先已完成杀菌处理的微粒子去除膜与该第1微粒子去除膜装置的微粒子去除膜进行交换，(II-3)将所述第1微粒子去除膜装置的微粒子去除膜与配管进行交换后，再使杀菌水及冲洗水通过所述第2微粒子去除膜装置与该第1微粒子去除膜装置，其后，再利用事先已完成杀菌处理的微粒子去除膜与该第1微粒子去除膜装置的配管进行交换。3.一种超纯水制造供给系统的洗涤方法，为使杀菌水及冲洗水分别通过超纯水制造供给系统，来进行该超纯水制造供给系统的杀菌洗涤、及杀菌洗涤后的冲洗洗涤的超纯水制造供给系统的洗涤方法，所述超纯水制造供给系统具备：超纯水制造系统，至少具备储槽、泵、热交换器、紫外线装置、离子交换装置、及第1微粒子去除膜装置；供给配管，将利用该超纯水制造系统制造的超纯水供给至水使用点；以及返送配管，将该水使用点的剩余水返送至超纯水制造系统，所述超纯水制造供给系统的洗涤方法的特征为：在该第1微粒子去除膜装置的后段将第2微粒子去除膜装置设置成可绕过该第2微粒子去除膜装置来进行流水处理，通过下述(III-1)～(III-3)的任一洗涤工序(C)来洗涤该超纯水制造系统，使所述洗涤工序(C)中穿透所述第2微粒子去除膜装置的杀菌水及冲洗水在通过该供给配管与返送配管后朝系统外部排出，在进行该洗涤工序(C)后，使水绕过该第2微粒子去除膜装置而通过所述热交换器、紫外线装置、离子交换装置、及第1微粒子去除膜装置来进行超纯水的制造，(III-1)设置用以绕过所述第1微粒子去除膜装置的旁通配管，将杀菌水及冲洗水的一部分供给至该第1微粒子去除膜装置后，不使其穿透该第1微粒子去除膜装置的微粒子去除膜，而是使其从该第1微粒子去除膜装置的给水侧朝浓缩水侧排出，剩余部分则会在通过所述旁通配管后通过所述第2微粒子去除膜装置，(III-2)设置用以绕过所述第1微粒子去除膜装置的旁通配管，使杀菌水及冲洗水通过该旁通配管与所述第2微粒子去除膜装置，再利用事先已完成杀菌处理的微粒子去除膜与所述第1微粒子去除膜装置的微粒子去除膜进行交换，(III-3)将所述第1微粒子去除膜装置的微粒子...

【专利技术属性】
技术研发人员：横井生宪，福井长雄，田中洋一，
申请(专利权)人：栗田工业株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP