一种平面阴极溅射挡板制造技术

本实用新型专利技术公开了一种平面阴极溅射挡板，包括第一阴极挡板本体和第二阴极挡板本体，第一阴极挡板本体与第二阴极挡板本体之间具有一个开口部位，第一阴极挡板本体上设置有与其平行且能够沿其表面滑动的第一挡板，第二阴极挡板本体上设置有与其平行且能够沿其表面滑动的第二挡板，第一挡板与第二挡板之间能够相向滑动或者相背滑动，第一挡板与第二挡板之间相向滑动时将开口部位部分封盖；第一挡板伸向开口部位的伸出部位以及第二挡板伸向开口部位的伸出部位均为圆角。本实用新型专利技术能够使平面阴极的均匀性达到生产要求。并且上述伸出部位均为圆角，能够保证在溅射过程中不发生放电现象。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及玻璃制造行业，更具体地说，涉及一种平面阴极溅射挡板。
技术介绍
大面积连续镀膜线上的平面阴极使用频率很高，但随着使用的时间延长，平面阴极内部的磁场会产生变化，或者由于一些其它因素的影响，都会造成平面阴极局部均匀性差的问题产生。虽然在生产中可以借助气体对均匀性进行调整，但是调整的范围有限，起不到实质性作用。
技术实现思路
本技术提供一种解决上述均匀性的技术问题的平面阴极溅射挡板。为解决上述技术问题，本技术采用如下技术方案:—种平面阴极溅射挡板，包括第一阴极挡板本体和第二阴极挡板本体，所述第一阴极挡板本体与所述第二阴极挡板本体之间具有一个开口部位，所述第一阴极挡板本体上设置有与其平行且能够沿其表面滑动的第一挡板，所述第二阴极挡板本体上设置有与其平行且能够沿其表面滑动的第二挡板，所述第一挡板与所述第二挡板之间能够相向滑动或者相背滑动，所述第一挡板与所述第二挡板之间相向滑动时将所述开口部位部分封盖；所述第一挡板伸向所述开口部位的伸出部位为圆角，所述第二挡板伸向所述开口部位的伸出部位为圆角。优选地，所述第一阴极挡板本体与所述第一挡板之间在平面方向的可调节距离范围至少包括0mm-20mm，所述第二阴极挡板本体与所述第二挡板之间在平面方向的可调节距离范围至少包括0mm-20mm。优选地，所述第一挡板和所述第二挡板的形状均为三角形，并且三角形的第一挡板和第二挡板的一个角为所述伸出部位，呈圆角。优选地，所述第一挡板和所述第二挡板的形状均为梯形，并且梯形的第一挡板和第二挡板的顶部为所述伸出部位，所述顶部的两个顶角呈圆角。本技术的有益效果体现在:通过在原来不可调的平面阴极溅射挡板的开口部位加设一对相互之间距离可调节的挡板，可以根据平面阴极局部均匀性差异来调节挡板的开口宽度，从而使平面阴极的均匀性达到生产要求。尤其是，所述第一挡板伸向所述开口部位的伸出部位以及所述第二挡板伸向所述开口部位的伸出部位均为圆角，能够保证在溅射过程中不发生放电现象。【附图说明】图1为本技术一个实施例的平面阴极溅射挡板的正视图；图2为本技术一个实施例的平面阴极溅射挡板的横截面结构示意图。图中:1_第一阴极挡板本体；2_第二阴极挡板本体；3_第一挡板；4_第二挡板。【具体实施方式】下面通过【具体实施方式】结合附图对本技术作进一步详细说明。请参考图1和图2，本技术一个实施例的平面阴极溅射挡板，包括第一阴极挡板本体1和第二阴极挡板本体2，第一阴极挡板本体1与第二阴极挡板本体2之间具有一个开口部位，第一阴极挡板本体1上设置有与第一阴极挡板本体1平行且能够沿第一阴极挡板本体1表面滑动的第一挡板3，第二阴极挡板本体2上设置有与第二阴极挡板本体2平行且能够沿第二阴极挡板本体2表面滑动的第二挡板4，第一挡板3与第二挡板4之间能够相向滑动或者相背滑动，第一挡板3与第二挡板4之间相向滑动时将开口部位部分封盖；第一挡板3伸向开口部位的伸出部位为圆角，第二挡板4伸向开口部位的伸出部位为圆角。本实施例中，第一挡板3和第二挡板4的形状均为三角形，并且三角形的第一挡板3和第二挡板4的一个角为伸出部位，呈圆角。当然，第一挡板3和第二挡板4的形状，根据具体需要也可以是其他形状，只要是第一挡板3和第二挡板4的伸出部位具有圆角即可。例如，第一挡板3和第二挡板4的形状均为梯形，并且梯形的第一挡板3和第二挡板4的顶部为上述伸出部位，上述顶部的两个顶角呈圆角。第一挡板3和第二挡板4的伸出部位呈圆角的特征，对于溅射时放电现象的控制至关重要。专利技术人发现，如果第一挡板3和第二挡板4的伸出部位呈尖角，溅射时容易发生放电现象，而圆角的伸出部位能够有效避免放电现象。需要说明的是，只要第一挡板3和第二挡板4的伸出部位呈圆角，挡板的具体形状不限，可根据平面阴极均匀性自行设计；并且第一挡板3和第二挡板4的位置可根据平面阴极均匀性进行设定。本实施例中，第一阴极挡板本体1与第一挡板3之间在平面方向的可调节距离范围以及第二阴极挡板本体2与第二挡板4之间在平面方向的可调节距离范围，可以根据具体需要设定。一般而言，比较好的是:第一阴极挡板本体1与第一挡板3之间在平面方向的可调节距离范围至少包括0mm-20mm，第二阴极挡板本体2与第二挡板4之间在平面方向的可调节距离范围至少包括0mm-20mm。所谓“在平面方向的可调节距离”，是指第一挡板3相对于第一阴极挡板本体1向开口部位的方向能够滑动的距离，或者第二挡板4相对于第二阴极挡板本体2向开口部位的方向能够滑动的距离。也就是说，第一挡板3的靠近开口部位的一侧可以与第一阴极挡板本体1的靠近开口部位的一侧齐平，或者可以向开口部位的方向滑动至少20mm的距离；类似的，第二挡板4的靠近开口部位的一侧可以与第二阴极挡板本体2的靠近开口部位的一侧齐平，或者可以向开口部位的方向滑动至少20mm的距离。需要说明的是，在具体使用中，根据均匀性需要，第一挡板3和第二挡板4是可以单独调整的，如果用一边的挡板遮挡满足生产要求的话，也是可行的；如果均匀性很差，那么可以使用两边的挡板遮挡。本技术的平面阴极溅射挡板，通过在原来不可调的平面阴极溅射挡板的开口部位加设一对相互之间距离可调节的挡板，可以根据平面阴极局部均匀性差异来调节挡板的开口宽度，从而使平面阴极的均匀性达到生产要求。尤其是，第一挡板伸向开口部位的伸出部位以及第二挡板伸向开口部位的伸出部位均为圆角，能够保证在溅射过程中不发生放电现象。 以上内容是结合具体的实施方式对本技术所作的进一步详细说明，不能认定本技术的具体实施只局限于这些说明。对于本技术所属
的普通技术人员来说，在不脱离本技术构思的前提下，还可以做出若干简单推演或替换，都应当视为属于本技术的保护范围。【主权项】1.一种平面阴极溅射挡板，包括第一阴极挡板本体和第二阴极挡板本体，所述第一阴极挡板本体与所述第二阴极挡板本体之间具有一个开口部位，其特征在于，所述第一阴极挡板本体上设置有与其平行且能够沿其表面滑动的第一挡板，所述第二阴极挡板本体上设置有与其平行且能够沿其表面滑动的第二挡板，所述第一挡板与所述第二挡板之间能够相向滑动或者相背滑动，所述第一挡板与所述第二挡板之间相向滑动时将所述开口部位部分封盖；所述第一挡板伸向所述开口部位的伸出部位为圆角，所述第二挡板伸向所述开口部位的伸出部位为圆角。2.根据权利要求1所述的平面阴极溅射挡板，其特征在于，所述第一阴极挡板本体与所述第一挡板之间在平面方向的可调节距离范围至少包括0mm-20mm，所述第二阴极挡板本体与所述第二挡板之间在平面方向的可调节距离范围至少包括0mm-20mm。3.根据权利要求1所述的平面阴极溅射挡板，其特征在于，所述第一挡板和所述第二挡板的形状均为三角形，并且三角形的第一挡板和第二挡板的一个角为所述伸出部位，呈圆角。4.根据权利要求1所述的平面阴极溅射挡板，其特征在于，所述第一挡板和所述第二挡板的形状均为梯形，并且梯形的第一挡板和第二挡板的顶部为所述伸出部位，所述顶部的两个顶角呈圆角。【专利摘要】本技术公开了一种平面阴极溅射挡板，包括第一阴极挡板本体和第二阴极挡板本体，第一阴极挡板本体与第二阴极挡板本体之间具有一个开口部位，第一本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种平面阴极溅射挡板，包括第一阴极挡板本体和第二阴极挡板本体，所述第一阴极挡板本体与所述第二阴极挡板本体之间具有一个开口部位，其特征在于，所述第一阴极挡板本体上设置有与其平行且能够沿其表面滑动的第一挡板，所述第二阴极挡板本体上设置有与其平行且能够沿其表面滑动的第二挡板，所述第一挡板与所述第二挡板之间能够相向滑动或者相背滑动，所述第一挡板与所述第二挡板之间相向滑动时将所述开口部位部分封盖；所述第一挡板伸向所述开口部位的伸出部位为圆角，所述第二挡板伸向所述开口部位的伸出部位为圆角。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：董清世，周枫，蔡法清，高昌龙，
申请(专利权)人：信义节能玻璃芜湖有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽;34