拼版蒸镀掩模制造技术

本发明专利技术提供一种即使在大型化的情况下也能够满足高精细化和轻量化二者的拼版蒸镀掩模的制造方法。配置于框体内的开口空间的多个掩模分别由设有缝隙的金属掩模、和位于该金属掩模的表面且纵横配置多列与要蒸镀制作的图案对应的开口部的树脂掩模构成，在其形成上，在所述框体上安装了各金属掩模及用于制作所述树脂掩模的树脂薄膜材料之后，通过对所述树脂薄膜材料进行加工，纵横地形成多个与要蒸镀制作的图案对应的开口部，制造上述构成的拼版蒸镀掩模。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种拼版蒸镀掩模，其在框体内的开口空间配置多个掩模而构成，其特征在于，所述各掩模具有：设有缝隙的金属掩模、位于所述金属掩模的表面且配置有与要蒸镀制作的图案对应的开口部的树脂掩模，由所述金属掩模的缝隙和所述树脂掩模的开口部形成的整个开口的截面形状为朝向蒸镀源方向扩展的台阶状。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：广部吉纪，松元丰，牛草昌人，武田利彦，小幡胜也，西村佑行，
申请(专利权)人：大日本印刷株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP