本发明专利技术提供振动元件、振子、振荡器、电子设备以及移动体，所述振动元件能够降低共振频率附近的不必要寄生振荡的产生，所述振子具有该振动元件。振动元件1包含：基板，其包含彼此处于正背关系的第1主面和第2主面；第1激励电极，其设置于第1主面；第2激励电极，其设置于第2主面；以及第1引出电极，其设置于第1主面，与第1激励电极连接，第1引出电极包含：第1电极部；以及第2电极部，其从第1电极部沿第1方向延伸，与第1激励电极连接，第2电极部的与第1方向交叉的第2方向的宽度比第1电极部窄，在将第1激励电极的面积设为S1，将第2电极部与第2激励电极重叠部分的面积设为S2时，满足(S2/S1)≤0.1。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及振动元件、具有该振动元件的振子、振荡器、电子设备以及移动体。
技术介绍
由于激励作为主振动的厚度剪切振动的AT切石英振子适宜小型化、高频化，并且 呈现频率温度特性优异的三次曲线，因此用于振荡器、电子设备等多方面。特别是，近年来 伴随着传送通信设备和0A设备的处理速度的高速化、或者通信数据和处理量的大容量化 的推进，对于作为用于该情况的基准频率信号源的AT切石英振子，高频化的要求强烈。因 此，通过使以厚度剪切振动进行激励的振动部分的厚度变薄，而实现高频化。 专利文献1公开了如下的AT切石英振动元件：其利用具有薄壁的振动部和沿振动 部的外缘的整周设置的厚壁部的逆台面构造来实现高频化，并具有：在振动部的彼此处于 正背关系的第1主面和第2主面上分别设置的一对激励电极；和从各激励电极延伸的一对 引出电极。在振动元件的俯视时，一对激励电极彼此大小不同，大的一方的激励电极将小的 一方的激励电极包围。 专利文献1:日本特开2012-253630号公报 然而，在专利文献1所述的振动元件中，由于具有从设置于一方的主面的较小一 方的激励电极延伸的引出电极与设置于另一方的主面的较大一方的激励电极相重叠的区 域，因此存在如下问题：该区域作为与由一对激励电极夹着的振动区域不同的振动区域发 挥功能，从而在共振频率附近产生不必要的寄生振荡（parasitic)。
技术实现思路
本专利技术是为了解决上述课题的至少一部分而完成的，能够通过以下的方式或者应 用例来实现。本应用例的振动元件的特征在于，所述振动元件包含：基板，其包含彼 此处于正背关系的第1主面和第2主面；第1激励电极，其设置于所述第1主面；第2激励 电极，其设置于所述第2主面；以及第1引出电极，其设置于所述第1主面，与所述第1激励 电极连接，所述第1引出电极包含：第1电极部；以及第2电极部，其从所述第1电极部沿第 1方向延伸，与所述第1激励电极连接，所述第2电极部的与所述第1方向交叉的第2方向 的宽度比所述第1电极部窄，当使所述第1激励电极的面积为S1，使所述第2电极部与所述 第2激励电极重叠部分的面积为S2时，满足（S2/S1) < 0. 1。 由此，得到能够降低共振频率附近的不必要寄生振荡的产生的振动元件。根据上述应用例的振动元件，其特征在于，所述重叠部分的沿着所述 第1方向的长度为20μL?以下。 由此，能够降低引出电极的电阻。根据上述应用例的振动元件，其特征在于，在俯视时，所述第1激励电 极配置在所述第2激励电极的范围内。 由此，能够稳定地发挥期望的振动特性。根据上述应用例的振动元件，其特征在于，在设所述基板的厚度为 t，设所述第1激励电极的沿着所述第2方向的长度为a时，满足（_1049Xt+57) < (a/ t) ^ (-64. 4Xt+57) 〇 由此，得到稳定的振动特性。根据上述应用例的振动元件，其特征在于，在设所述基板的厚度为 t，设所述第1激励电极的沿着所述第1方向的长度为b时，满足（_823Xt+42) < (b/ t)彡（_120Xt+42)。 由此，得到稳定的振动特性。本应用例的振子的特征在于，其具有上述应用例所述的振动元件以及 收容所述振动元件的封装。 由此，得到可靠性高的振子。本应用例的振荡器的特征在于，其具有上述应用例所述的振动元件以 及驱动所述振动元件的电路。 由此，得到可靠性高的振荡器。 本应用例的电子设备的特征在于，其具有上述应用例所述的振动元 件。 由此，得到可靠性高的电子设备。本应用例的移动体的特征在于，其具有上述应用例所述的振动元件。 由此，得到可靠性高的移动体。【附图说明】 图1示出本专利技术的第1实施方式的振动元件的简要结构，其中，（a)是示意俯视图， (b)是P-P线的示意剖面图，（c)是Q-Q线的示意剖面图。 图2是对AT切石英基板与石英的晶轴之间的关系进行说明的图。 图3是示出振动部的厚度与激励电极的大小之间的关系的图。 图4是示出振动部的厚度与激励电极的大小之间的关系的图。 图5是示出图1的振动元件的变形例1的示意俯视图。 图6是示出图1的振动元件的变形例2的示意俯视图。 图7是示出图1的振动元件的变形例3的示意俯视图。 图8是示出图1的振动元件的变形例4的示意俯视图。 图9是示出图1的振动元件的变形例5的示意俯视图。 图10是示出图1的振动元件的变形例6的示意俯视图。 图11是示出图1的振动元件的变形例7的示意俯视图。 图12是示出图1的振动元件的变形例8的示意俯视图。 图13是示出本专利技术的第2实施方式的振动元件的简要结构的示意俯视图。图14是示出本专利技术的第3实施方式的振动元件的简要结构的示意俯视图。图15是示出本专利技术的第4实施方式的振动元件的简要结构的示意俯视图。图16是示出本专利技术的第5实施方式的振动元件的简要结构的示意俯视图。 图17示出本专利技术的第6实施方式的振动元件的简要结构，其中，（a)是示意俯视 图，（b)是P-P线的示意剖面图，（C)是Q-Q线的示意剖面图。 图18是示出本专利技术的一实施方式的振子的简要结构的示意剖面图。 图19是示出本专利技术的一实施方式的振荡器的简要结构的示意剖面图。 图20是示出应用了具有本专利技术的一实施方式的振动元件的电子设备的便携式 (或者笔记本型）的个人计算机的结构的立体图。 图21是示出应用了具有本专利技术的一实施方式的振动元件的电子设备的移动电话 (也包含PHS)的结构的立体图。 图22是示出应用了具有本专利技术的一实施方式的振动元件的电子设备的数码照相 机的结构的立体图。 图23是概略地示出作为具有本专利技术的一实施方式的振动元件的移动体的一例的 汽车的立体图。 标号说明 1 :振动元件；2 :基板；3 :电极；4 :封装；10 :振子；20a:第1主面；20b:第2主面； 21 :振动部；21a、21b:第1外缘；21c、21d:第2外缘；21e:第3外缘；21f:第4外缘；22 :振 动区域；23 :厚壁部；24 :第1厚壁部；24a:倾斜部；24b:厚壁部主体；25 :第2厚壁部；25a: 倾斜部；25b:厚壁部主体；26 :外缘部；27a、27b:端部；29 :缝隙；31 :第1激励电极；32 :第 2激励电极；33、34 :衬垫电极；35a:第1电极部；35b:第2电极部；36 :第1引出电极；37 : 第2引出电极；38 :外缘部；41 :基底；42 :盖；43 :凹部；44、45 :内部端子；46、47 :外部安装 端子；51 :导电性粘接剂；52 :键合线；100 :振荡器；110 :IC芯片；120 :内部端子；130 :键 合线；1000 :显示部；1100 :个人计算机；1102 :键盘；1104 :主体部；1106 :显示单元；1200 : 移动电话；1202 :操作按钮；1204 :听筒口；1206 :话筒口；1300 :数码照相机；1302 :壳体； 1304 :受光单元；1306 :快门按钮；1308 :存储器；1312 :视频信号输出端子；1314 :输入输出 端子；1330 :电视监视器；1340 :个人计算机；1400 :汽车；Dl、D2 :分离距离；R:区域；S:收 纳空间。【具体实施方式】 以下，根据附图本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种振动元件，其特征在于，所述振动元件包含：基板，其包含彼此处于正背关系的第1主面和第2主面；第1激励电极，其设置于所述第1主面；第2激励电极，其设置于所述第2主面；以及第1引出电极，其设置于所述第1主面，与所述第1激励电极连接，所述第1引出电极包含：第1电极部；以及第2电极部，其从所述第1电极部沿第1方向延伸，与所述第1激励电极连接，所述第2电极部的与所述第1方向交叉的第2方向的宽度比所述第1电极部窄，在设所述第1激励电极的面积为S1，俯视时所述第2电极部与所述第2激励电极的重叠部分的面积为S2时，满足(S2/S1)≤0.1。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：小幡直久，山本雄介，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP
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