一种硅片切削回收液去水装置制造方法及图纸

技术编号:12771392 阅读:97 留言:0更新日期:2016-01-22 23:53
本实用新型专利技术提供了一种硅片切削回收液去水装置,旨在解决现有的蒸馏设备用在热能利用率低的问题,包括罐体、出汽管、进液管、出液管和加热器;罐体内设有储液腔和加热腔,储液腔和加热腔之间设有供液通道,供液通道上设有阀门;进液管与出液管均连接在罐体上;出汽管套接在进液管上,出汽管与进液管之间形成排汽通道,所述罐体上设有使储液腔与外部连通的透气孔。本实用新型专利技术通过加热器对加热腔内的切削回收液进行加热,待水分受热变成蒸汽后从排汽通道排出,出汽管套接在进液管上,蒸汽对进液管内的切削回收液进行预热,提高了热能的利用率,减少了热能浪费,同时有利于将蒸汽变成水流排出,透气孔有利于储液腔内的切削回收液顺利流进加热腔内。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及硅片切割领域,尤其涉及一种硅片切削回收液去水装置
技术介绍
硅片切割中砂浆在线回收技术在国内开始兴起,越来越多的厂家开始自己购买设备自己回收砂浆,但回收的切削液中水分会随着回收次数增加而增加,虽然不同机型对切削液水含量的上限要求不同,但切削液中水的含量越低产品合格率越高。现在许多专门做回收砂浆的厂家用的都是蒸馏设备,对分离出来的切削液进行蒸馏,但现有的蒸馏设备价格比较昂贵,并且热能利用率低,浪费严重,耗时较长,对于重点做硅片生产的中小型企业买这种设备不实际。
技术实现思路
本技术提供了一种硅片切削回收液去水装置,旨在解决现有的蒸馏设备用在热能利用率低的问题。为了解决以上技术问题,本技术通过以下技术方案实现:一种硅片切削回收液去水装置,包括罐体、出汽管、进液管、出液管和加热器;所述罐体内设有储液腔和加热腔,储液腔和加热腔之间设有供液通道,供液通道上设有阀门;进液管与出液管均连接在罐体上,进液管与储液腔相通,出液管与加热腔相通;出汽管套接在进液管上,出汽管与进液管之间形成排汽通道,所述罐体上设有使储液腔与外部连通的透气孔。进一步,所述储液腔位于加热腔的上方;方便储液腔内的切削回收液流进加热腔内。进一步,所述阀门包括手柄、阀杆和球形阀芯,球形阀芯上设有阀芯槽,球形阀芯转接在供液通道上,手柄位于罐体的外部,阀杆固定在球形阀芯与手柄之间;便于控制储液腔内的切削回收液流进加热腔。进一步,所述罐体的外侧壁上设有一层保温层;减少罐体内热量的流失。与现有技术相比本技术的优点是:本技术通过加热器对加热腔内的切削回收液进行加热,待水分受热变成蒸汽后从排汽通道排出,出汽管套接在进液管上,蒸汽对进液管内的切削回收液进行预热,提高了热能的利用率,减少了热能浪费,同时有利于将蒸汽变成水流排出,透气孔有利于储液腔内的切削回收液顺利流进加热腔内。【附图说明】下面结合附图对本技术作进一步说明:图1为本技术的结构示意图。【具体实施方式】参阅图1,一种硅片切削回收液去水装置,包括罐体1、出汽管2、进液管3、出液管4和加热器5 ;所述罐体1内设有储液腔11和加热腔12,储液腔11和加热腔12之间设有供液通道13,供液通道13上设有阀门6 ;进液管3与出液管4均连接在罐体1上,进液管3与储液腔11相通,出液管4与加热腔12相通;出汽管2套接在进液管3上,出汽管2与进液管3之间形成排汽通道7,所述罐体1上设有使储液腔11与外部连通的透气孔14。所述储液腔11位于加热腔12的上方。所述罐体1的外侧壁上设有一层保温层8。所述阀门6包括手柄61、阀杆62和球形阀芯63,球形阀芯63上设有阀芯槽631,球形阀芯63转接在供液通道13上,手柄61位于罐体1的外部,阀杆62固定在球形阀芯63与手柄61之间。工作时,通过进液管3向储液腔11内提供切削回收液,进液管3内的切削回收液经排汽通道7内的蒸汽预热;储液腔11内的切削回收液通过阀门6和供液通道13流向加热腔12,加热器11对加热腔12内的切削回收液进行加热,将水份变成蒸汽从排汽通道7排出。本技术通过加热器对加热腔内的切削回收液进行加热,待水分受热变成蒸汽后从排汽通道排出,出汽管套接在进液管上,蒸汽对进液管内的切削回收液进行预热,提高了热能的利用率,减少了热能浪费,同时有利于将蒸汽变成水流排出,透气孔有利于储液腔内的切削回收液顺利流进加热腔内。以上所述仅为本技术的具体实施例,但本技术的技术特征并不局限于此,任何本领域的技术人员在本技术的领域内,所作的变化或修饰皆涵盖在本技术的专利范围之中。【主权项】1.一种硅片切削回收液去水装置,其特征是:包括罐体(1)、出汽管(2)、进液管(3)、出液管⑷和加热器(5);所述罐体⑴内设有储液腔(11)和加热腔(12),储液腔(11)和加热腔(12)之间设有供液通道(13),供液通道(13)上设有阀门¢);进液管(3)与出液管(4)均连接在罐体(1)上,进液管(3)与储液腔(11)相通,出液管(4)与加热腔(12)相通;出汽管⑵套接在进液管⑶上,出汽管⑵与进液管⑶之间形成排汽通道(7),所述罐体(1)上设有使储液腔(11)与外部连通的透气孔(14)。2.根据权利要求1所述的一种硅片切削回收液去水装置,其特征是:所述储液腔(11)位于加热腔(12)的上方。3.根据权利要求1所述的一种硅片切削回收液去水装置,其特征是:所述阀门(6)包括手柄出1)、阀杆出2)和球形阀芯(63),球形阀芯¢3)上设有阀芯槽¢31),球形阀芯(63)转接在供液通道(13)上,手柄¢1)位于罐体(1)的外部,阀杆¢2)固定在球形阀芯(63)与手柄(61)之间。4.根据权利要求1所述的一种硅片切削回收液去水装置,其特征是:所述罐体(1)的外侧壁上设有一层保温层(8)。【专利摘要】本技术提供了一种硅片切削回收液去水装置,旨在解决现有的蒸馏设备用在热能利用率低的问题,包括罐体、出汽管、进液管、出液管和加热器;罐体内设有储液腔和加热腔,储液腔和加热腔之间设有供液通道,供液通道上设有阀门;进液管与出液管均连接在罐体上;出汽管套接在进液管上,出汽管与进液管之间形成排汽通道,所述罐体上设有使储液腔与外部连通的透气孔。本技术通过加热器对加热腔内的切削回收液进行加热,待水分受热变成蒸汽后从排汽通道排出,出汽管套接在进液管上,蒸汽对进液管内的切削回收液进行预热,提高了热能的利用率,减少了热能浪费,同时有利于将蒸汽变成水流排出,透气孔有利于储液腔内的切削回收液顺利流进加热腔内。【IPC分类】B28D5/00【公开号】CN204977082【申请号】CN201520598773【专利技术人】陈小力, 江辉 【申请人】浙江辉弘光电能源有限公司【公开日】2016年1月20日【申请日】2015年8月10日本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种硅片切削回收液去水装置,其特征是:包括罐体(1)、出汽管(2)、进液管(3)、出液管(4)和加热器(5);所述罐体(1)内设有储液腔(11)和加热腔(12),储液腔(11)和加热腔(12)之间设有供液通道(13),供液通道(13)上设有阀门(6);进液管(3)与出液管(4)均连接在罐体(1)上,进液管(3)与储液腔(11)相通,出液管(4)与加热腔(12)相通;出汽管(2)套接在进液管(3)上,出汽管(2)与进液管(3)之间形成排汽通道(7),所述罐体(1)上设有使储液腔(11)与外部连通的透气孔(14)。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:陈小力江辉
申请(专利权)人:浙江辉弘光电能源有限公司
类型:新型
国别省市:浙江;33

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