搬送系统技术方案

本发明专利技术提供的搬送系统，其在托盘的底面上设有开口，在工位上设有嵌合在该开口的浮起搬送用的喷出组件。通过传送带使托盘能自由地从工位取出或放入，使托盘的侧面高度低于前后面的高度，能将搬送物在托盘和浮起搬送装置之间自由地取出或放入。这样，能将搬送物在托盘搬送和浮起搬送之间取出或放入。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种搬送系统，其是将由托盘进行的搬送和浮起搬送加以组合的。
技术介绍
以前，液晶衬底等搬送物的搬送都是每箱收容几张左右并以箱为单位地进行的，但随着液晶衬底的大型化至2m见方左右，这种成箱搬送的方式就难以办到。因此就考虑到在每个托盘上载置一片液晶衬底，以托盘为单位而进行搬送。但是，在向处理装置等取出或放入液晶衬底时，需要将液晶衬底从托盘取出或放入。作为处理装置侧的搬送，专利技术人从清理度这一点着手、对浮起搬送进行了研究。由此在用托盘进行的搬送装置和浮起搬送装置之间，需要能将液晶衬底等大型的搬送物从托盘取出或放入的工位。在这里还考虑了用机械手的手等进行移载，但对2m见方左右的大型衬底用机械手进行处理是不现实的。
技术实现思路
本专利技术的基本课题是提供一种搬送系统，其是不用机械手的手等就能将搬送物从托盘中取出或放入。本专利技术2的附加课题是提供一种搬送系统，在将搬送物从托盘中取出或放入时，用少的喷出量就能确实使搬送物浮起，能以稳定的姿态取出或放入。本专利技术3、4的附加课题是提供一种搬送系统，在从托盘取出或放入时，能防止搬送物与托盘相互干涉。本专利技术的搬送系统其是在托盘上各载置一片搬送物而进行搬送的搬送系统，其特征在于，在托盘的底部设有开口，而且还设有工位，该工位具有用于经由托盘底部的开口将气体喷出而对搬送物进行浮起搬送的浮起搬送装置和托盘搬送用的传送带。最好，在上述浮起搬送装置上设置着俯视为收容在托盘底部的开口内的喷出组件，而且设置着用于使浮起搬送装置和上述托盘搬送用的传送带相对地升降的升降机构，并使上述喷出组件的位置能在进入到上述开口内的状态和处于比开口还下部的状态之间自如地转换。而且最好，至少设有浮起用喷出口和搬送用喷出口2种喷出口来作为上述浮起搬送装置的喷出口，并在浮起用喷出口使搬送物浮起到与托盘不干涉的高度之后，在搬送用喷出口将搬送物向托盘外推进。本专利技术是用传送带将托盘搬入搬出到工位上，用托盘底部的开口对搬送物进行浮起搬送，由此能将搬送物从托盘取出或放入。由于使用浮起搬送，因而即使是很脆弱的搬送物也不会受到损伤、而且不必使用巨大的机械手的手部等就能将搬送物从托盘取出或放入。由于本专利技术2是使托盘和喷出组件相对地升降，因而用小的喷出量就能使搬送物确实地浮起，其结果是在取出或放入时、能稳定地保持搬送物的姿态。由于本专利技术3、4是先使搬送物浮起，然后进行推进，因而能确实防止托盘和搬送物的干涉。附图说明图1表示实施例所用的浮起搬送装置中的浮起用组件和推进用组件的示意图。图2模式地表示使放气窗方向可变的组件的剖面图。图3表示实施例的浮起搬送装置中、向搬送通路的幅度方向配置的组件的示意图。图4表示实施例的浮起搬送装置中的对搬送物的姿态进行矫正的矫正机构的示意图。图5表示在实施例中的浮起搬送装置的配置的示意图。图6表示使用喷嘴的浮起搬送装置的主要部分的俯视图。图7表示实施例的搬送系统中、在托盘/浮起搬送装置之间的工位和托盘仓库的示意图。图8表示实施例中的托盘、在托盘/浮起搬送装置之间的工位和托盘仓库的俯视图。图9是实施例的托盘和工位的侧视图(表示除了前面一侧的传送带(コンベヤ)之外的工位)。图10表示从实施例的工位上的托盘将搬送物取出、放入的算法的说明图。具体实施例方式下面，对实施本专利技术的最佳实施例进行说明。图1～图5表示使用风扇或鼓风机的最佳实施例。图1中表示浮起用组件2和推进用组件4的例子，在任意一个组件内部都设有风扇10，在其框体6、7的上部形成喷出口8、9。在浮起用组件2的情况下，空气喷出的方向譬如是正上方。而且在推进用组件4的情况下，空气喷出的方向是斜上方，为此，安装着放气窗12、13。组件2、4上都设有风扇10，除了对由放气窗12、13的喷出方向进行调整以外，能使来自风扇10的送风直接到达喷出口8、9，在喷出板6、7和风扇10之间、送风通路没有弯曲(折弯)。其结果是来自风扇10的出口的压力损失，除了由放气窗12、13形成的以外几乎没有。而且风扇10是譬如每个组件2、4上各设置1个，风量是能独立地控制的。而且由于进行送风的空气是由风扇10将组件2、4下侧的空气向上侧送出，因而不需要配管或压缩机，也不需要高压空气的槽缸、喷嘴等设备。这里的风扇10是轴流式风扇，经风压换算、它的输出是0.1大气压以下(10Kpa以下)，可以用风压是0.2大气压以下的鼓风机等设备替代风扇，而最好是使用价格便宜、运转所需要的能量较小的风扇。组件2、4表面尺寸譬如是做成1边为5cm×5cm～20cm×20cm左右，在本实施例中、表面是10cm见方的大致正方形状，高度是设置放气窗12、13所需要的高度+风扇10的厚度。作为搬送物的液晶衬底用玻璃，譬如是1边为1～2m左右的长方形状，质量是10Kg左右，沿着搬送通路的左右方向(在水平面内与搬送方向成直角的方向)，排列着5～40个左右的组件2、4，这些组件中，有推进用、浮起用、对中心用等种类，通过根据衬底的位置对组件中的风扇的接通/断开或风量进行控制，就能极细致地控制搬送物的姿态或速度等。图2表示变形例中的风扇组件20时，22是可动放气窗，可以由图中没有表示的执行元件改变其方向，随着这改变作为向正上方送风的浮起用组件使其动作，也可以作为向斜前方或向斜后方等送风的推进用或停止用的组件等使其动作。组件2、4等是沿着搬送方向成直线状排列的，但在与搬送方向成直角的方向上，譬如相互不同配置，作为整体成锯齿状。另外可以将组件2、4作为整体而配置成格子状，通过将浮起组件2和推进用组件4相互不同地配置，也能以各个组件2、4为单位配置成锯齿状。而且，与搬送方向平行的组件的列与列之间的间隙构成导引件通路15，在由图中没有表示的导引件等对衬底进行导引的情况下，使导引件沿着导引通路15移动。而且间隙16是用于能容易地进行组件2、4的设置或维护等的间隙，可以不特别地设置。导引件通路15或间隙16的底面可以是密封的，使组件2、4喷出的空气不会泄漏。另外导引件通路15或间隙16的底面也可以是不密封的，将组件2、4喷出的空气中从该部分回收、返回到图中没有表示的风扇组件上而再供给，使浮起用的空气进行循环而不泄漏到外部。图3表示在搬送通路30的左右方向上组件的配置。譬如在搬送通路30的中央设置高速推进用组件32，在其两侧设置低速推进用组件33、33。这里，推进组件32、33合计成3列，但也可以成1列或5列。而且在设置3列以上的情况下，例如可在中央部设置1～3列左右的高速推进用组件32，在其两侧分别设置1～3列左右的低速推进用组件33。在低速推进用组件33的两个外侧分别设置多列浮起用组件34，向正上方喷出空气使搬送物浮起，在其两个外侧设置对中心组件36、36，使空气向搬送通路30内侧的斜上方喷出。另外可以在高速推进用组件32的列和低速推进用组件33的列之间配置浮起用组件34的列，也可以使浮起用组件34混在高速推进用组件32的列中或混在低速推进用组件33的列中。而且、对中心组件36、36设置成经常比搬送物40更处于左右方向的外侧。38是导引件、在搬送通路30侧的表面上配置缓冲构件等构件，因此可以防止搬送物体搬送通路30突出。当取代板状导引件38而设置棒状导引件39等，并在其表面卷绕上缓冲构件时，就能解除由于搬送物的棱角与本文档来自技高网...

【技术保护点】
搬送系统，其是在托盘上各放置一片搬送物而进行搬送的搬送系统，其特征在于，在托盘的底部设有开口，而且还设有工位，该工位具有用于经由托盘底部的开口将气体喷出而对搬送物进行浮起搬送的浮起搬送装置和托盘搬送用的传送带。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：田原良佑，皆川和人，
申请(专利权)人：村田机械株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]