传送装置、导正结构、传送及导正基板的方法制造方法及图纸

技术编号:1273734 阅读:178 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术涉及一种传送装置、导正结构、传送及导正基板的方法,该传送装置包括多个滚轴以及导正组件。多个滚轴构成一承载平面,多个滚轴滚动用以传送基板。导正组件介于多个滚轴其中的两个滚轴之间,导正组件具有两个与该承载平面相交的倾斜部,所述倾斜部相对并分别朝相反方向倾斜。前述两个倾斜部各具有高于该承载平面的第一端以及低于该承载平面的第二端,其中第一倾斜部的第一端与第二倾斜部的第一端之间的距离大于第一倾斜部的第二端与第二倾斜部的第二端之间的距离。该装置可于基板下放过程的同时导正基板,缩短制造时间,避免产值损失,此外大幅度缩减成本并有效减少后续维修成本,且导正效果良好,适用现有机台规格。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种传送及导正基板的装置及方法,且特别涉及一种于传送 过程中用以导正基板的装置及其方法。
技术介绍
传统基板清洗机台的入口处会设置输送基板的装置,基板通过机械手臂 来置放于输送装置上,基板经过输送装置后直接送入清洗部的入口。由于输 送装置本身缺乏导正的机构,如果机械手臂在放置基板时就已经产生偏移, 则在后续的传送过程中只会放大偏移量,再加上后续洗净过程的应力作用, 将产生更大的偏移,甚至偏离预设轨道与机台碰撞而导致破片等问题。基于上述问题,业界发展出一套导正基板的设备,其包括硬件以及控制 软件,在原有清洗机台上加装导正机构以及伺服马达,并通过可编程逻辑控制器(Programmable Logic Controller; PLC)数字控制软件来驱动伺服马达,以 控制导正机构的移动状态。待机械手臂将基板放置在传送装置之后,数字控 制软件会进行检测和判断,并根据判断结果驱动导正机构由基板的侧面逐一 地将基板推向正轨,直到在数字控制软件判断基板不再偏移之后才会将基板 送入清洗部入口。然而,加装上述设备的费用较高,且后续维修成本也相当可观。此外, 由于上述导正机构是在原有的清洗过程中多产生一道导正的步骤,使得原有 制造时间必须拉长,势必造成产值损失。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种导正基板的装置及其方法,其将导正组件设 置于传送装置内,可于基板下放过程中同时导正基板。本专利技术披露一种传送装置,其包括多个滚轴以及第一导正组件。多个滚 轴构成一承载平面,多个滚轴滚动用以传送基板。第一导正组件介于多个滚轴的其中两个滚轴之间,第一导正组件具有两个与该承载平面相交的倾斜 部,此两个倾斜部相对并分别朝相反方向倾斜。前述两个倾斜部各具有高于 该承载平面的第一端以及低于该承载平面的第二端,第一倾斜部的第一端与 第二倾斜部的第一端之间的距离大于第一倾斜部的第二端与第二倾斜部的 第二端之间的距离。本专利技术另披露一种导正结构,用以装设于前述传送装置中,该传送装置 具有底座以及位于该底座上方的承载平面,该导正结构包括第一导正组件以 及第二导正组件。第一导正组件包括两个第一支架以及两个第一倾斜部。第 -支架设置于该底座上,第一倾斜部设置于第一支架上。第一倾斜部与该承 载平面相交,其中第一倾斜部与该承载平面相交处之间的距离大约等于一片 基板的宽度。前述两个第一倾斜部相对并分别朝相反方向倾斜,两个第一倾 斜部各具有高于该承载平面的第一端以及低于该承载平面的第二端,其中两 个第一端之间的距离大于两个第二端之间的距离。第二导正组件包括两个第 二支架以及两个第二倾斜部。第二支架皆设置于传送装置的所述多个滚轴的 其中两个滚轴之间。第二倾斜部与该承载平面相交,其中该第二倾斜部与该 承载平面相交处之间的距离大约等于一片基板的宽度。两个第二倾斜部相对 并分别朝相反方向倾斜,且两个第二倾斜部各具有高于该承载平面的第一端 以及低于该承载平面的第二端,其中两个第一端之间的距离大于两个第二端 之间的距离。本专利技术另披露一种导正基板的方法,该方法由一传送装置来执行,该传 送装置包括多个滚轴以及第一导正组件,其中多个滚轴实质上平行排列,所 述多个滚轴的轴心方向定义为第一方向,第一导正组件介于多个滚轴的其中 两个滚轴之间,该第一导正组件包括两个倾斜部,所述倾斜部突出于由所述 多个滚轴构成的一承载平面,所述两个倾斜部相对并分别朝该第一方向以及 与该第一方向相反的第二方向倾斜;该方法包括如下步骤将一基板由两个 倾斜部上方沿着该承载平面的法线方向向下移动至所述多个滚轴;以及滚动所述多个滚轴,以沿着垂直于该第一方向的第三方向传送该基板。本专利技术的有益技术效果在于,本专利技术的传送与导正基板的装置及方法, 其于滚轴之间设置导正组件,使得基板在下放于传送装置的过程中即可完成 导正,縮短制造时间,避免产值损失。此外,本实施例无需数字控制软件,也无需改装机台,只要在原有机台上简单地设置导正组件倾斜部即可发挥导 正功效,大幅度縮减成本并有效减少后续维修成本,且导正效果良好,适用 现有机台规格。为让本专利技术的上述内容能更明显易懂,下文特列举较佳实施例,并配合 附图,作详细说明如下。附图说明图1为本专利技术的传送装置的较佳实施例的立体图。图2为本专利技术的传送装置的较佳实施例的侧视图。图3A至图3C为本专利技术的导正基板的方法的较佳实施例的示意图,其中,附图标记说明如下99:入口100:传送装置101:基板102:底座104:升降器106:承载器110、110a、 110b、 110c、 110d、 110e:滚轴120:第一导正组件120,:第二导正组件122:滑轨124、126:支架130、 140、 130,、132、142、 132'、 142':倾斜部的第一—山 -顺134、144、 134'、 144':倾斜部的第二A山 .乂而倾斜部具体实施方式图1为本专利技术的传送装置的较佳实施例的立体图。如图1所示,传送装置100包括多个滚轴IIO(包括110a、 110b、 110c、 110d)以及第一导正组件 120。多个滚轴IIO(包括110a、 110b、 110c、 110d)构成承载平面(如图2所 示的标号A,即XY平面),滚轴110可滚动,用以传送基板101。第一导正 组件120介于其中两个滚轴110b及U0c之间。请同时参照图1及图2,图2为本专利技术的传送装置的较佳实施例的侧视 图。第一导正组件120具有两个与承载平面A相交的倾斜部130、 140,两 个倾斜部130、 140相对并分别朝相反方向倾斜,此两个倾斜部130、 140各具有高于承载平面A的第一端132、 142以及低于承载平面的第二端134、 144,两个第一端132、 142之间的距离X1大于两个第二端134、 144之间的 距离X2。以较佳实施例而言,前述两个倾斜部130、 140与承载平面A相交处之 间的距离X3大约等于基板101的宽度。在另一较佳实施例中,前述两个倾 斜部130、 140与承载平面A的夹角大于或等于45度,如此一来,倾斜部的 倾斜程度才足以致使基板受重力自行滑动,使得倾斜部发挥导正基板的作 用。在最佳实施例中,前述两个倾斜部130、 140与承载平面A的夹角介于 45度与60度之间。由于倾斜部不可避免地会与基板101产生摩擦,因此倾 斜部130与140较佳的是采用耐磨材质,例如是工程塑料,在较佳实施例中, 两个倾斜部130与140是由聚醚醚酮(polyaryletherketone,peek)类的工程塑料 所制成。请参照图l,第一导正组件120包括滑轨122以及两个支架124、 126。 滑轨122设置于底座102上,两个支架124、 126设置于滑轨122上,并可 于滑轨122中移动,两个倾斜部130及140分别设置于两个支架124及126 1:。当两个支架124与126沿着士Y方向于滑轨122上滑动时,设置于两个 支架124与126上的两个倾斜部130及140也会随着移动,因此,通过沿着 滑轨122移动支架124与126的位置,便可以将两个倾斜部130、 140与承 载平面A相交处之间的距离X3调整为预设距离,例如是不同尺寸的基板宽 度。如此一来,在无须额外的硬件或软件设备的情况下,本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种传送装置,包括:多个滚轴,构成一承载平面,所述多个滚轴滚动用以传送一基板;以及第一导正组件,设于所述多个滚轴的其中两个滚轴之间,该第一导正组件具有与该承载平面相交的两个倾斜部,所述两个倾斜部相对并分别朝相反方向倾斜,所述两个倾斜部各具有高于该承载平面的一第一端以及低于该承载平面的一第二端,所述两个倾斜部的第一端之间的距离大于所述两个倾斜部的第二端之间的距离。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:林集祥詹景翔何铭祥
申请(专利权)人:友达光电股份有限公司
类型:发明
国别省市:71[中国|台湾]

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