半导体气敏元件的测试方法技术
【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于半导体敏感元件测试领域，尤其涉及一种半导体气敏元件的测试方法。
技术介绍
当半导体气体传感器技术的发展如火如荼之时，半导体气敏元件测试技术的发展并未跟上气体传感器技术发展的速度。人类对客观世界的认识和改造活动，往往以测试工作为基础。工程测试技术就是利用现代测试手段对工程中的各种信号，特别是随时间变化的动态物理信号进行检测、试验、分析，并从中提取有用信息的一门新兴技术。其测量和分析的结果客观地描述了研究对象的状态、变化和特征，并为进一步改造和控制研究对象提供了可靠的依据。同样，传感器技术的研究进展也离不开其测试手段的提高。目前，限制半导体气体传感器的研究进展和规模化生产的一个重要因素是检测手段落后，测试环境复杂、测试效率、精度低，同时由于缺少完善的测试设备，得不到气体传感器各种特性的完整参数和曲线，也限制了半导体气体传感器的进一步研究和应用，因此，无论对于生产和科学研究，都急需一套完善的半导体气体传感器性能参数测试系统。由于半导体气体传感器在现实中的重要意义和气体传感器测试的重要性，国内外的科研人员都对半导体气体传感器的测试系统做了大量的深入研究工作，他们采用不同的方式组建了功能各异的半导体气体传感器测试系统，对传感器性能测试及其标定技术的发展发挥了重要的作用。纵观这些测试系统，基本上都是由计算机、仪器硬件、传感器测试腔等几个部分组成，目前，国外的L.Harve...
【技术保护点】
一种半导体气敏元件的测试方法，其特征在于，具有：半导体气体传感器测试系统组建与测试的步骤，及对半导体气体传感器测试系统及半导体气敏元件性能分析的步骤。
【技术特征摘要】
1.一种半导体气敏元件的测试方法，其特征在于，具有：
半导体气体传感器测试系统组建与测试的步骤，及对半导体气体
传感器测试系统及半导体气敏元件性能分析的步骤。
2.如权利要求1所述的半导体气敏元件的测试方法，其特征在于，所
述半导体气体传感器测试系统组建与测试的步骤中，半导体气体传感
器测试系统用于对不同气体在给定浓度下进行动态配气及使多支传
感器阵列在气体通入时对气敏元件表面电导率的变化进行实时监测；
所述半导体气体传感器测试系统包括：自动进行样品气体浓度配
比的进样装置、气体传感器加热与测温装置、用于与进样装置协调动
作，并在不同的气样环境下自动采集4～6路气体传感器测量信号的
信号测量与数据采集电路、对采集的测量信号进行数据处理的数据处
理电路；和对进气过程和室温变化所引起的温度变化进行补偿的温度
补偿电路；
气体传感器阵列安装在气室中，气体传感器所测得的气体浓度变
化是气室中气体的变化，气室为内腔形状圆滑且近似方形的干燥的有
机玻璃腔；
所述气体传感器加热与测温装置对气敏元件进行加热，并实时测
量气体传感器的工作温度；当传感器的工作温度因环境温度或气流影
响发生变化时，温度补偿电路实时进行温度补偿控制，使传感器的工
作温度保持不变；所述信号测量与数据采集电路用于对信号调节和
AD采样，信号调节为用于将气体传感器对测试气样的响应转变为电
信号，AD采样将模拟信号通过数据处理电路将模拟信号转变为数字
\t信号，并将采集到的4～6路传感器信号经过归一化处理，转变为B
P神经网络所需要的标准信号；
标准气样输出被分成二路或多路，各自由一个质量流量控制器控
制，并接入测试装置，载气和待测气体分别在质量流量控制器的控制
下进入干燥罐充分混合，配成目标测试气样并进入测试装置中的测试
腔中，气体传感器测试系统在计算机的控制下对所设定的目标浓度气
体进行配气，将一种或多种标准浓度的目标气样和标准的载气按照比
例进行配比，并在质量流量控制器控制下通入混合通道内进行充分混
合，当混合后的测试气样通入测试腔时，对气室内气体传感器阵列的
4～6路响应信号进行采集，并将获得的气体传感器阵列对样品气体
的响应信息传送到计算机上进行数据处理和数据分析，使测试气体进
气、响应信号采集和数据处理顺序进行；当温度监测系统发现半导体
气敏元件工作温度发生变化时，温度补偿电路实时进行元件工作温度
补偿，调节电阻丝的加热电压，使元件的工作温度保持不变。
3.如权利要求1或2所述的半导体气敏元件的测试方法，其特征在于，
所述气体传感器测试系统的软件部分包括气路控制模块、电压采样模
块、温度补偿模块、数据处理模块和显示功能模块，其中：
气路控制模块对控制参数设置，所述参数包括通气前时间、通气
时间、停气后时间、数据采样时间间隔、混合气体种类、各种...
【专利技术属性】
技术研发人员：杜海英，孙炎辉，王述刚，
申请(专利权)人：大连民族大学，
类型：发明
国别省市：辽宁;21
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。