线监测系统和线锯装置制造方法及图纸

本公开文本提供一种用于线锯装置的线监测系统(100)和线锯装置。线监测系统(100)包括传感器排列，配置所述传感器排列检测线锯装置的线的至少两个线部分(22)之间的相对距离(24)。根据又一方面，提供一种线锯装置。线锯装置包括线监测系统。线监测系统包括传感器排列，配置所述传感器排列检测线锯装置的线网的至少两个线部分之间的相对距离。

【技术实现步骤摘要】

本文描述的实施例涉及一种用于线锯装置的线监测系统和一种线锯装置。本实施例的线锯装置特别适用于切割或锯切硬质材料(如硅块或石英块)，例如用于切割硅晶片、娃锭或类似物。
技术介绍
线锯装置用于切割工件或硬质材料(例如，硅)锭块。使用线锯装置切割或晶片化工件或锭块以便裁剪、切成方形或切片。在这种线锯装置中，从线轴送线，并通过线导向器引导和拉紧。在线锯装置中可使用不同类型的线。例如，金刚石线可与冷却剂结合使用。在切割期间，沿线长度迅速移动线，并在大体上垂直于线方向的切割方向上通过工件供应板或工作台比较缓慢地移动工件或锭块。线可卷绕在线导向器(如滚筒)周围以形成线网。可对这些线导向器开槽，其中通过线张力使线保持在所谓的线导向槽内部。凹槽可以是等距的，以便切片工件或锭块获得具有规则和相等厚度的晶片。使用线锯装置的一个问题是发生跳线和所谓的“薄厚效应”，其中与标称厚度值相比，一些晶片较薄，而另一些晶片较厚。可通过线网的目视检查或通过用手指触摸网和感测网的均匀性来检测跳线。使用较小直径线的趋势使得这种手动检测方法很难。鉴于上述情况，需要监测线网以便实现线锯装置的更高效率。尤其是需要监测线网以便检测薄厚效应和/或跳线的发生。
技术实现思路
鉴于上文所述，本技术提供一种用于线锯装置的线监测系统和一种线锯装置。本技术实施例的进一步方面、优点和特征将自从属权利要求、描述和附图显而易见。根据一个方面，提供一种用于线锯装置的线监测系统。线监测系统包括传感器排列，配置所述传感器排列检测半导体线锯装置的线网的至少两个线部分之间的相对距离。根据另一方面，提供一种用于线锯装置的线监测系统。线监测系统包括传感器排列，配置所述传感器排列检测线锯装置的线网的至少两个线部分之间的相对距离，传感器排列包含至少一个照明装置和至少一个直线传感器阵列，其中在与至少一个直线传感器阵列间隔第一距离处定位至少一个照明装置以界定至少一个照明装置与直线传感器阵列之间的线接收区域，且其中线接收区域被配置用于引导线网通过线接收区域。根据又一方面，提供一种线锯装置。线锯装置包括本文描述的线监测系统。线监测系统包括传感器排列，配置所述传感器排列检测线锯装置的线网的至少两个线部分之间的相对距离。实施例还针对用于实施所公开方法的设备和包括用于执行每个所描述方法步骤的设备部件。可通过硬件组件、由适当软件编程的计算机、通过上述两者的任意组合或以任何其他方式执行这些方法步骤。【附图说明】因此，为可详细理解本公开文本的实施例的上述特征结构，可参考本文描述的实施例获得上文简要概述的实施例的更具体描述。附图涉及本公开文本的实施例，并描述如下:图1图示根据本文描述的实施例的位于线导向筒上的线网和线监测系统的示意性前视图；图2图示根据本文描述的实施例的位于线导向筒上具有跳线的线网和线监测系统的不意性如视图；图3图示根据本文描述的实施例的具有线监测系统的线锯装置的示意性横截面侧视图；图4图示根据本文描述的实施例的线监测系统的示意性横截面视图；图5(a)_(c)图示根据本文描述的实施例的说明线监测系统运作的曲线图；图6图示根据本文描述的进一步实施例的具有线监测系统的线锯装置的示意性横截面侧视图；图7图示根据本文描述的实施例的线监测系统的传感器装置的传感器排列的示意性视图；和图8图示用于监测线锯装置中的线的方法的流程图，以便更好地理解本文描述的线监测系统和线锯。【具体实施方式】现将详细参考本公开文本的各个实施例，在图中图示这些实施例的一或更多个例子。在附图的以下描述中，相同附图标号指代相同组件。大体只仅描述相对于个别实施例的不同之处。通过解释本公开文本实施例的方式提供每一例子，并且这些例子并不意味着是实施例的限制。此外，可结合其他实施例使用图示为或描述为一个实施例的一部分的特征以产生又一个实施例。目的是这一描述包括这种修改和变化。在切割开始时，当工件接触到线网和线进入工件时，形成网的线可因工件所施加的压力和与工件接触而不稳定地移动(例如，滑动)。进入期间的这种不稳定移动会造成形成网的线不是等间距，从而导致晶片具有各种厚度。此外，可将冷却剂倾倒在线网上来辅助切割工艺(例如，通过载运研磨颗粒或冷却)。例如，在金刚石线切晶片的情况下，冷却剂的毛细管作用会引发线粘在一起，尤其是在进入之前或在切割期间。这导致晶片具有各种厚度，并且也被称为“薄厚效应”，其中与标称厚度值相比，一些晶片较薄，而另一些晶片较厚。使用线锯装置的一个问题是发生跳线。用语“跳线”可指示这样一种情形:本应该在第一线导向槽中被排列和引导的线跳到第二线导向槽或相邻线导向槽中，使得第二线导向槽中存在或重叠两根线。安装新线轴并且应在线导向槽中正确定位线时，可能发生跳线。跳线还可能发生在线锯装置的操作期间(如切割工艺期间)，并且尤其是在工件接触到线网和线进入工件的切割工艺开始时。跳线还可例如发生在线导向槽受到切肩污染时和/或在线引导系统运行不稳定和/或振动时。如果发生跳线，那么重叠的线可破坏晶片，并降低生产成品率和/或降低切割质量或晶片质量。可通过线网的目视检查或通过用手指摸网和感测网的均匀性来检测跳线。使用较小直径线的趋势使得这种手动检测方法很难。所述线锯装置可被理解为一种线锯装置，其中相当长的线(“线长度”)，如至少lkm、尤其是至少10km或甚至至少100km，卷绕在线导向器(如线导向筒)周围，并形成网或线网。用语“线长度”指的是线的总长度，而不仅仅是在给定时间用于锯切的线。线沿其长度移动。在锯切期间，要被锯切的片材可移动穿过线网。要被锯切的片材的移动速度确定切割速度和/或可在给定时间量内锯切的有效切割面积。本文所使用的用语“切割”与“切片”、“晶片化”或“锯切”同义使用。图1图示根据本文描述的实施例位于线导向筒10上的线网20和线监测系统100的示意性前视图。图2图示根据本文描述的实施例位于线导向筒10上具有跳线的线网20和线监测系统100的示意性前视图。可将线螺旋缠绕在一或更多个线导向器(如线导向筒10)周围，并且可形成一层平行线部分22(例如，在两个或更多个线导向筒10之间)。这一层可被称为线网20。线可为金刚石线。线导向筒10可具有在线导向筒10的圆周表面中提供的线导向槽(未图示)。线导向槽可适用于引导平行线部分22的线部分。可平行排列两个或更多个线导向槽以平行排列或引导线部分22。平行线导向槽的数量可对应于平行线部分22的数量。例如，可以卷起线，使得所得线网20包括至少100个平行线部分22。将推动穿过这100根线部分22的线网20的工件或锭块切片成101片晶片。线监测系统100定位于邻近线网20。根据可与本文描述的其他实施例组合的一些实施例，每个线导向筒10提供一个线监测系统100。根据本技术的一方面，线监测系统100包括传感器排列，配置所述传感器排列检测半导体线锯装置的线的至少两个线部分22之间的相对距离。用图1中的附图标号24表示示例性相对距离。配置本公开文本的线监测系统100通过检测形成网的线部分22 (例如，靠近线导向筒10)之间的相对距离或间隔检测并且尤其是自动检测跳线和/或薄厚效应。可例如在已制成新线网之后和/或在切割工艺期间实行这一检测。本文所使用的用语“相对距离”可指示两个本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于线锯装置的线监测系统，其特征在于，包含：传感器排列，配置所述传感器排列检测所述线锯装置的线网的至少两个线部分之间的相对距离，其中，所述传感器排列包括至少一个照明装置和至少一个传感器装置，其中，所述至少一个照明装置在与所述至少一个传感器装置间隔第一距离处定位。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：C·佐米尼，F·瓦尔库尔特，
申请(专利权)人：应用材料瑞士有限责任公司，
类型：新型
国别省市：瑞士;CH