一种四甲基氢氧化铵生产过程所用的超纯水的制备装置制造方法及图纸

技术编号:12686018 阅读:154 留言:0更新日期:2016-01-08 23:59
本实用新型专利技术公开了一种四甲基氢氧化铵生产过程所用的超纯水的制备装置,包括砂滤罐、自断阀门、超滤器、树脂罐、反渗透管、紫外线杀菌仪、抛光床和超纯水储罐;所述砂滤罐入口连接自来水管,砂滤罐出口连接超滤器,自断阀门设在砂滤罐与超滤器之间的管道上;所述超滤器的出口连接树脂罐,树脂罐的出口连接反渗透管;所述反渗透管的出口连接紫外线杀菌仪,紫外线杀菌仪的出口连接抛光床,抛光床的出口连接超纯水储罐;该四甲基氢氧化铵生产过程所用的超纯水的制备装置所制备的水纯度较高,单个金属离子低于100ppb,单个阴离子杂质低于1ppm,满足四甲基氢氧化铵生产过程中对水的要求,避免了水纯度不够造成四甲基氢氧化铵被污染。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及水处理设备领域,具体是一种四甲基氢氧化铵生产过程所用的超纯水的制备装置
技术介绍
四甲基氢氧化铵,简称TMAH,是一种重要的有机碱。其与苛性碱同等强度的强碱,加热分解后不会残留任何杂质,尤其是不会残留可导电的离子物质,因而被广泛应用于电子工业领域。由于用于显示面板生产过程中的显影液要求纯度非常高:单个金属离子要求低于lOOppb,单个阴离子杂质低于lppm。而目前市场上普通的纯净去离子水,远远不能满足这个标准,因此要求生产四甲基氢氧化铵过程中要全部使用高纯度的水,以免对四甲基氢氧化铵造成污染。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种四甲基氢氧化铵生产过程所用的超纯水的制备装置,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种四甲基氢氧化铵生产过程所用的超纯水的制备装置,包括砂滤罐、自断阀门、超滤器、树脂罐、反渗透管、紫外线杀菌仪、抛光床和超纯水储罐;所述砂滤罐入口连接自来水管,砂滤罐出口连接超滤器,自断阀门设在砂滤罐与超滤器之间的管道上;所述超滤器的出口连接树脂罐,树脂罐的出口连接反渗透管;所述反渗透管的出口连接紫外线杀菌仪,紫外线杀菌仪的出口连接抛光床,抛光床的出口连接超纯水储罐。作为本技术进一步的方案:所述树脂罐共2个,分别为树脂罐A和树脂罐B。作为本技术再进一步的方案:所述树脂罐A与树脂罐B并联。与现有技术相比,本技术的有益效果是:该四甲基氢氧化铵生产过程所用的超纯水的制备装置所制备的水纯度较高,单个金属离子低于lOOppb,单个阴离子杂质低于lppm,满足四甲基氢氧化铵生产过程中对水的要求,避免了水纯度不够造成四甲基氢氧化铵被污染。【附图说明】图1为四甲基氢氧化铵生产过程所用的超纯水的制备装置的结构示意图。图中:1-砂滤罐、2-自断阀门、3-超滤器、4-树脂罐A、5-树脂罐B、6-反渗透管、7-紫外线杀菌仪、8-抛光床、9-超纯水储罐。【具体实施方式】下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围。请参阅图1,本技术实施例中,一种四甲基氢氧化铵生产过程所用的超纯水的制备装置,包括砂滤罐1、自断阀门2、超滤器3、树脂罐、反渗透管6、紫外线杀菌仪7、抛光床8和超纯水储罐9 ;所述砂滤罐I入口连接自来水管,砂滤罐I出口连接超滤器3,自断阀门2设在砂滤罐I与超滤器3之间的管道上;所述超滤器3的出口连接树脂罐,树脂罐的出口连接反渗透官6,所述树脂触共2个,分别为树脂触A 4和树脂SpB 5,树脂触A 4与树脂触B 5并联;所述反渗透管6的出口连接紫外线杀菌仪7,紫外线杀菌仪7的出口连接抛光床8,抛光床8的出口连接超纯水储罐9。本技术的工作原理是:所述四甲基氢氧化铵生产过程所用的超纯水的制备装置,自来水进入砂滤罐1,经过砂滤后,流入超滤器3,经过超滤处理后,分两路分别送入树脂罐A 4和树脂罐B 5,经过树脂罐A 4和树脂罐B 5处理后,均送入反渗透管6,经过反渗透处理后,送入紫外线杀菌仪7进行消毒杀菌,消毒杀菌后送入抛光床8,经过抛光床8处理后送入超纯水储罐9内待用。所述四甲基氢氧化铵生产过程所用的超纯水的制备装置所制备的水纯度较高,单个金属离子低于lOOppb,单个阴离子杂质低于lppm,满足四甲基氢氧化铵生产过程中对水的要求,避免了水纯度不够造成四甲基氢氧化铵被污染。对于本领域技术人员而言,显然本技术不限于上述示范性实施例的细节,而且在不背离本技术的精神或基本特征的情况下,能够以其他的具体形式实现本技术。因此,无论从哪一点来看,均应将实施例看作是示范性的,而且是非限制性的,本技术的范围由所附权利要求而不是上述说明限定,因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本技术内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。此外,应当理解,虽然本说明书按照实施方式加以描述,但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案,说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见,本领域技术人员应当将说明书作为一个整体,各实施例中的技术方案也可以经适当组合,形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。【主权项】1.一种四甲基氢氧化铵生产过程所用的超纯水的制备装置,其特征在于:包括砂滤罐(1)、自断阀门(2)、超滤器(3)、树脂罐、反渗透管(6)、紫外线杀菌仪(7)、抛光床(8)和超纯水储罐(9 );所述砂滤罐(I)入口连接自来水管,砂滤罐(I)出口连接超滤器(3 ),自断阀门(2)设在砂滤罐(I)与超滤器(3)之间的管道上;所述超滤器(3)的出口连接树脂罐,树脂罐的出口连接反渗透管(6);所述反渗透管(6)的出口连接紫外线杀菌仪(7),紫外线杀菌仪(7)的出口连接抛光床(8),抛光床(8)的出口连接超纯水储罐(9)。2.根据权利要求1所述的四甲基氢氧化铵生产过程所用的超纯水的制备装置,其特征在于:所述树脂罐共2个,分别为树脂罐A (4)和树脂罐B (5)。3.根据权利要求2所述的四甲基氢氧化铵生产过程所用的超纯水的制备装置,其特征在于:所述树脂罐A (4)与树脂罐B (5)并联。【专利摘要】本技术公开了一种四甲基氢氧化铵生产过程所用的超纯水的制备装置,包括砂滤罐、自断阀门、超滤器、树脂罐、反渗透管、紫外线杀菌仪、抛光床和超纯水储罐;所述砂滤罐入口连接自来水管,砂滤罐出口连接超滤器,自断阀门设在砂滤罐与超滤器之间的管道上;所述超滤器的出口连接树脂罐,树脂罐的出口连接反渗透管;所述反渗透管的出口连接紫外线杀菌仪,紫外线杀菌仪的出口连接抛光床,抛光床的出口连接超纯水储罐;该四甲基氢氧化铵生产过程所用的超纯水的制备装置所制备的水纯度较高,单个金属离子低于100ppb,单个阴离子杂质低于1ppm,满足四甲基氢氧化铵生产过程中对水的要求,避免了水纯度不够造成四甲基氢氧化铵被污染。【IPC分类】C02F9/08, C02F103/04【公开号】CN204939153【申请号】CN201520629216【专利技术人】刘颂军 【申请人】沧州信联化工有限公司【公开日】2016年1月6日【申请日】2015年8月20日本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种四甲基氢氧化铵生产过程所用的超纯水的制备装置,其特征在于:包括砂滤罐(1)、自断阀门(2)、超滤器(3)、树脂罐、反渗透管(6)、紫外线杀菌仪(7)、抛光床(8)和超纯水储罐(9);所述砂滤罐(1)入口连接自来水管,砂滤罐(1)出口连接超滤器(3),自断阀门(2)设在砂滤罐(1)与超滤器(3)之间的管道上;所述超滤器(3)的出口连接树脂罐,树脂罐的出口连接反渗透管(6);所述反渗透管(6)的出口连接紫外线杀菌仪(7),紫外线杀菌仪(7)的出口连接抛光床(8),抛光床(8)的出口连接超纯水储罐(9)。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:刘颂军
申请(专利权)人:沧州信联化工有限公司
类型:新型
国别省市:河北;13

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