一种硅片喷砂机制造技术

本发明专利技术涉及一种硅片喷砂机，解决了现有技术中喷砂设备结构不合理、观察口清洁不方便的不足。本发明专利技术提供的一种硅片喷砂机，箱体上开设有放置亚克力板的装配槽，亚克力板放置在装配槽内以后由压紧框对亚克力板进行压紧，亚克力板上卡接有密封圈以提高亚克力板的密封性能，密封圈可以避免喷砂过程中砂料泄漏污染环境，长期使用后，封闭观察窗口的亚克力板上可能积聚较多的杂物，影响操作人员的视线，此时，操作人员可以方便地松开压紧框，然后利用提手将亚克力板拆下进行清洗，清洗完毕后再将亚克力板装配至装配槽内，操作方便。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种硅片喷砂机。
技术介绍
硅片在生产过程中，将硅锭切割成硅片后部分硅片可能需要进行喷砂处理，以利于硅片的后续处理。现有技术中没有专门针对硅片进行喷砂处理的装置，由于硅片生产过程中可能并不需要对所有硅片进行喷砂，因此，现有技术中对硅片进行喷砂时均在生产现场直接进行，硅片喷砂处理过程中砂料回收率低，并且，由于喷砂时没有防护措施，硅片的喷砂过程对环境影响大。为此，现有技术中有采用其它喷砂设备对硅片进行喷砂处理，但是现有技术中的喷砂设备结构不合理，长期使用后观察口上积聚较多的灰尘，观察口清洁不方便，造成操作人员无法直观地观察喷砂过程，影响硅片的喷砂质量。
技术实现思路
本专利技术提供的一种硅片喷砂机，旨在克服现有技术中喷砂设备结构不合理、观察口清洁不方便的不足。为了解决上述技术问题，本专利技术采用如下技术方案:一种硅片喷砂机，包括箱体，所述箱体内设有将箱体分为上腔和下腔的隔板，所述隔板上开设有排砂口，所述箱体上开设有取放窗口，所述箱体上还开设有观察窗口，所述取放窗口和观察窗口均与上腔相通，所述箱体上还固定有封闭观察窗口的亚克力板，所述箱体上设有封闭取放窗口的密封板，所述箱体上开设有放置亚克力板的装配槽，所述装配槽内固定有将亚克力板压紧在装配槽内的压紧框，所述压紧框通过压紧螺钉固定在箱体上，所述亚克力板上卡接有密封圈，所述密封圈上开设有与亚克力板配合的卡槽，所述卡槽的侧壁与亚克力板之间涂设有粘接层，所述亚克力板上还固定有便于取下亚克力板的提手；所述密封板通过合页转动连接在箱体上，所述密封板上设有与取放窗口配合的凸块，所述凸块与密封板为一体式结构，所述取放窗口的侧壁上卡接有密封垫圈，所述密封垫圈上开设有卡口，所述卡口的侧壁与取放窗口的侧壁之间涂有粘接层，所述密封板上固定有便于打开密封板的把手；该硅片喷砂机还包括喷枪，所述喷枪位于上腔内，所述下腔内固定有喷砂器，所述排砂口与喷砂器之间通过排砂管连接，所述喷砂器通过喷砂管与喷枪连接，所述隔板上开设有穿设喷砂管的通孔，所述喷砂器包括控制开关，所述控制开关位于上腔内，所述控制开关固定在隔板上，所述箱体上还开设有两个便于操作人员手持产品的手持窗口，所述手持窗口上固定有封闭手持窗口的手套，所述手套位于上腔内。上述构成中，箱体上开设有装配槽，亚克力板固定在装配槽内，并且由压紧框将亚克力板压紧在装配槽内，位于箱体上的观察窗口由亚克力板封闭，并且，亚克力板上还卡接有密封圈，长期使用后，需要对亚克力板进行清洁时，可以方便地将压紧框取出，然后利用提手将亚克力板拆下进行清洗，卡接于亚克力板边缘处的密封圈还可以起到保持亚克力板的作用，避免在清洗时损坏压克力板。—种可选的方案，所述箱体上在位于取放窗口的下侧处还固定有放置产品的放置板，所述放置板通过螺栓固定在箱体上，所述放置板与箱体之间固定有支撑肋，所述放置板上开设有避免产品滑落的放置槽。在箱体上固定放置板更有利于操作人员对密封板进行操作，使用方便；放置板上开设放置槽可以避免产品滑落。—种可选的方案，所述隔板的形状为利于砂料进入排砂口的漏斗状，所述箱体上焊接有固定隔板的凸棱，所述隔板上设置有搭接在凸棱上的挡肩，所述凸棱与挡肩之间设有垫片，所述挡肩通过固定螺钉固定在凸棱上。将隔板设置为漏斗状，便于砂料集中至排砂口，提高了砂料的回收利用率；另外，利用焊接在箱体上的凸棱对隔板进行固定，隔板固定效果好，垫片的设置避免了砂料泄漏，进一步提高了砂料的回收利用率。与现有技术相比，本专利技术提供的一种硅片喷砂机，具有如下优点:箱体上开设有放置亚克力板的装配槽，亚克力板放置在装配槽内以后由压紧框对亚克力板进行压紧，亚克力板上卡接有密封圈以提高亚克力板的密封性能，密封圈可以避免喷砂过程中砂料泄漏污染环境，长期使用后，封闭观察窗口的亚克力板上可能积聚较多的杂物，影响操作人员的视线，此时，操作人员可以方便地松开压紧框，然后利用提手将亚克力板拆下进行清洗，清洗完毕后再将亚克力板装配至装配槽内，操作十分方便；另外，取放窗口的侧壁上固定有密封垫圈，并且在密封板上设有凸块，凸块插入取放窗口内与密封垫圈紧密贴合，可以良好地将取放窗口封闭，避免喷砂过程中砂料泄漏污染环境，优化了喷砂机的使用性能。【附图说明】附图1是本专利技术一种硅片喷砂机的主视图；附图2是附图1中A-A处剖视图；附图3是附图1中B-B处剖视图；附图4是附图2中C处放大图。【具体实施方式】下面结合附图，对本专利技术的一种硅片喷砂机作进一步说明。如图1、图2、图3、图4所示，一种硅片喷砂机，包括箱体1，所述箱体I内设有将箱体I分为上腔2和下腔3的隔板4，所述隔板4上开设有排砂口 5，所述隔板4的形状为利于砂料进入排砂口 5的漏斗状，所述箱体I上焊接有固定隔板4的凸棱28，所述隔板4上设置有搭接在凸棱28上的挡肩，所述凸棱28与挡肩之间设有垫片29，所述挡肩通过固定螺钉固定在凸棱28上；喷砂过程中只有少量的砂料会保留在硅片上，大部分砂料会掉落在隔板4上，然后汇聚至排砂口 5，经排砂口 5排出回收利用；参见图1，所述箱体I上开设有取放窗口 6，取放窗口 6用于对产品进行取放操作，所述箱体I上还开设有观察窗口 7，观察窗口 7用于对喷砂过程进行观察，所述取放窗口 6和观察窗口 7均与上腔2相通，所述箱体I上还固定有封闭观察窗口 7的亚克力板8，所述箱体I上设有封闭取放窗口 6的密封板9，参见图1、图2、图4，所述箱体I上开设有放置亚克力板8的装配槽10，所述装配槽10内固定有将亚克力板8压紧在装配槽10内的压紧框11，所述压紧框11通过压紧螺钉固定在箱体I上，所述亚克力板8上卡接有密封圈12，所述密封圈12上开设有与亚克力板8配合的卡槽，所述卡槽的侧壁与亚克力板8之间涂设有粘接层，所述亚克力板8上还固定有便于取下亚克力板8的提手13 ;对亚克力板8进行清洁时当前第1页1 2 本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种硅片喷砂机，其特征在于：包括箱体(1)，所述箱体(1)内设有将箱体(1)分为上腔(2)和下腔(3)的隔板(4)，所述隔板(4)上开设有排砂口(5)，所述箱体(1)上开设有取放窗口(6)，所述箱体(1)上还开设有观察窗口(7)，所述取放窗口(6)和观察窗口(7)均与上腔(2)相通，所述箱体(1)上还固定有封闭观察窗口(7)的亚克力板(8)，所述箱体(1)上设有封闭取放窗口(6)的密封板(9)，所述箱体(1)上开设有放置亚克力板(8)的装配槽(10)，所述装配槽(10)内固定有将亚克力板(8)压紧在装配槽(10)内的压紧框(11)，所述压紧框(11)通过压紧螺钉固定在箱体(1)上，所述亚克力板(8)上卡接有密封圈(12)，所述密封圈(12)上开设有与亚克力板(8)配合的卡槽，所述卡槽的侧壁与亚克力板(8)之间涂设有粘接层，所述亚克力板(8)上还固定有便于取下亚克力板(8)的提手(13)；所述密封板(9)通过合页(14)转动连接在箱体(1)上，所述密封板(9)上设有与取放窗口(6)配合的凸块(15)，所述凸块(15)与密封板(9)为一体式结构，所述取放窗口(6)的侧壁上卡接有密封垫圈(16)，所述密封垫圈(16)上开设有卡口，所述卡口的侧壁与取放窗口(6)的侧壁之间涂有粘接层，所述密封板(9)上固定有便于打开密封板(9)的把手(17)；该硅片喷砂机还包括喷枪(18)，所述喷枪(18)位于上腔(2)内，所述下腔(3)内固定有喷砂器(19)，所述排砂口(5)与喷砂器(19)之间通过排砂管(20)连接，所述喷砂器(19)通过喷砂管(21)与喷枪(18)连接，所述隔板(4)上开设有穿设喷砂管(21)的通孔，所述喷砂器(19)包括控制开关(22)，所述控制开关(22)位于上腔(2)内，所述控制开关(22)固定在隔板(4)上，所述箱体(1)上还开设有两个便于操作人员手持产品的手持窗口(23)，所述手持窗口(23)上固定有封闭手持窗口(23)的手套(24)，所述手套(24)位于上腔(2)内。...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：陈小力，张光法，
申请(专利权)人：浙江辉弘光电能源有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江;33